柔性多层吸气器制造技术

本发明专利技术涉及柔性多层吸气器，尤其是提出一种柔性多层吸气器(100)，带有覆盖储气层(104)的透气层(102)。在一个实施例中，透气层(102)覆盖部分储气层(104)。在另一个实施例中，阻挡件(106)覆盖部分储气层(104)。阻挡件包括箔片基底、钝化层或透气层。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术涉及柔性多层吸气器，尤其是提出一种柔性多层吸气器(100)，带有覆盖储气层(104)的透气层(102)。在一个实施例中，透气层(102)覆盖部分储气层(104)。在另一个实施例中，阻挡件(106)覆盖部分储气层(104)。阻挡件包括箔片基底、钝化层或透气层。【专利说明】柔性多层吸气器 本申请是申请号为200680012634. 2、申请日为2006年2月16日、专利技术名称为"柔 性多层吸气器"的中国专利技术专利申请的分案申请。
本专利技术的示范性实施例涉及用于吸附气体的吸气器，特别涉及复合材料吸气器。 其他示范性实施例涉及用于生产该吸气器的方法。
技术介绍
在许多技术先进的应用中，利用非蒸散型吸气（NEG)材料进行气体吸附。NEG材料 被经常发现于两种应用中。在第一种应用中，NEG材料用于通过吸附不想要的物质来净化 气流。例如，在半导体工业中，使用NEG材料将诸如氢、氧、氮、水、碳的氧化物和氮的氧化物 的带来麻烦的物质从惰性气体流中去除。类似地，诸如电灯泡的充有特定气体的器件的制 造过程中使用的气体被净化，以提供诸如提高灯丝寿命的优点。 在第二种应用中，NEG材料用于在密封围罩内保持高的真空度。处理室为半导体 工业中的这种围罩的常见例子。这种围罩例如也可应用于绝热装置中，例如用于热水瓶、杜 瓦瓶、微电子封装件以及在北极和海底区域中进行油的分离和输送的绝热管中。用于这些 应用的密封围罩典型地包括内壁和外壁，在这两个壁之间具有抽真空的容积。对于油的分 离和输送来说，必须频繁地使用绝热管，以防止流体的过度冷却。这种冷却可造成油中的较 重组分固化，结果是增加了其总粘度，并潜在地可能造成堵塞。 NEG材料可包括金属，例如锆和钛以及基于这些金属的合金及其化合物。这种合 金可包括例如从过渡金属和铝以及其氧化物中选出的一种或更多种其他元素。NEG材料已 经成为多个专利的主题。美国专利US3, 203, 901描述了 Zr-Al合金，并且特别描述了组分 的重量百分比含量为ZrS^^-Alie%的合金，其由SAES Getters S.p.A，Lainate, Italy 以商标名St 101?生产和销售。美国专利US4, 071，335描述了 Zr-Ni合金，并特别 描述了组分的重量百分比含量为Zr75. 7 % -Ni24. 3 %的合金，其由SAES Getters S. p.A，Lainate，Italy以商标名St 199?生产和销售。美国专利US4,306,887描述了 Zr-Fe合金，并特别描述了组分的重量百分比含量为Zr76. 6% -Fe23. 4%的合金，其由SAES Getters S.p.A，Lainate, Italy以商标名St 198?生产和销售。美国专利旧4,312,669描 述了 Zr-V-Fe合金，并特别描述了组分的重量百分比含量为Zr70% -V24. 6% -Fe5. 4%的 合金，其由SAESGettersS·p·A，Lainate，Italy以商标名St 707?生产和销售。美国专 利US4, 668, 424描述了 Zr-Ni-A-M合金，其中，A表不一种或更多种稀土兀素，Μ表不从钴、 铜、铁、铝、锡、钛和硅中选出的一种或多种元素。美国专利US5, 961，750描述了 Zr-Co-A 合金，其中，A是从钇、镧、稀土元素以及其混合物中选出的一种元素。该专利申请特别 披露了组分的重量百分比含量为Zr80. 8% -Col4. 2% -A5%的合金，其由SAES Getters S. p. A, Lainate, Italy以商标名St 787?生产和销售。 