一种有机电致发光显示面板、其制作方法及显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术实施例提供的一种有机电致发光显示面板、其制作方法及显示装置，对衬底基板上所需沉积相同材料的像素电极通电，并对位于蒸发源处的电极通电，形成电场；将与所需沉积材料对应的蒸镀材料放入蒸发源内，使蒸镀材料离子化，离子化后的蒸镀材料在电场的作用下沉积在衬底基板上，由于仅在所需沉积材料的像素电极处通电，因此可以使所需沉积材料的各像素单元沉积材料的厚度高于其他各像素单元；将其他各像素单元中沉积的材料刻蚀去除，使衬底基板仅在之前通电的像素电极上具有蒸镀材料，这样在依次沉积和刻蚀的过程中，形成所需材料的图形，避免了因采用掩膜板制作材料图形时由于对位产生误差，而限制成品的分辨率，有利于提高OLED的分辨率。

【技术实现步骤摘要】
一种有机电致发光显示面板、其制作方法及显示装置
本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种有机电致发光显示面板、其制作方法及显示装置。
技术介绍
目前，有机电致发光显示面板(OrganicElectroluminesecentDisplay，OLED)凭借其低功耗、高色饱和度、广视角、薄厚度、不需背光源等特点，已经逐渐成为显示领域的主流。蒸镀技术是OLED面板制造过程中的关键技术，要使整个OLED面板显示出全彩画面，就要使面板中的每一个像素单元都能呈现出不同的颜色，目前，OLED主要是采用红、绿、蓝三色发光层来达到比较好的发光效率，而蒸镀技术主要是应用在红、绿、蓝三色发光层有机发光材料的成膜过程中。在成膜过程中，主要采用高精度金属掩膜板(FineMetalMask，FMM)进行蒸镀，一次一色分别将红、绿、蓝三种颜色有机发光材料并排镀在OLED面板的每个像素单元中，分别形成沉积红、绿、蓝三种颜色有机发光材料的各像素单元的像素电极。但是，由于采用FMM形成膜层的工艺中，FMM和衬底基板的对位不可避免的会存在误差，而且FMM容易受到温度，磁场，拉应力等多种条件的影响，常常发生变形，不利于制备高分辨率的OLED面板。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术实施例提供一种有机电致发光显示面板、其制作方法及显示装置，可以提高OLED的分辨率。因此，本专利技术实施例提供了一种有机电致发光显示面板的制作方法，包括：将形成有各像素单元的像素电极的衬底基板放入蒸镀腔内；对所述衬底基板上所需沉积相同材料的各像素单元的像素电极通电，并对位于所述蒸镀腔内的蒸发源处的电极通电，形成电场；将与所需沉积材料对应的蒸镀材料放入所述蒸发源内，使所述蒸镀材料离子化，所述离子化后的蒸镀材料在所述电场的作用下沉积在所述衬底基板上；通过刻蚀工艺刻蚀形成有所述离子化后的蒸镀材料的衬底基板，使所述衬底基板仅在之前通电的像素电极上具有所述蒸镀材料。在一种可能的实现方式中，在本专利技术实施例提供的上述有机电致发光显示面板的制备方法中，使所述蒸镀材料离子化，具体包括：将与所需沉积材料对应的蒸镀材料放入所述蒸发源之后，蒸镀所述蒸镀材料，使在所述电场内游离的电子碰撞蒸发的所述蒸镀材料，将所述蒸镀材料电离为带正电的粒子。在一种可能的实现方式中，在本专利技术实施例提供的上述有机电致发光显示面板的制备方法中，使所述蒸镀材料离子化，具体包括：将与所需沉积材料对应的蒸镀材料放入所述蒸发源之前，在外电场的作用下极化所述蒸镀材料，使所述蒸镀材料极化为带正电的粒子。在一种可能的实现方式中，在本专利技术实施例提供的上述有机电致发光显示面板的制备方法中，对所述衬底基板上所需沉积相同材料的各像素单元的像素电极通电，并对位于所述蒸镀腔内的蒸发源处的电极通电，具体包括：对所述衬底基板上所需沉积相同材料的各像素单元的像素电极通负电，并对位于所述蒸镀腔内的蒸发源处的电极通正电。在一种可能的实现方式中，在本专利技术实施例提供的上述有机电致发光显示面板的制备方法中，使所述蒸镀材料离子化，具体包括：将与所需沉积材料对应的蒸镀材料放入所述蒸发源之前，向所述蒸镀腔内通入氩气，使所述氩气在所述电场的作用下电离后，在所述蒸镀腔内形成电子；将与所需沉积材料对应的蒸镀材料放入所述蒸发源之后，蒸镀所述蒸镀材料，使所述蒸镀材料吸附所述电子形成带负电的粒子。在一种可能的实现方式中，在本专利技术实施例提供的上述有机电致发光显示面板的制备方法中，对所述衬底基板上所需沉积相同材料的各像素单元的像素电极通电，并对位于所述蒸镀腔内的蒸发源处的电极通电，具体包括：对所述衬底基板上所需沉积相同材料的各像素单元的像素电极通正电，并对位于所述蒸镀腔内的蒸发源处的电极通负电。在一种可能的实现方式中，在本专利技术实施例提供的上述有机电致发光显示面板的制备方法中，所述蒸镀材料为红色有机发光材料、绿色有机发光材料或蓝色有机发光材料。本专利技术实施例还提供了一种有机电致发光显示面板，采用如上所述有机电致发光显示面板的制备方法制得。本专利技术实施例还提供了一种显示装置，包括本专利技术实施例提供的上述有机电致发光显示面板。本专利技术有益效果如下：本专利技术实施例提供的一种有机电致发光显示面板、其制作方法及显示装置，将形成有各像素单元的像素电极的衬底基板放入蒸镀腔内；对衬底基板上所需沉积相同材料的各像素单元的像素电极通电，并对位于蒸镀腔内的蒸发源处的电极通电，形成电场；将与所需沉积材料对应的蒸镀材料放入蒸发源内，使蒸镀材料离子化，离子化后的蒸镀材料在电场的作用下沉积在衬底基板上，由于仅在所需沉积材料的像素电极处通电，因此可以使所需沉积材料的各像素单元沉积材料的厚度高于其他各像素单元；通过刻蚀工艺刻蚀形成有离子化后的蒸镀材料的衬底基板，可以将其他各像素单元中沉积的材料刻蚀去除，使衬底基板仅在之前通电的像素电极上具有蒸镀材料，这样在依次沉积和刻蚀的过程中，形成所需材料的图形，避免了因采用掩膜板制作材料图形时由于对位产生误差，而限制成品的分辨率，有利于提高OLED的分辨率。附图说明图1为本专利技术实施例提供的有机电致发光显示面板的制作方法的流程图；图2a为本专利技术实施例提供的实例一中有机电致发光显示面板的制作方法的流程图；图2b至图2h分别为本专利技术实施例提供的实例一中有机电致发光显示面板的制作方法在各步骤执行后的结构示意图；图3为本专利技术实施例提供的实例二中有机电致发光显示面板的制作方法的流程图；图4为本专利技术实施例提供的实例三中有机电致发光显示面板的制作方法的流程图。具体实施方式下面结合附图，对本专利技术实施例提供的有机电致发光显示面板、其制作方法及显示装置的具体实施方式进行详细地说明。附图中各膜层的形状和厚度不反映其真实比例，目的只是示意说明本专利技术的内容。本专利技术实施例提供了一种有机电致发光显示面板的制作方法，如图1所示，包括以下步骤：S101、将形成有各像素单元的像素电极的衬底基板放入蒸镀腔内；在具体实施时，可以在制作完像素电极以及位于像素电极上的像素限定层之后，将衬底基板放置蒸镀腔内；S102、对衬底基板上所需沉积相同材料的各像素单元的像素电极通电，并对位于蒸镀腔内的蒸发源处的电极通电，形成电场；在具体实施时，需要根据蒸镀材料将要离子化为带电的粒子时所带的电性来判断对衬底基板上所需沉积相同材料的各像素单元的像素电极是通正电还是负电，然后相对应地判断对位于蒸镀腔内的蒸发源处的电极是通负电还是正电，从而形成相应的电场；S103、将与所需沉积材料对应的蒸镀材料放入蒸发源内，使蒸镀材料离子化，离子化后的蒸镀材料在电场的作用下沉积在衬底基板上；在具体实施时，将与所需沉积材料对应的蒸镀材料放入蒸发源内，使蒸镀材料离子化，由于步骤S102仅在所需沉积材料的各像素单元的像素电极处通电，因此可以使所需沉积离子化后的蒸镀材料的各像素单元在电场的作用下沉积材料的厚度高于其他各像素单元；S104、通过刻蚀工艺刻蚀形成有离子化后的蒸镀材料的衬底基板，使衬底基板仅在之前通电的像素电极上具有蒸镀材料。在具体实施时，为了形成沉积在衬底基板上相对应的各像素单元的图形，通过刻蚀工艺刻蚀形成有离子化后的蒸镀材料的衬底基板，可以将除了所需沉积材料的各像素单元之外的其他各像素单元中沉积的离子化后的蒸镀材料刻蚀去除，使衬底基板仅在之前通电的像素电极上具本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种有机电致发光显示面板的制作方法，其特征在于，包括：将形成有各像素单元的像素电极的衬底基板放入蒸镀腔内；对所述衬底基板上所需沉积相同材料的各像素单元的像素电极通电，并对位于所述蒸镀腔内的蒸发源处的电极通电，形成电场；将与所需沉积材料对应的蒸镀材料放入所述蒸发源内，使所述蒸镀材料离子化，所述离子化后的蒸镀材料在所述电场的作用下沉积在所述衬底基板上；通过刻蚀工艺刻蚀形成有所述离子化后的蒸镀材料的衬底基板，使所述衬底基板仅在之前通电的像素电极上具有所述蒸镀材料。

