本发明专利技术涉及一种在玻璃基板的端面处理方面具有特征的显示器用玻璃基板的制造方法。通过清洗玻璃基板的端面，从所述端面去除残留异物，而抑制以后工序的扬尘。本发明专利技术的玻璃基板的制造方法是具有经研磨加工的研磨处理部的玻璃板的制造方法，所述处理部通过与磁性体研磨粒接触而被研磨，对经研磨的所述处理部供给酸性清洗液，使所述处理部和所述处理部上所附着的所述磁性体的表面同极性带电，而使所述处理部和所述磁性体相互排斥，从而使所述金属附着物移动到酸性清洗液中。
【技术实现步骤摘要】
所述实施形态中是使用实施形态及图4中所说明的研磨装置40，利用安装在旋转轴35上的磁力体36a、36b之间所保持的含有磁性体的研磨浆料37而进行玻璃基板G的端面33的镜面研磨加工，也可通过另一形态，用于使磁性体研磨粒和玻璃基板的端面接触而进行研磨的玻璃的清洗。图8表示另一形态的研磨装置180。含有磁性体的研磨浆料187从供给部184被供给到具有没有图示的槽的旋转轮182的槽中，利用设置在旋转轮182上的磁力体185来保持含有磁性体的研磨浆料187并使之移动。含有磁性体的研磨浆料187随着旋转而接触玻璃板的端面，并被回收部186回收。另外，图4(b)表示包含空出间隙(磁场形成部)而配置旋转轮36的两个磁力体36a、36b，且在此磁场形成部保持含有磁性体的研磨浆料37的态样。但是，也可不使两个磁力体36a、36b空出间隙而紧密配置。在不使两个磁力体36a、36b空出间隙而紧密配置的情况下，研磨浆料37因旋转轮36所形成的磁场而被保持在旋转轮36的外周面上。在所述实施形态中，参照图6及图7对逐一清洗玻璃基板G的单片清洗方式进行了说明。但是，在本专利技术的清洗工序T5中，也可采用同时清洗多块玻璃基板G的批次清洗系统。图9是概念地表示同时清洗多块玻璃基板G的批次清洗系统中的多个液槽700中的一个的剖面图。批次清洗系统具备多个图9所示的液槽700，并且具备将容纳多块玻璃基板G的卡匣800进行搬运的搬运机构。各液槽700根据需要而具备在将玻璃基板G浸溃于液体L中的状态下通过超声波对其进行清洗的超声波清洗机构、及调节液体L的温度的温度调节机构。另外，批次清洗系统具备向各液槽700中供给液体L的储罐。容纳多块玻璃基板G的卡匣800被搬运设备所搬运，并被依序浸溃于液槽700中所储存的酸性化学药液、纯水、超纯水等液体L中。各液槽700中所储存的酸性化学药液是向用水稀释玻璃基板G用的清洗剂而成的稀释液中添加选自草酸、酒石酸及柠檬酸等多元有机酸中的I种以上的酸性成分而制作。通过使含有有机酸的酸性化学药液的PH值降低到2。O以下、优选I。6以下，使玻璃基板G的表面的ζ电位成为正电位，而使玻璃基板G的端面及主表面所附着的磁性体容易离开玻璃基板G。此外，通过酸性化学药液成分的螯合效果，而防止磁性体再附着在玻璃基板G上。通过发挥出酸性化学药液的这些功能，可有效地清洗玻璃基板G所附着的磁性体。另外，在利用酸性化学药液进行清洗后，也可加入利用碱性清洗液的清洗工序。作为碱性清洗液，例如可使用氢氧化钾(KOH)的溶液。[产业上的利用可能性]作为通过本专利技术而制造的玻璃基板，并不限于显示器用途，可适宜地用于显示器用
本专利技术涉及一种在玻璃基板的端面处理方面具有特征的显示器用玻璃基板的制造方法。
技术介绍