NEG材料对气体的吸附似乎发生在两个阶段中。第一阶段是将气态物质表面化学 吸附到NEG材料的表面上，并通常伴随着该物质离解成其组成原子。在第二阶段中，组成原 子扩散到NEG材料中。在氢吸附的情况下，随着氢原子扩散到材料内部，其首先形成固溶 体，即使是在低温下。随着氢浓度的增大，形成氢化物，例如ZrH 2。即使在低温下，对氢的吸 附能力也很高。 第二阶段对于诸如氧、碳和氮的元素是不同的。在相对低的温度下（根据NEG材 料的类型，通常低于大约300-50(TC )，只发生表面化学吸附，且形成氧化物、碳化物或氮化 物化合物的表面层。这些层有效地阻止体积扩散的发生。在更高温度下，氧、氮和碳原子能 够扩散到NEG材料中，这样便再生了干净表面，以用于进一步的气体吸附。因此，通过将NEG 材料维持在充分高的温度下，能够连续地进行表面清洁。可替换地，可通过将维持在低温下 的NEG材料的表面周期性地达到充分高的温度来对其表面进行清洁。后一过程通常被称作 "活化"处理，并可以规定的间隔或者在观察到吸附能力损失时进行这种处理。 然而，存在着许多应用，在这些应用中，NEG材料不能被加热从而产生材料活化。这 种应用包括在密封围罩中维持高的真空水平，该密封围罩例如在X射线管、场发射平板显 示器、热水瓶、杜瓦瓶、荧光灯以及在油分离和输送中使用的绝热管中出现。另一种这种类 型的重要应用是用于电池中，包括诸如Ni金属氢化物电池的可充电电池和诸如传统的碱 性电池的不可充电电池。如现有技术中已知，电池包括阳极、阴极以及位于其间的电解液， 它们均容纳于一壳体内。碱性电池和可充电电池在一定的工作条件下均可能释放氢气，从 而造成壳体膨胀并产生爆炸危险。氢气的积聚也可在气密容器、如军需品和烟火容器中发 生。由于氢气的存在，通过加热来活化NEG材料可能是极其危险的。 在这些低温应用中，相对少量的氧、氮或碳的吸附将在NEG材料的表面上产生钝 化层，如前所述，其防止进一步的气体吸附并将NEG材料的吸附能力降低为理论值的一小 部分。而且，钝化层阻碍了氢吸附，如前面所解释，其将在很大程度上发生，即使在室温下。 在采用NEG材料的一些应用中，氢气的出现特别有害。在绝热应用的情况下，这一 点是因为氢气为优良的热导体。因此，在真空容积中，即使少量的氢气也会显著降低其绝热 性能。氢气在灯的气态填充混合物中的存在可将改变放电条件，并因此防止灯的作用达到 最佳，并且通常使其寿命缩短。另外，因为氢气如果暴露在火花下将会迅速氧化，并导致爆 炸，因此氢气是危险的。当氢气从自身为爆炸性或易燃性的组分中释放出来时，这是需要特 别关注的。 可根据多种技术实现吸气沉积物的形成，以示例而非限制性的方式，这些技术包 括溅射、蒸发和沉积到载体上。溅射技术沉积厚度为几分之一微米（micro, μ m)到几十微 米的薄膜。这种薄膜通常对基底具有极好的粘附力，并可以抵抗微粒的损失。利用溅射，也 可以控制（至少在一定限度内）沉积物的形态，从而对于预期的应用来说使其达到最佳。例 如，柱形形态可显示出高的比表面积（沉积物的每单位重量上的表面积）。而且，利用这种 技术，能够以高的精度水平甚至控制沉积物的横向位置，从而确保将吸气沉积物准确地对 齐。由于溅射的优点，其在许多应用中为优选的技术。美国专利US2004/0253476描述了多 层吸气器结构的构造。 吸气材料可以被挤压和烧结，以便形成球丸、圆盘或者其他有用的形状。也可以采 用诸如冷轧本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种利用多层吸氢器箔片除氢的方法，所述多层吸氢器箔片包括：储氢气层，其具有第一表面和第二表面；透氢气层，其覆盖储氢气层的第一表面；阻挡件，其位于储氢气层的第二表面上，其特征在于，所述阻挡件层为所述储氢气层的钝化层。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：R·库尔贝里，T·阿姆斯特朗，A·孔特，E·里齐，
申请(专利权)人：泽斯吸气剂公司，
类型：发明
国别省市：意大利;IT