薄膜的制造方法及制造设备技术

本发明专利技术提供一种薄膜的制造方法及制造设备，其能够以良好的成品率制造对热的尺寸稳定性优异的薄膜。其是进行薄膜的应力衰减处理的薄膜的制造方法，使用从气体喷射孔对薄膜喷出加热气体来以非接触状态输送薄膜的浮置输送装置（1），在以非接触状态输送薄膜的同时进行应力衰减处理。尤其适合于对聚酰亚胺薄膜的前驱体进行加热处理而得到的聚酰亚胺薄膜的应力衰减处理。

【技术实现步骤摘要】
薄膜的制造方法及制造设备
本专利技术涉及一种进行薄膜的应力衰减(応力緩和)处理的薄膜的制造方法及制造设备。
技术介绍
聚酰亚胺薄膜具有高耐热性、高电绝缘性，满足使用上所需的刚性、耐热性或电绝缘性。因此，广泛用于电绝缘薄膜、隔热薄膜、柔性电路板的基膜、太阳能电池基板等工业领域。 聚酰亚胺薄膜通过下述方法制造:将含有聚酰胺酸等的聚酰亚胺前驱体溶液流延到支持体上并干燥，形成自支撑膜，对自支撑膜进行加热处理而制造。 此外，由于在加热处理后的聚酰亚胺薄膜上残留应力，因此进行应力衰减处理(退火处理)来缓和残余应力，进行谋求提高对热的尺寸稳定性。 例如，专利文献I中公开了如下内容:在实际上无张力下，将聚酰亚胺薄膜以150°C以上且420°C以下加热I秒以上且60小时以内后，进行冷却处理直至室温，从而制造改进了加热收缩性的聚酰亚胺薄膜。 此外，专利文献2中公开了如下内容:对聚酰亚胺薄膜在薄膜的长度方向上施加I?10kg/m的张力，同时利用热风连续性地实施加热处理后，实施冷却处理，从而制造低收缩性聚酰亚胺薄膜。 此外，专利文献3中公开了如下内容:对聚酰亚胺薄膜将薄膜的长度方向上的张力保持在lkg/m以上且10kg/m以下，并照射远红外线以短时间进行加热处理后，实施冷却处理，从而制造低收缩性聚酰亚胺薄膜。 此外，并不限于聚酰亚胺薄膜，为了缓和残余应力，谋求提高对热的尺寸稳定性，在各种薄膜上进行薄膜的应力衰减处理。 现有技术文献 专利文献 专利文献1:日本专利公告平成5-87377号公报 专利文献2:日本专利公开2000-72900号公报 专利文献3:日本专利公开2000-72901号公报
技术实现思路
(一)要解决的技术问题 在应力衰减处理中，聚酰亚胺薄膜有时处于暴露在高于聚酰亚胺薄膜的玻璃化转变温度(以下将玻璃化转变温度标记为Tg)的温度下而软化的状态。因此，聚酰亚胺薄膜在应力衰减装置内输送时，表面容易产生伤痕等。如果在聚酰亚胺薄膜上产生伤痕等，会导致产品不良，因此成品率降低。 因此，本专利技术的目的在于提供一种薄膜的制造方法及制造设备，其能够以良好的成品率制造对热的尺寸稳定性优异的薄膜。 (二)技术方案 为了实现上述目的，本专利技术的薄膜的制造方法的特征在于，进行薄膜的应力衰减处理， 使用具备多个薄膜输送导向器的浮置输送装置，所述多个薄膜输送导向器具有设置有气体喷射孔的凸曲面状的薄膜输送面，从所述气体喷射孔对薄膜喷出加热气体，使薄膜交替地在相反方向上弯曲，以非接触状态输送，同时进行所述应力衰减处理。 根据上述专利技术，通过使用具备多个薄膜输送导向器的浮置输送装置，所述多个薄膜输送导向器具有设置有气体喷射孔的凸曲面状的薄膜输送面，将薄膜在非接触下进行输送，由此即使被加热气体加热而使薄膜软化,也能够不产生伤痕等地进行输送。 此外，如果薄膜软化，薄膜的刚性下降，变得容易产生折皱，但在上述专利技术中，通过使薄膜交替地在相反方向上弯曲，以非接触状态输送，同时对薄膜加热，由于通过使其弯曲，基于形状的刚性增大，因此能够抑制折皱的产生。 