液晶显示器等的显示器用面板及显示器用玻璃基板的制造工序包括对切断玻璃基板而形成的端面进行倒角的工序。对于玻璃基板的端面，利用金刚石砂轮进行研削，而除去因切断而产生的裂痕及锐边。例如，利用金刚石砂轮以剖面成为R形的方式调整形状。其后，玻璃基板的端面是通过使用例如包含发泡树脂的具有柔软性的研磨轮的研磨加工而进行研磨。 另外，作为研磨加工技术，已知有如专利文献I所记载的将含有磁性体的研磨浆料用于玻璃基板端面的研磨加工的技术。另外，已知有如专利文献2、3所记载的为了进行表面的镜面加工而使用含有磁性体的研磨浆料的技术。 另外，对于经研磨加工的玻璃基板，需要通过清洗玻璃基板的表背面(主表面)及端面，而将研磨加工时所产生的玻璃粉及所附着的研磨材料、研磨颗粒从玻璃基板上去除。 [现有技术文献] [专利文献] [专利文献I]国际公开第2012/067587号 [专利文献2]日本专利特开2011-83827号公报 [专利文献3]日本专利特开2000-233359号公报
技术实现思路
[专利技术要解决的问题] 近年来，随着显示面板向高精细化、高分辨率化方向发展，对于驱动面板侧要求TFT线宽的细线化，另外，对于彩色滤光片面板侧更进一步要求黑矩阵的细线化。为了应对这种对玻璃基板的要求，对于玻璃基板的表面要求更高的洁净度。 因此，本专利技术提供一种玻璃基板的制造方法，其使用清洗因研磨加工而附着在玻璃基板端面的异物的技术。 [0021 ][解决问题的技术手段] 作为玻璃基板的主表面所附着的异物的主要产生原因之一，已知有曾附着在玻璃基板的端面的异物附着并残留在其主表面。利用磁性体研磨粒进行镜面研磨的玻璃基板的端面上也会残留存在现有清洗工序无法去除的异物。 因此，本专利技术是具有经研磨加工的处理部的玻璃基板的制造方法，并且所述处理部通过与包含磁性体的研磨浆料接触而被研磨，对经研磨的所述处理部供给清洗液，使所述处理部的表面和所述处理部所附着的所述磁性体的表面带同极电荷，而使所述处理部和所述磁性体相互排斥，从而使所述磁性体移动到清洗液中。例如，对于具有利用磁性体研磨粒进行研磨加工的端面的玻璃基板，通过对经研磨加工的端面供给酸性清洗液、优选含有有机酸的清洗液，使玻璃基板的端面和此端面所附着的磁性体研磨粒即铁系微粒子的表面带同极电荷，而使此端面和铁系微粒子相互排斥，从而使铁系微粒子移动到清洗液中。 另外，本专利技术提供一种显示器用玻璃基板的制造工序，其具备如下工序作为去除利用磁性体研磨粒进行研磨加工的玻璃基板的端面所附着的磁性体研磨粒的方法，此工序是在特定PH值环境下将玻璃基板的端面所附着的磁性体研磨粒的表面离子化，并且使玻璃基板的端面的表面电位成为正电位，使磁性体研磨粒从玻璃基板的端面上浮，并且通过螯合作用防止磁性体研磨粒再次附着在玻璃基板的主表面及端面，而从玻璃基板清洗去除磁性体研磨粒。另外，对于玻璃基板，在端面处理工序及清洗工序之后，经过端面的冲洗工序，进行利用碱性清洗剂等所进行的玻璃基板的主表面及端面的清洗。 另外，本专利技术的玻璃基板的制造方法具有如下工序:成形工序，由熔融玻璃成形玻璃板；切断工序，将所述玻璃板切断而形成玻璃基板；端面处理工序,通过使包含由磁力体所保持的磁性体的研磨浆料接触所述玻璃基板的端面而进行镜面研磨；及清洗工序，使用pH值2以下的酸性化学药液来清洗由所述玻璃基板的端面所附着的所述磁性体所产生的铁系微粒子；并且所述清洗工序的特征是将构成所述铁系微粒子的Fe3+还原成Fe2+离子，通过所述Fe2+离子的双齿以上的配位而形成络合物。 另外，本专利技术的显示器用玻璃基板的制造方法具有如下工序:成形工序，由熔融玻璃成形玻璃板；切断工序，将所述玻璃板切断而形成玻璃基板；端面处理工序,通过使包含由磁力体所保持的磁性体的研磨浆料接触所述玻璃基板的端面而进行镜面研磨处理；及清洗工序，利用酸性化学药液来清洗所述端面。