本发明专利技术提供感光性元件、感光性元件卷、抗蚀图案的制造方法以及电子部件。所述感光性元件(1)具备支撑膜(10)、保护膜(聚丙烯膜)(30)和配置于支撑膜(10)与保护膜(30)之间的感光层(20)，保护膜(30)具有感光层(20)侧的主面(30a)和主面(30a)的相反侧的主面(30b)，主面(30a)及主面(30b)是平滑的。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供感光性元件、感光性元件卷、抗蚀图案的制造方法以及电子部件。所述感光性元件(1)具备支撑膜(10)、保护膜(聚丙烯膜)(30)和配置于支撑膜(10)与保护膜(30)之间的感光层(20)，保护膜(30)具有感光层(20)侧的主面(30a)和主面(30a)的相反侧的主面(30b)，主面(30a)及主面(30b)是平滑的。【专利说明】感光性元件、感光性元件卷、抗蚀图案的制造方法以及电子 部件
本专利技术涉及感光性元件、感光性元件卷、抗蚀图案的制造方法以及电子部件。
技术介绍
感光性元件主要是为了在印制电路布线板上形成电路而使用。另外，感光性元件 还在用于保护印制电路布线板上的电路的绝缘膜的形成中、用于恒定地保持液晶显示装置 中的液晶层间隙的间隔物的形成等中使用。 感光性元件通常具有支撑膜、感光层、保护膜的3层结构。感光性元件例如下使 用。首先，将感光性元件的保护膜剥离后，将含有感光性树脂组合物的感光层层叠（层压） 在基板上（层叠工序）。接着，由支撑膜侧对感光层的规定部分照射活性光线以形成光固化 部（曝光工序）。之后，将支撑膜剥离除去后，将未曝光部从基板上除去（显影），从而在基 板上形成由感光性树脂组合物的固化物构成的抗蚀图案（显影工序）。 所得的抗蚀图案能够用于绝缘膜或间隔物等，而且还可作为用于通过对抗蚀图案 进行镀覆处理或刻蚀处理而形成电路的掩模来使用。 然而，本
中已知保护膜中的与感光层的接触面的形状有时会被转印至感 光层。例如下述专利文献1中示出了：通过将保护膜中的与感光层的接触面的表面粗糙度 (Ra)调整至0. 15 μ m以下并将保护膜中所含的直径为80 μ m以上的鱼眼的个数控制在5个 /m2以下，从而会减少层叠感光层时产生的气泡。 另外，下述专利文献2中示出了：通过将保护膜的表面粗糙度（Ra)调整至0. 5 μ m 以上，利用层叠时的加压使其形状消失，从而提高对凹凸基板的随动性。 进而，下述专利文献3中示出了：对于转印表面粗糙度为0.01?2μπι的微细凹凸 的感光性元件，通过将保护膜中的与感光层的接触面的Ra调整至0. 05?0. 5 μ m，可以在光 纳米压印中使用的具有微细凹凸的基材上层叠不会产生气泡的感光层。 现有技术文献 专利文献 专利文献1 :日本特开2000-330291号公报 专利文献2 :日本特开2000-147755号公报 专利文献3 :日本特开2009-128759号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题 近年来，随着电子部件的高密度化及高功能化，需要具有薄层的感光层的感光性 元件。在将这种具有薄层的感光层的感光性元件的该感光层层压在基板上时，如果使用以 往的感光性元件，则有时会产生层压气泡。因此，需要能够充分地抑制层压气泡的产生的感 光性元件以及使用了该感光性元件的抗蚀图案的制造方法。 本专利技术意在解决上述课题，其目的在于提供即便感光性元件具有薄层的感光层 时、在层压时也可抑制气泡产生的感光性元件。另外，本专利技术的目的还在于提供具备所述感 光性元件的感光性元件卷、使用了所述感光性元件的抗蚀图案的制造方法、以及使用所述 感光性元件获得的电子部件。 用于解决课题的手段 本专利技术的第1实施方式提供一种感光性元件，其具备支撑膜、聚丙烯膜和配置于 所述支撑膜与所述聚丙烯膜之间的感光层，所述聚丙烯膜具有所述感光层侧的第1面和该 第1面的相反侧的第2面，所述第1面及所述第2面是平滑的。 