一种光学八细分线性干涉仪制造技术

一种光学八细分线性干涉仪，包括偏振分光棱镜、矩形角镜、第一四分之一波片、第二四分之一波片、第一角锥棱镜和第二角锥棱镜，其中，所述矩形角镜胶结于偏振分光棱镜入射面的一个侧面的上半部分，且矩形角镜的胶合面、偏振分光棱镜的入射面和分束面交于同一侧棱；所述第一四分之一波片胶结于偏振分光棱镜入射面的正对面；第二四分之一波片胶结于偏振分光棱镜入射面的另一个侧面；所述第一角锥棱镜作为测量臂角锥棱镜，与被测对象固结且其折射面对应第一四分之一波片，所述第二角锥棱镜作为参考臂角锥棱镜，且其折射面对应第二四分之一波片，本发明专利技术可提高现有线性干涉仪的测量分辨率，降低测量非线性。

【技术实现步骤摘要】
一种光学八细分线性干涉仪
本专利技术属于精密位移测量
，特别涉及一种光学八细分线性干涉仪。
技术介绍
双频激光干涉测量具有测量精度高、实时动态性能好、测量配置便捷、环境适应性强等优点，广泛应用在精密机床标定、大规模集成电路光刻机工件台和研磨台的精密定位等诸多领域。一个典型的双频激光干涉测量系统包含双频稳频激光头、干涉仪和测量电子模块。其中干涉仪通过偏振分束构成参考光路和测量光路，合束后的外差干涉信号经探测器检测，输入测量电子模块进行位移解算。在双频激光干涉测量系统中，位移的变化反映在光程的变化上，光程差变化一个波长，对应干涉信号相位变化360°。其位移测量分辨率由以下两方面决定:1)光程差和位移量的比值，由干涉仪的光学细分确定，通常，采用角镜为靶镜的线性干涉仪的光学细分为2 ;2)360°内的相位细分，测量电子模块实现，目前可以达到512，1024甚至更高的细分。目前，商用的双频激光干涉系统可以实现0.3nm甚至更高的位移测量分辨率。但是，由于测量光学其中的缺陷，导致被测信号中叠加有一个周期性的相位误差，使得测量相位信息与被测位移之间存在非线性关系，直接限制了双频干本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学八细分线性干涉仪，其特征在于，包括偏振分光棱镜(100)、矩形角镜(200)、第一四分之一波片(300)、第二四分之一波片(500)、第一角锥棱镜(400)和第二角锥棱镜(600)，其中，所述矩形角镜(200)胶结于偏振分光棱镜(100)入射面的一个侧面的上半部分，且矩形角镜(200)的胶合面、偏振分光棱镜(100)的入射面和分束面交于同一侧棱；所述第一四分之一波片(300)胶结于偏振分光棱镜(100)入射面的正对面；第二四分之一波片(500)胶结于偏振分光棱镜(100)入射面的另一个侧面；所述第一角锥棱镜(400)作为测量臂角锥棱镜，与被测对象固结且其折射面对应第一四分之一波片(30...

【技术特征摘要】
1.一种光学八细分线性干涉仪，其特征在于，包括偏振分光棱镜(100)、矩形角镜(200)、第一四分之一波片(300)、第二四分之一波片(500)、第一角锥棱镜(400)和第二角锥棱镜(600)，其中，所述矩形角镜(200)胶结于偏振分光棱镜(100)入射面的一个侧面的上半部分，且矩形角镜(200)的胶合面、偏振分光棱镜(100)的入射面和分束面交于同一侧棱；所述第一四分之一波片(300)胶结于偏振分光棱镜(100)入射面的正对面；第二四分之一波片(500)胶结于偏振分光棱镜(100)入射面的另一个侧面；所述第一角锥棱镜(400)作为测量臂角锥棱镜，与被测对象固结且其折射面对应第一四分之一波片(300)，所述第二角锥棱镜(600)作为参考臂角锥棱镜，且其折射面对应第二四分之一波片(500)。2.根据权利要求1所述的光学八细分线性干涉仪，其特征在于，所述第一四分之一波片(300)和第二四分之一波片(500)在矩形角镜(200)对应高度的出射面上镀增透膜，在其余位置镀高反膜。3.根据权利要求1所述的光学八细分线性干涉仪，其特征在于，所述第一四分之一波片(300)的上半部分(301)和第二四分之一波片(500)的上半部分(501)均镀增透膜...

【专利技术属性】
技术研发人员：王君博，尉昊赟，赵世杰，李岩，
申请(专利权)人：清华大学，
类型：发明
国别省市：北京;11