基于CCD对位系统的曝光机技术方案

本发明专利技术公开了一种基于CCD对位系统的曝光机，包括机座，以及设于机座上的自动供收机构、贴合机构，CCD自动对位机构、曝光光源组以及控制装置。本发明专利技术通过控制装置的统一控制以及各部件的协调工作，实现全程自动化上下料以及曝光和贴合，连续循环式的输送以及出料方式极大地提高了生产效率，通过CCD自动对位系统的精密对位，取代人工对位方式，不但有效地提高效率，而且能够降低人为因素的影响，从而保证产品的质量，另外本发明专利技术采用独特的光源设定，能够稳定地实现紫外平行光的输出，从而保证产品曝光效果，增加产品质量。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了一种基于CCD对位系统的曝光机，包括机座，以及设于机座上的自动供收机构、贴合机构，CCD自动对位机构、曝光光源组以及控制装置。本专利技术通过控制装置的统一控制以及各部件的协调工作，实现全程自动化上下料以及曝光和贴合，连续循环式的输送以及出料方式极大地提高了生产效率，通过CCD自动对位系统的精密对位，取代人工对位方式，不但有效地提高效率，而且能够降低人为因素的影响，从而保证产品的质量，另外本专利技术采用独特的光源设定，能够稳定地实现紫外平行光的输出，从而保证产品曝光效果，增加产品质量。【专利说明】基于CCD对位系统的曝光机
本专利技术涉及机械装置，特别涉及一种基于CCD对位系统的曝光机。
技术介绍
曝光机在电机科技产品上得到广泛的应用，例如：右半导晶元制作的应用、PCB电 路板的应用、薄膜式的晶片电阻等等。曝光机主要用于将电子线路图形显现在产品零件上， 从而得到体积小且多层线路的电子零件产品。现有技术的曝光机仅设置一个输送单位其工 作效率偏低，而且现有曝光光源输出直接照射，造成光束不稳定以及不均匀问题，影响产品 的质量。现有的曝光机机大部分采用激光测距或者光电测距对位，上述的测距方式测距存 在一定的偏差，产品的质量不能够保证。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种新型的基于CCD对位系统的曝光机。 根据本专利技术的一方面，提供了一种基于CCD对位系统的曝光机，包括机座，机座内 设置有散热部件，在其顶部设有用于安装工作部件的工作台，在工作台上设有外壳保护工 作部件；工作部件包括如下：自动供收机构，通过设有的机械手实现自动上料，置料以及出 料的功能。贴合机构，贴合机构包括曝光工作台、用于承载初稿的贴合机板以及设于曝光工 作台上的驱动机构，经由驱动机构驱动下，使得曝光工作台夹持工作以及在各方向上移动 位置的调整以及实现曝光与贴合的功能。CCD自动对位机构，实现工件的精准校准。曝光光 源组，曝光光源组设于曝光室内，曝光光源组设有多组光镜组合实现紫光平行光源输出。控 制装置，设定、整合自动供收机构、曝光光源组、C⑶自动对位机构以及贴合机构的运作，以 及监控各部件的工作流程和安全性问题，并反馈相应的指示信号。 特别的，曝光光源组以及曝光室的设定包括如下： ①、曝光室的整体呈"L"型，在曝光室的横向端下方设有出光口，且横向端的顶部 为斜面，在曝光室的纵向端内部设有灯架以及光镜组合的安装结构，且在纵向端的内部还 设置有散热风扇，曝光室通过支架固定于工作台上。 ②、曝光光源组包括点光源短弧灯、冷镜、椭圆极光器、积光器、反射镜以及平行反 射镜，点光源短弧灯为汞氙短弧灯，点光源短弧灯的发光源完全置于椭圆极光器内，冷镜斜 设于椭圆极光器的出光口上部，在椭圆极光器一旁设有用于将冷镜反射的光线均勻化的光 学积分器，反射镜以及平行反射设于曝光室的出光口。 特别的，C⑶自动对位机构包括影像机构、UVW平台，影像机构以及UVW平台均通过 控制装置控制运行， ①、UVW平台安装于贴合机构上，且设有升降伺服马达以及固定气缸，经由升降伺 服马达控制UVW平台的Z轴位移，固定气缸设于UVW平台的两侧，UVW平台还设置有原点光 电开关以及极限光电开关，用于升降伺服马达的原点以及极限位置的检测。 ②、影像机构包括影像基座以及设于影像基座上的两个成像机构，成像机构包括Y 轴移动机构、X轴移动机构、Z轴移动机构以及CCD光学摄像头所述Y轴移动机构包括固定 于影像基座上的第一步进马达以及与第一步进马达连接的第一活动座，X轴移动机构包括 固定于影像基座上的第二步进马达以及与第二步进马达连接的第二活动座，第二活动座设 于第一活动座上，Ζ轴移动机构包第三步进马达以及与第三步进马达连接的第三活动座，第 三活动座设于第二活动座上，C⑶光学摄像头固定于第三活动座上，C⑶光学摄像头采用上 光源组。 