具有对流压缩机的热扩散室制造技术

本发明专利技术涉及具有对流压缩机的热扩散室，优选地，公开了支撑容纳室的框架（处理室限制在容纳室内）、以及与密封处理室的外部流体连通的至少一个流体入口结构，该流体入口结构包括至少一个流量调节结构以控制来自流体源且在处理室的外部周围的流体流量，以及与处理室的内部流体连通的开环流体对流系统，其中，该流体对流系统包括延伸到处理室中的旋转压缩机组件。

【技术实现步骤摘要】
具有对流压缩机的热扩散室 相关申请 本申请是2010年12月30日提交的名称为具有热交换器的热扩散室的美国专利申 请第12/982, 224号的部分继续申请。
所请求保护的专利技术涉及热扩散室设备以及制造用于生产太阳能电池板的热扩散 室的方法的领域，并且更具体地涉及获得被限制在热扩散室内的基片的更均匀热剖面的结 构和方法。
技术介绍
-种形式的太阳能发电依赖于太阳能电池板，该太阳能电池板进而依赖于所选择 材料向基片上的扩散。在一个示例中，将玻璃用作基片，其被暴露于气态硒化物以在基片上 形成含有铜、铟和硒化物的膜。已知气态硒化物对人是有毒的，这强调须采用谨慎的处理方 法，包括热调节系统。 这样，能够以高效且可靠方式阻止处理室内的气态硒化物移动并泄漏到大气中的 热调节系统可以大大改进用于提供含有铜、铟和硒化物的膜(扩散到其内）的基片的热室的 操作和生产量。 因此，对于热扩散室的处理室的热调节的改进机构和方法存在着持续需求。
技术实现思路
根据本专利技术的各种示例性实施例，优选地提供了支撑容纳室的框架(处理室限制 在容纳室内）、以及与密封处理室的外部流体连通的至少一个流体入口结构，该流体入口结 构包括至少一个流量调节结构，以控制来自流体源且在处理室的外部周围的流体流量。优 选地，该示例性实施例还提供与处理室的内部流体连通的开环流体对流系统，其中，该流体 对流系统包括延伸到处理室中的旋转压缩机组件、与流量调节结构相连的控制器、以及至 少与流量调节结构和所述控制器相连的控制信号总线，控制信号总线响应于处理室内部的 测得内部温度值将控制信号发送至流量调节结构，其中，旋转压缩机组件包括用于在处理 室内旋转的中心轴。 【附图说明】 图1示出了请求保护的本专利技术的热室的一个示例性实施例的带局部剖视图的正 交投影。 图2提供示例性基片支撑框架的正交投影，该示例性基片支撑框架构造成用于图 1的热室的示例性实施例。 图3示出了图1的热室的示例性实施例的剖面右侧立面图。 图4不出了图1的热室的不例性实施例的剖面前立面图，不出了排出歧管和管道。 图5提供图1的热室的示例性实施例的、具有附接的入口管道的流体入口结构的 放大详细剖面立面图。 图6示出了图1的热室的示例性实施例的剖面右侧立面图，示出了一个示例性的 闭环内部热交换器。 图7示出了图1的热室的示例性实施例的剖面右侧立面图,示出了一个示例性的 开环内部热交换器。 图8示出了图1的热室的示例性实施例的剖面右侧立面图,示出了一个示例性的 内部热传感器。 图9 一般性地示出了图1的热室的示例性组合内部热传感器、开环内部热交换器 和闭环内部热交换器组件的平面图。 图10示出了图1的热室的具有附接的初级热偏转组件的示例性门的正交投影。 图11提供图10的初级热分散组件的正交投影。 图12示出了图1的热室的次级热分散组件的正交投影。 图13示出了用于冷却图1的热室的内部和外部的冷却热交换系统的示意图。 图14示出了图1的热室的替代示例性组合内部热传感器、开环内部热交换器和闭 环内部热交换器组件的平面图。 图15提供图14的替代示例性组合内部热传感器、开环内部热交换器和闭环内部 热交换器组件的端视图。 图16示出了图14的替代示例性组合内部热传感器、开环内部热交换器和闭环内 部热交换器组件的侧面立面图。 