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一种沉积石墨烯用移动式多工位沉积炉制造技术
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文档序号:10477788
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本实用新型涉及沉积炉技术领域,尤其是涉及一种沉积石墨烯用移动式多工位沉积炉,包括若干组水平设置的石墨烯沉积系统和用于加热石墨烯沉积系统的移动炉体,移动炉体可以在若干组石墨烯沉积系统之间切换。本实用新型的一种沉积石墨烯用移动式多工位沉积炉,移...
该专利属于常州二维碳素科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过常州二维碳素科技有限公司授权不得商用。
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