需要说明的是，本说明书中聚丙烯膜的"第1面及第2面是平滑的"如下定义：在 将卷绕在卷芯上的感光性元件的聚丙烯膜剥离后，如图1所示，将支撑膜和感光层的层叠 物（评价膜）F1按照感光层与作为被接触体的聚对苯二甲酸乙二醇酯膜（PET膜：支撑膜及 感光层的宽度为PET膜的宽度的99% )相接触的方式在作为上述PET膜的F2上转印（层 压温度为90°C、层压速度为2. 0m/分钟）500mm，之后利用显微镜（物镜20倍）对感光层中 的未与PET膜（被接触体）F2相接触的一面（感光层中与支撑膜相接触的一面）上的3个 规定的测定区域（图1所示的lcmX lcm的区域Al、A2及A3。区域A1 :感光层整体的长度 方向及宽度方向的中央部；区域A2 :将感光层在长度方向及宽度方向上分别分割成2部分 所隔成的4个区域中的1个区域的中央部。区域A3:与区域A2呈对角位置的区域的中央 部）进行观察时，直径为10 μ m以上的平均气泡数为2个以下。 本专利技术的第2实施方式提供一种感光性元件，其具备支撑膜、聚丙烯膜和配置于 所述支撑膜与所述聚丙烯膜之间的感光层，所述聚丙烯膜具有所述感光层侧的第1面和该 第1面的相反侧的第2面，所述第1面及所述第2面的算术平均粗糙度Ra为0. 05 μ m以下。 本专利技术的第3实施方式提供一种感光性元件，其具备支撑膜、聚丙烯膜和配置于 所述支撑膜与所述聚丙烯膜之间的感光层，所述聚丙烯膜具有所述感光层侧的第1面和该 第1面的相反侧的第2面，所述第1面及所述第2面的最大高度Rmax为0. 5μπι以下。 本专利技术人们对将感光性元件层压至基材（基板等）时产生的气泡进行了详细研 究。首先发现了，在使用具有两面带有凹凸的保护膜的感光性元件、在剥离保护膜之后层压 感光性元件时，与感光层的组成无关，均产生了纤维状的气泡（参照图2)。本专利技术人们对所 述纤维状气泡的产生原因进行了各种研究，结果发现气泡产生的主要原因是源于存在于两 面带有凹凸的保护膜表面上的突起形状。 接着，利用所述专利文献1?3的见解，使用将单面平滑的保护膜按照该保护膜的 平滑面与感光层相接触的方式层叠而成的感光性元件进行了研究。但是，本专利技术人们发现， 即便在使用这种手法时，在层压工序中也会产生圆状的气泡（参照图3)。 本专利技术人们对包括上述结果进行研究的结果发现，在使用层叠有感光层和保护膜 的感光性元件时，保护膜中未与感光层相接触的面的形状会有助于在感光层上形成凹凸。 当如此在感光层上形成凹凸时，成为产生层压气泡的主要原因。 另外，在用于获得上述见解而使用的上述专利文献1的保护膜中，直径为80 μ m以 上的鱼眼的数量是每lm2为5个以下。但是，即便在使用这种保护膜时，也确认了会产生层 压气泡。另一方面确认了，即便在使用直径为80 μ m以上的鱼眼为每lm2存在1000个以上 的保护膜时，有时也不会产生层压气泡。即，本专利技术人们发现了，与鱼眼的存在无关，是由于 保护膜的两面的形状而导致层压气泡产生。 保护膜中未与感光层相接触的面的形状会有助于在感光层上形成凹凸的理由并 不清楚，但本专利技术人们推测如下。 S卩，感光性元件通常卷绕在圆筒状等的卷芯上，以卷状的形态进行储藏。图4所示 的感光性兀件100具备支撑膜110、层叠于支撑膜110上的感光层120、以及层叠于感光层 120上的保护膜130。保护膜130具有感光层120侧的主面130a和主面130a的相反侧的 主面130b。在感光性元件100的储藏时，按照支撑膜110被配置于最外侧（图4的下侧） 的方式来卷绕。 推测在将感光性元件100卷绕在卷芯上本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种感光性元件，其具备支撑膜、聚丙烯膜和配置于所述支撑膜与所述聚丙烯膜之间的感光层，所述聚丙烯膜具有所述感光层侧的第1面和该第1面的相反侧的第2面，所述第1面及所述第2面是平滑的。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：笹原直树，向郁夫，佐藤真弓，濑里泰洋，安部攻治，桐生真奈美，
申请(专利权)人：日立化成株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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