【技术实现步骤摘要】
基于原子力显微镜的微纳米结构侧壁表面成像装置及该装 置的成像方法
本专利技术涉及采用原子力显微镜(AFM)对微纳米结构侧壁表面进行扫描成像的技 术。
技术介绍
对微纳米结构侧壁表面进行表征是检测微纳米结构加工性能的重要手段,如何实 现对微纳米结构侧壁表面表征是提高微纳米结构检测技术的关键。传统的原子力显微镜 (AFM)采用Top-Down方式观测样品表面形貌,这种操作方式能够有效地观测到微纳米结 构中与基底面平行的表面及与基底面成小角度外斜表面的形貌,但对于微纳米结构中出现 的与基底面成大锐角表面、垂直侧壁表面及大倾角内斜表面则很难实现对其进行有效的观 测,即很难实现对微纳米结构大角度侧壁表面进行扫描成像、检测、分析和度量。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了解决传统原子力显微镜(AFM)很难实现对微纳米结构侧壁 表面进行扫描成像的问题,提供一种基于原子力显微镜的微纳米结构侧壁表面成像装置及 该装置的成像方法。 本专利技术所述的基于原子力显微镜的微纳米结构侧壁表面成像装置,包括原子力显 微镜和探针架3,所述探针架3包括基座3-1和旋转臂3-3,旋转臂3-3设置在基座3-1上, 且该旋转臂3-3能够绕其中心轴旋转,基座3-1用于将探针架3固定在原子力显微镜的探 针手4上,原子力显微镜的探针固定在探针架3的旋转臂3-3上,且该探针的横截面为圆形 或椭圆形。 所述的原子力显微镜包括光学显微镜、上位机11、激光力学子系统、探针手4、XY 微米定位台5、XYZ纳米定位台6、样品台7和XYZ微米定位台9、探针控制器13、 ...
【技术保护点】
基于原子力显微镜的微纳米结构侧壁表面成像装置,包括原子力显微镜,其特征在于:它还包括探针架(3),所述探针架(3)包括基座(3‑1)和旋转臂(3‑3),旋转臂(3‑3)设置在基座(3‑1)上,且该旋转臂(3‑3)能够绕其中心轴旋转,基座(3‑1)用于将探针架(3)固定在原子力显微镜的探针手(4)上,原子力显微镜的探针固定在探针架(3)的旋转臂(3‑3)上,且该探针的横截面为圆形或椭圆形。
【技术特征摘要】
1. 基于原子力显微镜的微纳米结构侧壁表面成像装置,包括原子力显微镜,其特征在 于:它还包括探针架(3),所述探针架(3)包括基座(3-1)和旋转臂(3-3),旋转臂(3-3) 设置在基座(3-1)上,且该旋转臂(3-3)能够绕其中心轴旋转,基座(3-1)用于将探针架 (3)固定在原子力显微镜的探针手(4)上,原子力显微镜的探针固定在探针架(3)的旋转臂 (3-3)上,且该探针的横截面为圆形或椭圆形。2. 根据权利要求1所述的基于原子力显微镜的微纳米结构侧壁表面成像装置,其特征 在于:所述的原子力显微镜包括光学显微镜、上位机(11)、激光力学子系统、探针手(4)、XY 微米定位台(5)、ΧΥΖ纳米定位台(6)、样品台(7)和ΧΥΖ微米定位台(9)、探针控制器(13)、 米集卡(12)、压电控制器(8)、一号切换器(10)和二号切换器(14); 所述激光力学子系统用于测量探针与样品表面间的相互作用力信号或谐振信号,所述 激光力学子系统包括激光器(1)和四象限位置检测器(2); 所述ΧΥ微米定位台(5)固定在光学显微镜的底座上,所述底座为平板结构,ΧΥ平面与 光学显微镜的底座平行,ΧΥΖ纳米定位台(6)固定在ΧΥ微米定位台(5)上,样品台(7)固 定在ΧΥΖ纳米定位台(6)上,探针手(4)固定在所述ΧΥΖ微米定位台(9)上; 所述的激光力学子系统中,激光器(1)发出的激光入射到探针上,经所述探针反射后 的激光入射至四象限位置检测器(2)的检测面上; 上位机(11)的ΧΥΖ微米控制信号输出端连接ΧΥΖ微米定位台(9)的控制信号输入端, 上位机(11)的ΧΥ微米控制信号输出端连接ΧΥ微米定位台(5)的控制信号输入端,上位机 (11)的X纳米控制信号输出端通过压电控制器⑶连接ΧΥΖ纳米定位台(6)的X控制信号 输入端,上位机(11)的Υ纳米控制信号输出端和探针控制器(13)的Υ纳米控制信号输出 端分别连接二号切换器(14)的两个信号输入端,该二号切换器(14)的信号输出端通过压 电控制器(8)连接ΧΥΖ纳米定位台(6)的Υ控制信号输入端,上位机(11)的Ζ纳米控制信 号输出端和探针控制器(13)的Ζ纳米控制信号输出端分别连接一号切换器(10)的两个信 号输入端,该一号切换器(10)的信号输出端通过压电控制器(8)连接ΧΥΖ纳米定位台(6) 的Ζ控制信号输入端,探针控制器(13)的振动控制信号输出端连接探针手(4)的振动控制 信号输入端,四象限位置检测器(2)的法向检测信号输出端同时连接探针控制器(13)的法 向检测信号输入端和采集卡(12)的法向检测信号输入端,该四象限位置检测器(2)的侧向 检测信号输出端和总检测信号输出端分别连接采集卡(12)的侧向检测信号输入端和总检 测信号输入端,采集卡(12)的信号输出端连接上位机(11)的采集卡信号输入端。3. 根据权利要求1所述的基于原子力显微镜的微纳米结构侧壁表面成像装置,其特征 在于:所述的探针架(3)还包括传动装置(3-2)和旋钮,所述传动装置(3-2)设置在基座 (3-1)与旋转臂(3-3)之间,旋钮用于调节传动装置(3-2),进而带动旋转臂(3-3)转动。4. 根据权利要求3所述的基于原子力显微镜的微纳米结构侧壁表面成像装置,其特征 在于:所述的传动装置(3-2)通过齿轮传动实现。5. 根据权利要求1所述的基于原子力显微镜的微纳米结构侧壁表面成像装置,其特征 在于:所述的探针控制器(13)采用0C4探针动态控制器实现。6. 权利要求2所述的基于原子力显微镜的微纳米结构侧壁表面成像装置的成像方法, 其特征在于,该方法通过以下步骤实现: 步骤一、将待测样品底面固定在样品台(7)上,使待测样品的待成像侧壁表面与X轴平 行,调整旋转臂(3-3)的角度,使探针...
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