【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供一种力检测元件和力转换元件。所述力检测元件具备金刚石基压电电阻，所述金刚石基压电电阻包含导入了作为杂质的硼的高取向性金刚石，所述金刚石基压电电阻的压电电阻系数的绝对值，大于将＜100＞方向作为主轴时的压电电阻系数π11或π12的绝对值。【专利说明】力检测元件和力转换元件 相关申请的交叉参考 本申请基于2013年04月24日向日本特许厅提交的日本专利申请第2013-090884 号，因此将所述日本专利申请的全部内容以引用的方式并入本文。
本专利技术涉及力检测元件和力转换元件。
技术介绍
力检测元件例如具备包含作为杂质导入了硼的金刚石的压电电阻。力检测元件例 如利用压电电阻的晶体取向依赖性(結晶方位依存性)。 日本特告平5-13451号公报公开了一种压力检测器。所述压力检测器具有向测量 气氛中突出的筒状罩壳。所述罩壳内形成有导入测量压力的压力室。压力室的室壁的一部 分包含根据测量压力的变化而变形的隔膜。所述隔膜上设有发出基于隔膜的变形的输出信 号的应变计。通过在金刚石单晶板上形成金刚石半导体膜而形成所述应变计。...
【技术保护点】
一种力检测元件，其特征在于，所述力检测元件具备金刚石基压电电阻，所述金刚石基压电电阻包含导入了作为杂质的硼的高取向性金刚石，所述金刚石基压电电阻的压电电阻系数的绝对值，大于将＜100＞方向作为主轴时的压电电阻系数π11或π12的绝对值。
【技术特征摘要】
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