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本发明提供一种薄膜的制造方法及制造设备，其能够以良好的成品率制造对热的尺寸稳定性优异的薄膜。其是进行薄膜的应力衰减处理的薄膜的制造方法，使用从气体喷射孔对薄膜喷出加热气体来以非接触状态输送薄膜的浮置输送装置（1），在以非接触状态输送薄膜的同...
该专利属于宇部兴产株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过宇部兴产株式会社授权不得商用。

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