振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体制造技术

本发明专利技术提供振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体，能够减少振动泄漏。当设相互垂直的2个方向为第1方向和第2方向时，振动元件(2)包括：基部(4)；第1振动臂(5)，其一体地设于基部，并从基部的一侧的端部向第1方向延伸；第2振动臂(6)，其一体地设于基部，与第1振动臂排列在第2方向上，并从基部的一侧的端部向第1方向延伸；以及保持臂(7)，其从基部的一侧的端部向第1方向延伸，并位于第1振动臂和第2振动臂之间，在俯视时，在保持臂的一个主面上设有第1方向的长度比第2方向的长度长的固定区域(R)，该固定区域位于振动元件的重心(G)和基部(4)的一侧的端部之间，在该固定区域中借助固定部件固定于对象物。

【技术实现步骤摘要】
振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体
本专利技术涉及振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体。
技术介绍
以往公知有使用了石英的振动元件。这样的振动元件由于频率温度特性优异，因此被广泛用作各种电子设备的基准频率源和信号源等。专利文献1所记载的振动元件具有基部和从基部起并排延伸的一对振动臂，并在设于基部的2个固定部处借助导电性粘接部件固定在封装中。然而，在这样的结构中，由于在容易传递振动臂的振动的位置处配置有2个固定部，因此在使振动片小型化时，有可能成为振动泄漏的影响大的振动元件。另外，专利文献2所述的振动元件具有基部、从基部起并排延伸的一对振动臂、以及从基部起在一对振动臂之间延伸的保持臂，并且在设于保持臂的2个固定部处借助导电性粘接部件固定在封装中。专利文献1：日本特开2011-19159号公报专利文献2：日本特开2002-141770号公报然而，在这样的结构中，根据保持臂上的2个固定部的位置、或者2个固定部的位置关系，存在Ｑ值降低的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供能够减少Q值的降低的振动元件、以及具备该振动元件的振子、振荡器、电子设备以及移动体。本专利技术正是为了解决上述课题的至少一部分而完成的，并能够以如下应用例来实现。[应用例1]本专利技术的振动元件具有：基部；一对振动臂，它们从所述基部向第1方向延伸，并沿着与所述第1方向垂直的第2方向排列；以及保持臂，其从所述基部向所述第1方向延伸，在俯视时，该保持臂配置在所述一对振动臂之间，所述振动元件的特征在于，在所述保持臂上具有固定区域，所述固定区域在俯视时位于所述振动元件的重心和所述基部之间，并且所述固定区域借助固定部件安装于对象物。由此，得到了能够减少Q值降低的振动元件。[应用例2]本专利技术的振动元件的特征在于，所述固定区域的沿所述第1方向的长度比沿所述第2方向的长度长。由此，得到了能够进一步减少Q值降低的振动元件。[应用例3]本专利技术的振动元件的特征在于，所述固定区域的沿所述第1方向的长度是沿所述第2方向的长度的2倍以上且5倍以下。由此，固定区域沿振动元件的长度方向较长，因此能够将振动元件以良好的平衡固定于壳体。[应用例4]本专利技术的振动元件的特征在于，在俯视时，设所述重心和所述基部之间的沿所述第1方向的距离为L10时，所述固定区域的第1方向的中心和所述基部之间的沿所述第1方向的距离为0.15×L10以上且0.30×L10以下。该范围是不易受到振动臂的振动影响的区域，因此通过以这样的位置为中心配置固定区域，能够得到进一步减少了振动泄漏所引起的Q值降低的振动元件。[应用例5]本专利技术的振动元件的特征在于，在俯视时，设所述重心和所述基部之间的沿所述第1方向的距离为L10时，所述固定区域的沿所述第1方向的长度为0.589×L10以上且L10以下。能够得到进一步减少了振动泄漏所引起的Q值降低的振动元件。[应用例6]本专利技术的振动元件的特征在于，在俯视时，所述保持臂与所述重心重合。由此，能够减少振动臂的振动的影响，得到了能够减少振动泄漏所引起的Q值降低的振动元件。[应用例7]本专利技术的振动元件为如下振动元件，在俯视时，所述固定区域包括：第1固定部；以及第2固定部，所述第2固定部与所述第1固定部相离，并位于比所述第1固定部靠所述保持臂的末端侧的位置。由此，能够减少在搭载到对象物的状态下的固定部件彼此的接触。[应用例8]本专利技术的振动元件优选的是，所述第1固定部和所述第2固定部之间的沿所述第1方向的距离为20μm以上。由此，能够进一步减少在搭载到对象物的状态下的固定部件彼此的接触。[应用例9]本专利技术的振子的特征在于，其包括：本专利技术的振动元件；以及收纳有所述振动元件的封装。由此，得到了具有高可靠性的振子。[应用例10]本专利技术的振荡器的特征在于，其具备振荡电路和本专利技术的振动元件。由此，得到了具有高可靠性的振荡器。[应用例11]本专利技术的电子设备的特征在于，其具备本专利技术的振动元件。由此，得到了具有高可靠性的电子设备。[应用例12]本专利技术的移动体的特征在于，其具备本专利技术的振动元件。由此，得到了具有高可靠性的移动体。附图说明图1是本专利技术的第1实施方式的振子的平面图。图2是沿图1中的A-A线的剖视图。图3是图1所示的振子所具有的振动元件的俯视图。图4是用于说明图3所示的振动元件的功能的平面图。图5是沿图3中的B-B线的剖视图。图6是图3所示的振动元件的背面图。图7是示出图3所示的振动元件的其他例子的俯视图。图8是对弯曲振动时的热传导进行说明的振动臂的剖视图。图9是示出Q值和f/fm的关系的曲线图。图10是示出仿真中使用的振动元件的一例、和振动元件的保持位置与QLeak值的关系的图。图11是本专利技术的第2实施方式的振子所具有的振动元件的俯视图。图12是本专利技术的第3实施方式的振子所具有的振动元件的俯视图。图13是本专利技术的第4实施方式的振子所具有的振动元件的俯视图。图14是示出仿真中使用的振动元件的一例、和振动元件的保持位置与QLeak值的关系的图。图15是本专利技术的第5实施方式的振子所具有的振动元件的俯视图。图16是本专利技术的第6实施方式的振子所具有的振动元件的俯视图。图17是本专利技术的第7实施方式的振子所具有的振动元件的俯视图。图18是本专利技术的第8实施方式的振子所具有的振动元件的俯视图。图19是图18所示的振子的剖视图。图20是示出本专利技术的振荡器的优选实施方式的剖视图。图21是示出应用了具备本专利技术的振动元件的电子设备的移动型(或笔记本型)的个人计算机的结构的立体图。图22是示出应用了具备本专利技术的振动元件的电子设备的便携电话(也包括PHS)的结构的立体图。图23是示出应用了具备本专利技术的振动元件的电子设备的数字静态照相机的结构的立体图。图24是概略地示出作为本专利技术的移动体的一例的汽车的立体图。标号说明1：振子；11：第1导电性粘接部件；12：第2导电性粘接部件；2、2A、2B、2C、2D、2E、2F、2G、2a、2b：振动元件；3：石英基板；4：基部；41：主体部；42：宽度缩小部；5：振动臂(第1振动臂)；51：臂部；511、512：主面；511a、512a：堤部；513、514：侧面；52、53：槽；59、69：锤头；6：振动臂(第2振动臂)；61：臂部；613、614：侧面；62、63：槽；7、7A、7B、7C、7D、7E、7F、7G、7a、7b：保持臂；71：宽度狭窄部；8：电极；81：第1连接电极；82：第2连接电极；84：第1驱动用电极；85：第2驱动用电极；88：键合线；9：封装；91：基座；911：凹部；92：盖；951、961：连接端子；953、963：外部端子；100：振荡器；110：IC芯片；120：内部端子；1100：个人计算机；1102：键盘；1104：主体部；1106：显示单元；1200：便携电话；1202：操作按钮；1204：听筒；1206：话筒；1300：数字静态照相机；1302：壳体；1304：受光单元；1306：快门按钮；1308：存储器；1312：视频信号输出端子；1314：输入输出端子；1430：电视监视器；1440：个人计算机；1500：汽车；2000：显示部；L：全长；L1：直线；L5、L6、H：长度；L10：距离；A5：间隔距离；D1：深度；本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种振动元件，其具有：基部；一对振动臂，它们从所述基部向第1方向延伸，并沿着与所述第1方向垂直的第2方向排列；以及保持臂，其从所述基部向所述第1方向延伸，在俯视时，该保持臂配置在所述一对振动臂之间，所述振动元件的特征在于，在所述保持臂上具有固定区域，所述固定区域在俯视时位于所述振动元件的重心和所述基部之间，并且所述固定区域借助固定部件安装于对象物。

