温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种力检测元件和力转换元件。所述力检测元件具备金刚石基压电电阻，所述金刚石基压电电阻包含导入了作为杂质的硼的高取向性金刚石，所述金刚石基压电电阻的压电电阻系数的绝对值，大于将＜100＞方向作为主轴时的压电电阻系数π11或π12的绝...
该专利属于横河电机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过横河电机株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。