【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开一种冷氢化系统用辐射加热装置,其特征在于,包括一个外观是卧式的加热筒体,加热筒体整体呈圆柱状,加热筒体内腔中排列有能够通入被加热四氯化硅和氢气的螺旋盘管。螺旋盘管为整根管材加工而成,并且螺旋盘管内部结构光滑。螺旋盘管材质为经过热处理的高镍合金Incloy800。所述加热筒体内部设有气体报警装置。本技术从根本上解决了接触式电加热器用于四氯化硅加热易结垢、易泄漏、寿命短的工艺难题,减少加热装置出现的结垢、泄漏、堵塞现象,同时延长使用周期。【专利说明】冷氢化系统用辐射加热装置
本技术是一种用于对氯硅烷和氢气进行加热的冷氢化系统用辐射加热装置, 属于多晶硅生产工艺
。
技术介绍
四氯化硅气体电加热器技术是现行多晶硅行业的一种基本技术手段。我国多晶硅 行业目前四氯化硅电加热器基本使用美国十五年前采用的循环接触式电加热器。其加热元 件为集束式电热管,加热管内充填无水氧化镁粉绝缘层,国产接触式电加热器平均使用寿 命5-6个月,更换一次加热管约为总费用的一般,后期维修成本较大,造成的停车损失更 大。 冷氢化工艺中,四 ...
【技术保护点】
冷氢化系统用辐射加热装置,其特征在于,包括一个外观是卧式的加热筒体,加热筒体整体呈圆柱状,加热筒体内腔中排列有能够通入被加热四氯化硅和氢气的螺旋盘管。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:周迎春,宋高杰,其他发明人请求不公开姓名,
申请(专利权)人:新特能源股份有限公司,
类型:新型
国别省市:新疆;65
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