立式氧化炉炉体加热控制装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种立式氧化炉炉体加热控制装置，包括变压器、变压器原边部件组、和副边部件组；变压器原边部件组包括：主断路器、第一接触器；主断路器一端连接厂房三相交流电压，另一端连接第一接触器，第一接触器还连接变压器的原边侧；变压器副边部件组包括：功率输出控制器、第二接触器；功率输出控制器输入端连接变压器的副边侧，输出端连接第二接触器，第二接触器还连接炉体炉丝；其中，第一接触器控制变压器原边得电，第二接触器控制变压器副边向炉体炉丝供电。其可以消除变压器启动时可能发生的断路器跳闸现象，同时还可防止炉体温度失控，提升了设备安全性。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
立式氧化炉炉体加热控制装置
本技术涉及温度控制
，更具体地说，涉及一种立式氧化炉炉体加热控制装置。
技术介绍
立式氧化炉设备在半导体生产行业不可或缺，无论国产还是进口设备，对于炉体炉丝加热方式，普遍使用变压器加功率控制器来直接控制炉丝的升降温，这种方式在设备正常运行的时候，可以达到良好的功率控制效果。然而，上述控制方式在实际生产中暴露出如下问题:其缺点一是当变压器启动时，会有很大的冲击电流，容易造成断路器跳闸，不能给炉丝正常供电，除非更换可以抗击更大冲击电流的断路器，才能使得短路保护与过流保护部满足变压器的需要；或者，使用软启动装置能够消除断路器跳闸现象，但是系统在启动时间上有延长，运行成本高；上述控制方式的缺点二是当上位机与功率控制器元器件故障后炉体加热不会主动或即时停止；使用软启动方式时，在上位机出现故障的时候也会造成炉体温度失控，从而对人员与设备安全造成威胁。因此，业内需要一种可避免变压器启动时的断路器跳闸现象，以及能在元器件故障后自动停止加热的立式氧化炉炉体加热控制装置。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种立式氧化炉炉体加热控制装置。为实现上述目的，本技术一技术方案如下:—种立式氧化炉炉体加热控制装置，包括变压器、变压器原边部件组、和副边部件组，变压器用于将厂房三相交流电压转换为加热炉体炉丝适用的电压；变压器原边部件组包括:主断路器、第一接触器；主断路器一端连接厂房三相交流电压，另一端连接第一接触器，第一接触器还连接变压器的原边侧；变压器副边部件组包括:功率输出控制器、第二接触器；功率输出控制器输入端连接变压器的副边侧，输出端连接第二接触器，第二接触器还连接炉体炉丝；其中，第一接触器控制变压器原边得电，第二接触器控制变压器副边向炉体炉丝供电。优选地，变压器原边部件组还包括第一继电器，第一接触器的线圈与第一继电器的触点串接于交流电网上，第一接触器的开/合动作由第一继电器线圈的失电/得电状态控制。优选地，变压器副边部件组还包括第二继电器，第二接触器的线圈与第二继电器的触点串接于交流电网上，第二接触器的开/合动作由第二继电器线圈的失电/得电状态控制。优选地，第一继电器线圈的失电/得电状态分别由一断电开关与一上电开关控制。[0011 ] 优选地，上电开关、断电开关分别为自复位型按钮。优选地，变压器原边部件组还包括第三继电器，上电开关、断电开关还与第三继电器的触点串接，第三继电器的线圈失电后，上电开关、断电开关失效，第一继电器线圈失电。优选地，第三继电器的线圈与一主P L C控制器连接，主P L C控制器控制第三继电器的动作。优选地，第二继电器的线圈与主P L C控制器连接，主P L C控制器控制第二继电器的动作。优选地，主P L C控制器发出第一信号控制第三继电器线圈得电，以及发出第二信号控制第二继电器线圈得电，第一信号在时序上先于第二信号。优选地，功率输出控制器另一输入端还与一副P L C控制器连接，副P L C控制器通过功率输出控制器控制炉体炉丝的加热功率。本技术提供的立式氧化炉炉体加热控制装置，不仅能对炉体进行正常的升温控制，还可以消除变压器启动时可能发生的断路器跳闸现象，同时还能够在上位机或PL C断电后自动停止给炉体及变压器供电，从而有效防止炉体温度失控，提升了设备安全性，并能延长变压器的适用寿命。【附图说明】图1示出本技术一实施例提供的立式氧化炉炉体加热控制装置结构示意图。【具体实施方式】下面结合附图，对本技术的【具体实施方式】作进一步的详细说明。需要说明的是，本技术实施例中各部件均以优选方式指明其具体为何种部件，但非用于限定本技术的范围；应理解的是，本领域技术人员可对各部件作出简单的替换或组合或重组并使用，应视为不脱离本技术思想的变形设计，而落入本技术的保护范围。如图1所示，本技术一实施例提供一种立式氧化炉炉体加热控制装置，其包括:变压器103、变压器原边部件组、和副边部件组。变压器103用于将380 V厂房三相交流电压转换为加热炉体炉丝107适用的电压；变压器原边部件组包括:主断路器101、第一接触器102 ;变压器副边部件组包括:功率输出控制器105、第二接触器106。