图17a示出了位于图1的热室内的图14的替代示例性组合内部热传感器、开环内 部热交换器和闭环内部热交换器组件的端视图。 图17b示出了附接到图17a的热室的底部端口支架的平面图。 图18示出了位于图1的热室内的图14的替代示例性组合内部热传感器、开环内 部热交换器和闭环内部热交换器组件的侧面立面图。 图19 一般性地示出了形成图1的热室的一个示例性实施例的方法的流程图。 图20示出了形成图1的热室的一个示例性实施例的方法的流程图。 图21示出了形成图1的热室的一个替代示例性实施例的方法的流程图。 图22示出了形成图1的热室的一个替代示例性实施例的方法的流程图。 图23示出了形成图1的热室的一个替代示例性实施例的方法的流程图。 图24示出了请求保护的本专利技术的开环热交换系统的一个示例性实施例的正交投 影。 图25示出了图23的开环热交换系统的示例性实施例的冷却管组件的正交投影。 图26示出了图23的冷却管组件的右侧立面图。 图27示出了冷却管组件的一个优选实施例的右侧立面图。 图28示出了位于热室的处理室内的冷却管组件的一个实施例的右侧剖视图。 图29示出了图1的热室的一个示例性实施例的正交投影，具有与其集成的开环流 体对流系统。 图30示出了具有图25的开环流体对流系统的热室的右侧局部剖视图。 图31示出了支撑多个基片且与护罩相连的基片支撑框架的右侧正交投影。 图32示出了封入图21的多个基片的对流管道的一对流量限制盖中的一个盖的局 部剖视图。 图33示出了与图25的门组件相互作用的旋转压缩机组件的内部视图。 图34示出了与图33的门组件相互作用的旋转压缩机组件的外部视图。 图35示出了封入图32的多个基片的、对流管道的一对流量限制盖的一部分的局 部剖视图。 图36示出了与图1的处理室的门相连的门轮床（gurney)的局部剖视图。 【具体实施方式】 现在将具体参考附图中所示本专利技术各种实施例的一个或多个示例。所提供的各示 例是以解释本专利技术的各种实施例为目的，并非意图限制本专利技术。例如，作为一个实施例的一 部分而说明或描述的特征可用于另一个实施例，从而形成不同的实施例。对所描述实施例 的其它修改和变更也包含在请求保护的本专利技术的精神和范围内。 转向附图，图1示出了示例性热扩散室100,该热扩散室100至少包括由框架104 支撑的容纳室102。容纳室102进而支撑处理室106,处理室106优选由石英形成，但替代 地可由钛或钛合金形成。 优选地，示例性热扩散室100还包括：设置在处理室106和容纳室102之间的热源 模块108、形成于处理室106和热源模块108之间的热调节腔110、以及固定到处理室106 的边缘且锚固到容纳室102的环圈109。图1还示出提供了至少一个流体入口箱112 (本 文中也称为流体入口结构112)，其与热调节腔110流体连通。 图2示出了构造成用于热扩散室100的示例性实施例（图1)的示例性基片支撑框 架113。在一个优选实施例中，基片支撑框架113优选地由石英形成，但替代地可由钛或钛 合金形成，并且基片支撑框架113容纳多个基片115(示出了一块)。在一个替代实施例中， 基片支撑框架113由钛形成。在操作中，用基片115填充基片支撑框架113达最大限度，再 将基片支撑框架113定位在处理室106内。在处理室106内，基片支撑框架113在扩散过 程中起基片115的固定物的作用。优选地，基片115的形状是宽度大致为650毫米且长度 大致为1650毫米的长方形，并且基片115由玻璃(优选钠钙硅玻璃）形成。 