所述端面处理工序是使用磁性体研磨粒的研磨，是使用具备具有和旋转轴一同旋转的第I磁力体及第2磁力体的磁场形成部、和所述包含磁性体研磨粒及液体且被形成在所述第I磁力体和所述第2磁力体之间的磁场所保持的含有所述磁性体的研磨浆料的研磨轮，在使所述旋转轴进行旋转的状态下，使所述研磨浆料和所述玻璃基板的端面接触而进行镜面研磨加工。而且，所述清洗工序的特征是，为了去除在所述端面处理工序中由所述玻璃基板的端面所附着的所述磁性体研磨粒所本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种玻璃基板的制造方法，其是具有经研磨加工的处理部的玻璃基板的制造方法，所述处理部通过与包含磁性体的研磨浆料接触而被研磨，对经研磨的所述处理部供给清洗液，使所述处理部的表面和所述处理部上所附着的所述磁性体的表面同极性带电，而使所述处理部和所述磁性体相互排斥，从而使所述磁性体移动至清洗液中。
【技术特征摘要】
2013.03.26 JP 2013-0651911.一种玻璃基板的制造方法，其是具有经研磨加工的处理部的玻璃基板的制造方法，所述处理部通过与包含磁性体的研磨浆料接触而被研磨，对经研磨的所述处理部供给清洗液，使所述处理部的表面和所述处理部上所附着的所述磁性体的表面同极性带电，而使所述处理部和所述磁性体相互排斥，从而使所述磁性体移动至清洗液中。2.一种玻璃基板的制造方法，其包括如下工序: 成形工序，由熔融玻璃成形玻璃板； 切断工序，将所述玻璃板切断而形成玻璃基板； 端面处理工序,通过使包含由磁力体所保持的磁性体的研磨浆料接触所述玻璃基板的端面而进行镜面研磨 '及 清洗工序，使用pH值2以下的酸性化学药液来清洗由接触所述端面的所述磁性体产生的铁系微粒子；并且 所述清洗工序的特征是将构成所述铁系微粒子的Fe3+还原成Fe2+离子，并通过所述Fe2+离子的双齿以上的配位而形成络合物。3.根据权利要求2所述的玻璃基板的制造方法，其中所述酸性化学药液包含2种以上的化学药液，此化学药液含有具有螯合效果的化学药液。4.根据权利要求2或3所述的玻璃基板的制造方法，其中所述清洗工序具备用以接触所述端面而物理清洗所述端面的清洗工具。5.根据权利要求3所述的玻璃基板的制造方法，其中所述具有螯合效果的化学药液具有从Fe的正八面体的六配位的铁离子中心起在xyz轴方向上以3 A以下的距离具有供电子基的分子构造。6.根据权利要求3所述的玻璃基板的制造方法，其中所述具有螯合效果的化学药液是选自由水杨酸、邻苯二甲酸、乙醛酸、草酸、反丁烯二酸、顺丁烯二酸、丙二酸、琥珀酸、葡萄糖酸、反式乌头酸、丙醇二酸、乳酸、丙酮酸、柠檬酸、异柠檬酸、乙醇酸、苹果酸、酒石酸、次氮基三乙酸、乙二胺四乙酸、羟基乙基乙二胺三乙酸、二乙三胺五乙酸、丝氨酸、天冬氨酸、谷氨酸、及半胱氨酸所组成的群中的I种以上。7.根据权利要求6所述的玻璃基板的制造方法，其中所述具有螯合效果的化学药液是选自由草酸、酒石酸及柠檬酸所组成的群中的浓度被调整为0.5wt%以上的化学药液。8.根据权利要求2所述的玻璃基板的制造方法，其中在所述清洗工序的后工序...
【专利技术属性】
技术研发人员：三隅宝，板仓慧，
申请(专利权)人：安瀚视特控股株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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