【技术特征摘要】
2013.06.18 JP 2013-1280141.一种振动元件，其具有：基部；一对振动臂，它们从所述基部向第1方向延伸，并间隔开地配置在与所述第1方向垂直的第2方向上；以及保持臂，其从所述基部向所述第1方向延伸，在俯视时，该保持臂配置在所述一对振动臂之间，所述振动元件的特征在于，在所述保持臂上具有固定区域，所述固定区域在俯视时位于所述振动元件的重心和所述基部之间，并且所述固定区域借助固定部件安装于对象物，在俯视时，设所述重心和所述基部之间的沿所述第1方向的距离为L10时，所述固定区域的所述第1方向的中心和所述基部之间的沿所述第1方向的距离是0.15×L10以上且0.30×L10以下。2.一种振动元件，其具有：基部；一对振动臂，它们从所述基部向第1方向延伸，并间隔开地配置在与所述第1方向垂直的第2方向上；以及保持臂，其从所述基部向所述第1方向延伸，在俯视时，该保持臂配置在所述一对振动臂之间，所述振动元件的特征在于，在所述保持臂上具有固定区域，所述固定区域在俯视时位于所述振动元件的重心和所述基部之间，并且所述固定区域借助固定部件安装于对象物，在俯视时，设所述重心和所述基部之...

【专利技术属性】
技术研发人员：山田明法，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP