【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种具有自动对准系统的四曝光头光学曝光机，包括用于被曝光的玻璃基板，其特征在于，所述玻璃基板标有对准标记；一用于检测所述玻璃基板对准标记的定位工作台，所述玻璃基板的对准标记与所述定位工作台的固定标记对准；所述定位工作台具有电荷耦合元件图像传感器以及与所述电荷耦合元件图像传感器相互信号连接的处理器，所述电荷耦合元件图像传感器读取所述玻璃基板的标记图像，并将图像传输至所述处理器，所述处理器控制所述定位工作台进行XYΘ方向运动调节；所述光学曝光机包括位于所述玻璃基板上方的若干曝光头，所述曝光头正对所述玻璃基板；所述光学曝光机还包括用于传输所述玻璃基板至所述定位工作台的上料机构以及从所述定位工作台移除的下料机构。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡良斌，丁天祥，
申请(专利权)人：常熟晶悦半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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