优选地，在本专利技术的薄膜的制造方法中，设置压薄膜装置，该压薄膜装置与所述薄膜输送导向器的薄膜输送面相对，具有在与该薄膜输送面之间以规定间隙配置的凹曲面，并在该凹曲面上设置有气体喷射孔，利用从所述薄膜输送导向器的气体喷射孔喷出的加热气体和从所述压薄膜装置的气体喷射孔喷出的加热气体，对薄膜的两面喷吹加热气体来进行浮置输送。 根据上述方式，通过利用从薄膜输送导向器的气体喷射孔喷出的加热气体和从压薄膜装置的气体喷射孔喷出的加热气体对薄膜的两面喷吹加热气体来进行浮置输送，能够更加良好地维持薄膜的平坦度，同时能够迅速且均匀地对薄膜进行加热。 优选地，在本专利技术的薄膜的制造方法中，改变从多个薄膜输送导向器的气体喷射孔喷出的加热气体的温度，来进行所述应力衰减处理。 根据上述方式，通过改变从多个薄膜输送导向器的气体喷射孔喷出的加热气体的温度，能够根据所期望的温度曲线进行应力衰减处理。 本专利技术的薄膜的制造方法尤其适合对将聚酰亚胺薄膜的前驱体进行加热处理而得到的聚酰亚胺薄膜进行应力衰减处理。 优选地，聚酰亚胺薄膜的应力衰减处理包括以下工序I?工序3，工序1:将聚酰亚胺薄膜的温度加热至设定在(聚酰亚胺薄膜的玻璃化转变温度(Tg)-150) V?(聚酰亚胺薄膜的玻璃化转变温度(Tg) + 200) °C的范围内的温度以上；工序2:在进行工序I后，将聚酰亚胺薄膜的温度设定为低于工序I中设定温度的(聚酰亚胺薄膜的玻璃化转变温度(Tg)-150) V?(聚酰亚胺薄膜的玻璃化转变温度(Tg)) 1:的范围内的温度；工序3:在进行工序2后，将聚酰亚胺薄膜的温度冷却至常温；其中，在至少所述工序I及所述工序2中，使用所述浮置输送装置。 在上述方式中，在工序I及工序2中，聚酰亚胺薄膜处于软化的状态，暴露在平坦度恶化或容易产生伤痕等的状态下，但通过在至少工序I及工序2中使用浮置输送装置进行应力衰减处理，能够可靠地防止平坦度的恶化及伤痕的产生。 此外，更加优选地，在上述方式中，所述工序2及所述工序3使聚酰亚胺薄膜的温度阶段性地下降来进行。 由此，由于能够将在工序I中加热至上述温度以上的聚酰亚胺薄膜在工序2及工序3中平滑地冷却，因此能够抑制伴随急剧的温度变化而产生折皱或凹凸，能够使聚酰亚胺薄膜的平坦度更加良好。 优选地，在本专利技术的薄膜的制造方法中，使从所述薄膜的输送路径上的一个弯曲部至下一个弯曲部的直线部的长度为50_以下。 根据上述方式，通过使刚性容易下降的直线部的长度为50mm以下，能够抑制由于薄膜的刚性下降而导致的折皱的产生。 优选地，在本专利技术的薄膜的制造方法中，将所述薄膜的输送路径上的弯曲部的曲率半径设为大于15mm且小于等于270mm。 根据上述方式，通过将薄膜的输送路径上的弯曲部的曲率半径设为大于15mm且小于等于270_，即使被加热气体加热而使薄膜软化，通过以上述曲率半径使其弯曲，基于形状的刚性进一步增大，因此能够更加有效地抑制折皱的产生。 优选地，在本专利技术的薄膜的制造方法中，将所述薄膜的输送路径上的沿一个薄膜输送导向器的薄膜输送面弯曲的角度设为90?270°。 根据上述方式，通过将沿一个薄膜输送导向器的薄膜输送面弯曲的角度设为90?270°，进一步提高弯曲部的刚性，能够更加有效地抑制折皱的产生。 优选地，在本专利技术的薄膜的制造方法中，形成如下结构:所述薄膜输送导向器的薄膜输送面由多孔质材料形成,通过该多孔质材料喷出加热气体。 根据上述方式，由于能够对薄膜大致均等地喷吹加热气体来进行应力衰减处理，因此不易发生压力不均或加热不均等，能够高效地缓和残余应力。