特别的，贴合机构，包括曝光工作台、用于承载初稿的贴合机板以及驱动机构，具 体设定如下： ①、曝光工作台包括固定于机座上的曝光基座，以及设于曝光基座上的置料平台 和光罩固定座： a、曝光基座包括上基座以及下基座，下基座的设置有第一滑轨，上基座设置于第 一滑轨上，下基座还设置有线性马达座以及线性马达，上基座通过线性马达座实现在滑轨 上前后移动，上基座表面还设置有第二滑轨以及联轴槽，线性马达还设置有原点光电开关 以及极限光电开关，用于线性马达的原点以及极限位置的检测； b、所述置料平台包括平台机架、置料台伺服马达、与置料台伺服马达连接的伺服 马达联轴器、置料台以及夹持机构：所述平台机架设置于第二滑轨上，所述伺服马达联轴器 设于联轴槽内且与平台机构连接，所述置料台伺服马达安装于上基座，UVW平台设于平台 机架上，置料台上设有上升气缸、夹持定位机构以及高度检测装置，夹持定位机构包括夹持 座、夹持定位爪、与夹持定位爪连接的夹持步进马达，夹持定位爪与夹持步进马达设于夹持 座上，置料台上还设有调整槽，夹持定位爪穿过调整槽，高度检测装置安装于调整槽一侧。 c、光罩固定座固定于第二滑轨上，且位于置料平台的前方，光罩固定座设有安装 槽。 ②、贴合机板安装于光罩固定座的安装槽上。 特别的，上升气缸设有上升气压监测器、上升气压调节器、下降气压监测器以及下 降气压调节器。 特别的，自动供收机构包括储盒机构、输送机构以及收送料移载机构： ①、储盒机构包括储盒底座、储盒框座、储盒切换气缸、储盒前后气缸以及储盒升 降气缸，储盒底座上设有第三滑轨，储盒框座设于第三滑轨上且与储盒前后气缸连接，储盒 切换气缸固定于储盒底座上，储盒框座左右各设有用于放置储盒的切换制具，所述两个切 换制具分别用于待加工工件的输送以及加工完成工件的收取，储盒框座上的设有第四滑 轨，切换制具设于第四滑轨上，切换制具与储盒切换气缸连接，储盒升降气缸与切换制具连 接。 ②、输送机构包括输送架、输送带以及感应马达，输送架固定于工作台上，且两侧 设有用于安装输送带的滚轴，感应马达与输送带连接。 ③、收送料移载机构包括移载机架、设于移载机架上的第五滑轨取料机构以及用 于取料机构沿第五滑轨滑动的取料步进马达，取料机构包括滑座、升降座、取料夹爪、升降 气缸以及开合气缸，滑座设于第五滑轨上且与取料步进马达连接，滑座上设有第六滑轨，升 降座设于第六滑轨上且与升降气缸连接，取料夹爪固定于升降座上，取料夹爪与开合气缸 连接，通过开合气缸实现取料夹爪的张合从而抓持工件，升降气缸固与卡合气缸均固定于 升降座上。 特别的，储盒框座上还设有储盒检测装置，检测装置用于检测框座是否装载储盒， 储盒底座的顶端设有油压缓冲器，油压缓冲器用于储盒框座的切换限位，输送架上设置有 用于检测储盒内是否有工件的感测装置，感测装置与感应马达连接，收送料移载机构还包 括到料检测装置，到料检测装置设于输送架上，且与控制装置连接。 特别的，储盒机构包括两个以上储盒机构，两个储盒机构分别设于收送料移载机 构的两侧，输送机构包括两个以上的输送机构，两个输送机构均分别设于储盒机构与收送 料移载机构之间，收送料移载机构包括两个以上的取料机构，取料机构分别安装与本文档来自技高网...

【技术保护点】
基于CCD对位系统的曝光机，其特征在于，包括机座，所述机座内设置有散热部件，在其顶部设有用于安装工作部件的工作台,在工作台上设有外壳保护工作部件；所述工作部件包括如下：自动供收机构，通过设有的机械手实现自动上料，置料以及出料的功能；贴合机构，所述贴合机构包括曝光工作台、用于承载初稿的贴合机板以及设于曝光工作台上的驱动机构，经由驱动机构驱动下，使得曝光工作台夹持工作以及在各方向上移动位置的调整以及实现曝光与贴合的功能；CCD自动对位机构，实现工件的精准校准；曝光光源组，曝光光源组设于曝光室内，曝光光源组设有多组光镜组合实现紫光平行光源输出；控制装置，设定、整合自动供收机构、曝光光源组、CCD自动对位机构以及贴合机构的运作,以及监控各部件的工作流程和安全性问题，并反馈相应的指示信号。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：喻良岳，
申请(专利权)人：东莞市瑾耀精密设备有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44