【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种去除烧结碳化硅反射镜的铝掺杂硅改性膜的方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：步骤一：将质量百分比浓度为68％的硝酸与水按照体积比1：5配置硝酸溶液，并用配好的硝酸溶液清洁镀有铝掺杂硅改性膜的烧结碳化硅镜胚10～30分钟；步骤二：用清水清洗镀有铝掺杂硅改性膜的烧结碳化硅镜胚5～20分钟；步骤三：将质量百分比浓度为40％的氢氟酸和水按照体积比10：1配制成溶液，并用配好的氢氟酸溶液清洁镀有铝掺杂硅改性膜的烧结碳化硅镜胚10～30分钟；步骤四：用清水清洗镀有铝掺杂硅改性膜的烧结碳化硅镜胚5～20分钟；步骤五：将质量百分比浓度为40％的氢氟酸和水按照体积比2：1配制成溶液；步骤...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王彤彤，高劲松，王笑夷，刘震，刘海，李玉东，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：吉林;22
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