【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术提供一种校准模具，用于校准机械手与晶圆槽位之间的传送位置，所述校准模具至少包括：由两个纵臂和连接于该两个纵臂之间的横臂构成的U型块；所述两个纵臂的侧壁外分别具有与所述U型块开口端贯通的凸台；所述凸台与所述横臂交汇处设有挡台；所述两个纵臂的侧壁内、所述凸台水平线以下分别设有开口彼此相对的凹槽；所述凹槽分别与该U型块的开口端以及组成该U型块的横臂贯通。本技术的所述校准模具根据机械手尺寸使其与晶圆槽位精确定位，在机械手传送晶圆的过程中，使得晶圆传送位置标准化，降低晶圆被划伤的几率，提高了产品的良率。【专利说明】一种校准模具
本技术涉及一种校准模具，特别是涉及一种用于半导体机械手臂的校准模具。
技术介绍
目前，在半导体生产工艺车间内，一般采用如图3所示的机械手30(Robot arm)传送晶圆，而采用晶圆槽位(slot)来承载晶圆如Load lock slot, FOUP slot等。通常,如图2中所示，所述晶圆槽位20用于承载若干晶圆，其结构为纵向层叠而横向左右对称度的结构，其中每一层槽位用于承载一片晶圆。将晶圆放置于机械手30后，机械手会将晶...
【技术保护点】
一种校准模具，用于校准机械手与晶圆槽位之间的传送位置，其特征在与：所述校准模具至少包括：由两个纵臂和连接于该两个纵臂之间的横臂构成的U型块；所述两个纵臂的侧壁外分别具有与所述U型块开口端贯通的凸台；所述凸台与所述横臂交汇处设有挡台；所述两个纵臂的侧壁内、所述凸台水平线以下分别设有开口彼此相对的凹槽；所述凹槽分别与该U型块的开口端以及组成该U型块的横臂贯通。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：沈祥江，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11
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