【技术特征摘要】
1.一种有机电致发光显示面板的制作方法，其特征在于，包括：将形成有各像素单元的像素电极的衬底基板放入蒸镀腔内；对所述衬底基板上所需沉积相同材料的各像素单元的像素电极通电，并对位于所述蒸镀腔内的蒸发源处的电极通电，形成电场；将与所需沉积材料对应的蒸镀材料放入所述蒸发源内，使所述蒸镀材料离子化，所述离子化后的蒸镀材料在所述电场的作用下沉积在所述衬底基板上；通过刻蚀工艺刻蚀形成有所述离子化后的蒸镀材料的衬底基板，使所述衬底基板仅在之前通电的像素电极上具有所述蒸镀材料。2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，使所述蒸镀材料离子化，具体包括：将与所需沉积材料对应的蒸镀材料放入所述蒸发源之后，蒸镀所述蒸镀材料，使在所述电场内游离的电子碰撞蒸发的所述蒸镀材料，将所述蒸镀材料电离为带正电的粒子。3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，使所述蒸镀材料离子化，具体包括：将与所需沉积材料对应的蒸镀材料放入所述蒸发源之前，在外电场的作用下极化所述蒸镀材料，使所述蒸镀材料极化为带正电的粒子。4.如权利要求2或3所述的方法，其特征在于，对所述衬底基板上所需沉积相同材料的各像素单元的像素电极通电，并对位于所述蒸镀腔内的蒸发源处...

【专利技术属性】
技术研发人员：张金中，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京;11