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基于原子力显微镜的微纳米结构侧壁表面成像装置及该装置的成像方法，涉及采用AFM对微纳米结构侧壁表面进行扫描成像的技术。它为了解决传统AFM很难实现对微纳米结构侧壁表面进行扫描成像的问题。本发明在原有的原子力显微镜的基础上增加了探针架，使探针...
该专利属于哈尔滨工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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