还原炉料表优化方法及装置、还原炉料表仿真方法及系统制造方法及图纸

技术编号:46577047 阅读:0 留言:0更新日期:2025-10-10 21:19
本申请公开一种还原炉料表优化方法及装置、还原炉料表仿真方法及系统,涉及多晶硅生产技术领域。该还原炉料表优化包括:获取M个初始还原炉料表;针对M个初始还原炉料表中每一初始还原炉料表,根据目标预测模型,确定初始还原炉参数的第一目标集,以得到M个第一目标集;采用第二代非支配排序遗传算法对M个第一目标集进行多目标优化,得到P个第二目标集;输出P个第二目标集一一对应的P个第一目标还原炉料表。根据本申请实施例,该方法能够提高还原炉料表优化的效率和准确性。

【技术实现步骤摘要】

本申请属于多晶硅生产,具体涉及一种还原炉料表优化方法及装置、还原炉料表仿真方法及系统


技术介绍

1、多晶硅生产是光伏产业的重要环节,其中改良西门子法是主流生产方式之一。该方法将物料三氯氢硅(tcs)和氢气(h2)通入还原炉内,在1000~1100℃的硅芯上发生气相沉积反应增长成多晶硅棒。流量配比、电功率等还原炉料表参数直接影响能耗(行业平均电耗50-60kwh/kg)和产品质量(致密度差异可达15%)。在生产过程中,受多晶硅棒表面积的不断增大,硅周围的物料浓度,以及还原炉内热状况的影响,多晶硅生长过程中的物料量不可能为固定值,需要不断优化h2和tcs的流量、配比以及硅棒的电压,电流等。

2、现有技术中,还原炉控制主要依赖于分散控制系统(distributed controlsystem,dcs)。操作员需按照还原炉料表定时向dcs下发物料参数设定值,并通过实时观测炉内情况,并依据经验手动优化还原炉料表中进炉物料的比例。上述方式对操作员主观经验的依赖,导致还原炉料表优化的效率和准确性不够。


技术实现思路...

【技术保护点】

1.一种还原炉料表优化方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述目标预测模型包括热力学预测模型和机器学习预测模型;

3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述热力学预测模型根据所述初始相电压、所述初始相电流和所述初始硅棒总长度确定硅棒电阻率,并根据所述硅棒电阻率确定所述硅棒表面温度;

4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述获取M个初始还原炉料表,具体包括:

5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述从初始料表库中获取M个初始还原炉料表之前,所述方法还包括:

6.根据权利要求5所述的方...

【技术特征摘要】

1.一种还原炉料表优化方法,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述目标预测模型包括热力学预测模型和机器学习预测模型;

3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述热力学预测模型根据所述初始相电压、所述初始相电流和所述初始硅棒总长度确定硅棒电阻率,并根据所述硅棒电阻率确定所述硅棒表面温度;

4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述获取m个初始还原炉料表,具体包括:

5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所述从初始料表库中获取m个初始还原炉料表之前,所述方法还包括:<...

【专利技术属性】
技术研发人员:张兆东陈晨金鑫王文陈娜娜罗云胡雷
申请(专利权)人:新特能源股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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