进而，能够抑制在薄膜表面上产生折皱或凹凸等，能够高效地制造平坦度良好的薄膜。 优选地，在本专利技术的薄膜的制造方法中，同时使用从所述浮置输送装置喷出的加热气体的加热和红外线加热器的加热，来进行所述应力衰减处理。 另一方面，本专利技术的薄膜的制造设备的特征在于，具有对薄膜进行应力衰减处理的应力衰减装置，所述应力衰减装置具备浮置输送装置，该浮置输送装置从气体喷射孔对薄膜喷出加热气体，以非接触状态对薄膜进本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄膜的制造方法，其特征在于，进行薄膜的应力衰减处理，使用具备多个薄膜输送导向器的浮置输送装置，所述多个薄膜输送导向器具有设置有气体喷射孔的凸曲面状的薄膜输送面，从所述气体喷射孔对薄膜喷出加热气体，使薄膜交替地在相反方向上弯曲，以非接触状态输送，同时进行所述应力衰减处理。

【技术特征摘要】
2013.03.29 JP 2013-071134;2013.06.27 JP 2013-135301.一种薄膜的制造方法，其特征在于，进行薄膜的应力衰减处理， 使用具备多个薄膜输送导向器的浮置输送装置，所述多个薄膜输送导向器具有设置有气体喷射孔的凸曲面状的薄膜输送面，从所述气体喷射孔对薄膜喷出加热气体，使薄膜交替地在相反方向上弯曲，以非接触状态输送，同时进行所述应力衰减处理。2.根据权利要求1所述的薄膜的制造方法，其特征在于，设置压薄膜装置，该压薄膜装置与所述薄膜输送导向器的薄膜输送面相对，具有在与该薄膜输送面之间以规定间隙配置的凹曲面，在该凹曲面上设置有气体喷射孔，利用从所述薄膜输送导向器的气体喷射孔喷出的加热气体和从所述压薄膜装置的气体喷射孔喷出的加热气体，对薄膜的两面喷吹加热气体来进行浮置输送。3.根据权利要求1或2所述的薄膜的制造方法，其特征在于，改变从多个薄膜输送导向器的气体喷射孔喷出的加热气体的温度，进行所述应力衰减处理。4.根据权利要求1~3中任一项所述的薄膜的制造方法，其特征在于，对将聚酰亚胺薄膜的前驱体进行加热处理而得到的聚酰亚胺薄膜进行应力衰减处理。5.根据权利要求4所述的薄膜的制造方法，其特征在于，所述应力衰减处理包括: 工序1，将聚酰亚胺薄膜的温度加热至设定在聚酰亚胺薄膜的玻璃化转变温度Tg-150°C~聚酰亚胺薄膜的玻璃化转变温度Tg + 200°C的范围内的温度以上； 工序2，在进行工序I后，将聚酰亚胺薄膜的温度设定为低于工序I中设定温度的聚酰亚胺薄膜的玻璃化转变温度Tg-150°C~聚酰亚胺薄膜的玻璃化转变温度Tg°C的范围内的温度; 工序3，在进行工序2后，将聚酰亚胺薄膜的温度冷却至常温； 其中，在至少所述工序I及所述工序2中，使用所述浮置输送装置。6.根据权利要求5所述的薄膜的制造方法，其特征在于，所述工序2及所述工序3使聚酰亚胺薄膜的温度阶段性地下降来进行。7.根据权利要求1~6中任一项所述的薄膜的制造方法，其特征在于，使从所述薄膜的输送路径上的一个弯曲部至下一个弯曲部的直线部的长度为50mm以下。8.根据权利要求1~7中任一项所述的薄膜的制造方法，其特征在于，使所述薄膜的输送路径上的弯曲部的曲率半径为大于15mm且小于等于270mm。9.根据权利要求1~8中任一项所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：伊藤和美，木村征克，小川祐二，广幡大树，
申请(专利权)人：宇部兴产株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP