一种沉积石墨烯用移动式多工位沉积炉制造技术

本实用新型专利技术涉及沉积炉技术领域，尤其是涉及一种沉积石墨烯用移动式多工位沉积炉，包括若干组水平设置的石墨烯沉积系统和用于加热石墨烯沉积系统的移动炉体，移动炉体可以在若干组石墨烯沉积系统之间切换。本实用新型专利技术的一种沉积石墨烯用移动式多工位沉积炉，移动炉体沉积后可退出沉积区，隔热罩内设有的风淋系统和抽风系统可实现石墨烯沉积系统快速降温，大大缩短了冷却时间；一组移动炉体对应多组石墨烯沉积系统，彼此相互独立，实现沉积过程的多工位操作，可在第一套沉积时，对其他套进行装样、抽真空等过程，避免了不必要的沉积前序工期时间，节约了资源，缩短了沉积周期，提高了生产效率。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及沉积炉
，尤其是涉及一种沉积石墨烯用移动式多工位沉 积炉。 一种沉积石墨烯用移动式多工位沉积炉
技术介绍
石墨烯是2004年曼切斯特大学的Novoselov和Geim发现，其具有良好的物理、化 学、电学、力学等各方面的优异性能，在新能源、新材料和电子元器件等诸多领域有着广泛 的应用前景。石墨烯目前制备方法主要有：（1)微机剥离法。这种方法只能制备数量极少 的石墨烯。（2)外延法。这种方法主要缺点是成本高，因硅片尺寸较小，限制了其大规模应 用。（3)氧化还原法。该方法生产的石墨烯缺陷较多。（4)溶剂剥离法。该方法最主要缺 点是生产效率较低，限制其产业化。（5)化学气相沉积法（CVD)。该法可大规模批量化制备 石墨烯，生产的石墨烯晶体结构相对完整，质量较高，可用于透明电极、平板触摸屏等。化学 气相沉积法的原理是将一种或多种气态物质导入到一个反应腔中发生化学反应，并在基底 上沉积出一种材料。 目前，石墨烯沉积炉沉积单次，沉积炉体需要升温到沉积温度，沉积后试样要随炉 冷却到室温才能取样，升、降温周期长，速度慢；降温后从石英管中取样，进行下一次本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种沉积石墨烯用移动式多工位沉积炉，其特征在于包括：若干组水平设置的石墨烯沉积系统（1）和用于加热石墨烯沉积系统（1）的移动炉体（2），所述移动炉体（2）可以在若干组石墨烯沉积系统（1）之间切换。

【技术特征摘要】
1. 一种沉积石墨烯用移动式多工位沉积炉，其特征在于包括：若干组水平设置的石墨 烯沉积系统（1)和用于加热石墨烯沉积系统（1)的移动炉体（2)，所述移动炉体（2)可以在 若干组石墨烯沉积系统（1)之间切换。2. 如权利要求1所述的一种沉积石墨烯用移动式多工位沉积炉，其特征在于：所述石 墨烯沉积系统（1)设有两组，所述移动炉体（2)设有一组。3. 如权利要求1或2所述的一种沉积石墨烯用移动式多工位沉积炉，其特征在于：所 述沉积石墨烯用移动式多工位沉积炉还包括基台（3)，所述石墨烯沉积系统（1)通过石英 管固定装置（4)固定设置在基台（3)上表面，所述基台（3)上表面设有方便移动炉体（2)在 若干组石墨烯沉积系统（1)之间移动切换的导轨系统（5)。4. 如权利要求3所述的一种沉积石墨烯用移动式多工位沉积炉，其特征在于：所述导 轨系统（5)包括固定设置在基台（3)表面、便于移动炉体（2)水平移动的水平导轨（51)和 滑动设置在水平导轨（51)上、便于移动炉体（2)在垂直于水平方向移动的水平导台（52)， 所述水平导台（52)上表面固定设有坚直导轨（53)，所述坚直导轨（53)上滑动设置有移动 炉体（2)。5. 如权利要求1或2所述的一种沉积石墨烯用移动式多工位沉积炉，其特征在于：所 述石墨烯沉积系统（1)包括石英管（11 )，所述石英管...

【专利技术属性】
技术研发人员：金虎，刘志成，周振义，彭鹏，张志华，杨海涛，
申请(专利权)人：常州二维碳素科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32