其中，主断路器101为炉体供电的主开关，其一端直接连接厂房380 V三相交流供电电压，其另一端通过第一接触器102连接变压器103 ;变压器103将380 V三相交流供电电压变压为适合于炉丝需要的电压水平，变压器103输出端连接S C R (功率输出控制器)105，功率输出控制器105另一输入端还可连接副P L C控制器104，接收副P L C控制器104发出的控制信号，功率输出控制器105输出端通过第二接触器106连接立式氧化炉炉体的炉丝107，控制炉丝107的加热功率。第一接触器102的开/合动作控制变压器原边得电，第二接触器106的开/合动作控制变压器副边向炉体炉丝107供电。进一步地，变压器原边部件组还包括第一继电器201，第一接触器102的线圈与第一继电器201的触点串接于220 V交流电网上，第一接触器102的开/合动作由第一继电器201线圈的失电/得电状态控制。变压器副边部件组还包括第二继电器202，第二接触器106的线圈与第二继电器202的触点串接于220 V交流电网上，第二接触器106的开/合动作由第二继电器202线圈的失电/得电状态控制。S卩，第一继电器201控制第一接触器102的动作，而第一接触器102控制变压器103的得电与失电；第二继电器202控制第二接触器106的动作，而第二接触器106控制炉丝107的得电与失电。其中，第一继电器201线圈由一 24 V电源供电，一断电开关206以及一上电开关205可控制第一继电器线圈的失电/得电状态。具体地，上电开关205为自复位型按钮，按下后，第一继电器201的线圈得电，形成硬件自锁，并可以控制第一接触器102线圈得电，第一接触器102动作，变压器103原边可得电；断电开关206为自复位型按钮,按下后,使第一继电器201线圈失电,第一继电器201常开触点断开，第一接触器102线圈失电，变压器103原边供电断开，从而变压器103副边终止对炉丝107供电，炉体停止升温。进一步地，变压器原边部件组还包括第三继电器203，上电开关205、断电开关206还与第三继电器203的触点(例如为常闭触点)串接，第三继电器203的线圈失电后，上电开关205、断电开关206均失效，第一继电器201线圈失电，第一接触器102线圈失电，导致变压器103停止供电。根据上述实施例的一种改进实施方式，第三继电器203的线圈还与一主P L C控制器204连接，主P L C控制器204控制第三继电器203的动作。第二继电器202的线圈也与主P L C控制器204连接，主P L C控制器204控制第二继电器202的动作。主P L C控制器204通过控制该两个继电器202、203，实现控制变压器103原边供电以及变压器103副边对炉丝107的供电。可以理解，主P L C控制器204也可为一种基于计算机的控制单元，或其他控制系统。进一步地，主P L C控制器204发出第一信号控制第三继电器203线圈得电，以及发出第二本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种立式氧化炉炉体加热控制装置，包括变压器、变压器原边部件组、和副边部件组，所述变压器用于将厂房三相交流电压转换为加热炉体炉丝适用的电压；　所述变压器原边部件组包括：主断路器、第一接触器；所述主断路器一端连接所述厂房三相交流电压，另一端连接所述第一接触器，所述第一接触器还连接所述变压器的原边侧；　所述变压器副边部件组包括：功率输出控制器、第二接触器；所述功率输出控制器输入端连接所述变压器的副边侧，输出端连接所述第二接触器，所述第二接触器还连接所述炉体炉丝；　其中，所述第一接触器控制所述变压器原边得电，所述第二接触器控制所述变压器副边向所述炉体炉丝供电。

【技术特征摘要】
1.一种立式氧化炉炉体加热控制装置，包括变压器、变压器原边部件组、和副边部件组，所述变压器用于将厂房三相交流电压转换为加热炉体炉丝适用的电压； 所述变压器原边部件组包括:主断路器、第一接触器；所述主断路器一端连接所述厂房三相交流电压，另一端连接所述第一接触器，所述第一接触器还连接所述变压器的原边侧； 所述变压器副边部件组包括:功率输出控制器、第二接触器；所述功率输出控制器输入端连接所述变压器的副边侧，输出端连接所述第二接触器，所述第二接触器还连接所述炉体炉丝； 其中，所述第一接触器控制所述变压器原边得电，所述第二接触器控制所述变压器副边向所述炉体炉丝供电。2.如权利要求1所述的立式氧化炉炉体加热控制装置，其特征在于，所述变压器原边部件组还包括第一继电器，所述第一接触器的线圈与所述第一继电器的触点串接于交流电网上，所述第一接触器的开/合动作由所述第一继电器线圈的失电/得电状态控制。3.如权利要求2所述的立式氧化炉炉体加热控制装置，其特征在于，所述变压器副边部件组还包括第二继电器，所述第二接触器的线圈与所述第二继电器的触点串接于交流电网上，所述第二接触器的开/合动作由所述第二继电器线圈的失电/得电状态控制。4.如权利要求3所述的立式氧化炉炉体加热控制装置，其特征在于，所述第一继电器线圈的失...

【专利技术属性】
技术研发人员：付运涛，张海轮，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11