图3示出了热扩散室100的一个示例性实施例，该热扩散室1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种装置，包括：框架，所述框架支撑容纳室；处理室，所述处理室被限制在所述容纳室内；热源模块，所述热源模块设置在所述容纳室和所述处理室之间；热调节腔，所述热调节腔形成于所述热源模块和所述处理室之间；与所述热调节腔流体连通的至少一个流体入口结构，其中，所述流体入口结构提供阀，所述阀控制从所述热调节腔经过所述流体入口结构流动至所述热调节腔外部的环境的流体流量，并且其中，所述流体入口结构还包括流量调节结构，所述流量调节结构与所述阀相互作用以控制从在所述热调节腔外部的环境经过所述阀流入所述热调节腔的流体流量；以及与所述处理室的内部流体连通的开环流体对流系统，其中，所述流体对流系统包括延伸到所述处理室中的旋转压缩机组件。

【技术特征摘要】
2013.03.14 US 13/803,7261. 一种装置，包括： 框架，所述框架支撑容纳室； 处理室，所述处理室被限制在所述容纳室内； 热源模块，所述热源模块设置在所述容纳室和所述处理室之间； 热调节腔，所述热调节腔形成于所述热源模块和所述处理室之间； 与所述热调节腔流体连通的至少一个流体入口结构，其中，所述流体入口结构提供阀， 所述阀控制从所述热调节腔经过所述流体入口结构流动至所述热调节腔外部的环境的流 体流量，并且其中，所述流体入口结构还包括流量调节结构，所述流量调节结构与所述阀相 互作用以控制从在所述热调节腔外部的环境经过所述阀流入所述热调节腔的流体流量；以 及 与所述处理室的内部流体连通的开环流体对流系统，其中，所述流体对流系统包括延 伸到所述处理室中的旋转压缩机组件。2. 如权利要求1所述的装置，其中，所述处理室是密封处理室，并且还包括： 热源模块，所述热源模块设置在所述容纳室和所述处理室之间；以及 热传感器组件，所述热传感器组件设置在所述密封处理室的内部中且与所述密封热室 的壁相邻，所述热传感器组件测量所述密封处理室的内部温度值，并且其中，所述开环流体 对流系统还包括与所述旋转压缩机组件相邻的护罩。3. 如权利要求2所述的装置，还包括与所述流量调节结构和所述热传感器组件相连的 控制器，所述控制器响应于所述密封处理室的测得的内部温度值而设定所述流量调节结构 的流动位置以调节从所述流体源经过所述流体入口结构且在所述密封处理室的外部周围 的流体流量，并且其中，与所述旋转压缩机组件相邻的所述护罩与基片支撑框架相连。4. 如权利要求3所述的装置，还包括对流管道，所述对流管道由一对基片和一对流量 限制盖形成，所述一对基片布置成分别与所述基片支撑框架的侧面相邻，所述一对流量限 制盖布置成分别与所述基片支撑框架的顶侧和所述基片支撑框架的底侧相邻，所述对流管 道与所述护罩相邻。5. 如权利要求4所述的装置，其中，所述流体对流系统还包括： 马达，所述马达与所述旋转压缩机组件相连；以及 马达控制器，所述马达控制器与所述马达相连并且对所述热传感器组件做出响应。6. 如权利要求5所述的装置，其中，所述马达是电马达。7. 如权利要求5所述的装置，其中，所述马达是旋转液压马达。8. 如权利要求5所述的装置，其中，所述马达是旋转气动马达。9. 如权利要求5所述的装置，其中，所述旋转压缩机组件包括： 中心轴，所述中心轴对所述马达做出响应； 后板，所述后板被固定到所述中心轴以便与所述中心轴一起转动；以及 多个叶片，所述多个叶片径向地设置在所述中心轴的周围且从所述后板延伸。10. 如权利要求9所述的装置，其中，所述旋转压缩机组件还包括与所述多个叶片相连 的面板，所述多个叶片设置在所述后板和所述面板之间以便与所述中心轴一起转动。11. 一种装置，包括： 框架，所述框架支撑容纳室； 处理室，所述处...

【专利技术属性】
技术研发人员：MR埃里克森，HJ普尔，N贾姆施迪，AW卡斯特三世，AL丁古斯，
申请(专利权)人：普尔·文图拉公司，
类型：发明
国别省市：美国;US