液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器，其应用于金属有机化学气相沉积（MOCVD）制程，其包含瓶体、进气管、出气管及加料口。瓶体具有预定容积的容置空间，进气管密闭的穿设于瓶体的顶部，进气管的一端显露于瓶体外，进气管的另一端位于容置空间内，且位于容置空间的底部。出气管密闭的穿设于瓶体的顶部，出气管的一端显露于瓶体外，进气管的另一端固定于瓶体的壁面上。加料口设置于瓶体的顶部，且位于进气管及出气管之间。本实用新型专利技术可有效延长三甲基镓的使用时间，减少更换次数，从而提高MOCVD机台的量产能力，提高三甲基镓的利用率，降低使用成本。同时，还可降低液体高纯金属有机化合物三甲基镓的制造和包装成本。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器
本技术是有关于一种应用于有机金属化学气相沉积技术(MOCVD)的容器，特别是指一种因有机金属化学气相沉积技术的制程设备大型化而改进的液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器。
技术介绍
高纯三甲基镓是金属有机化学气相沉积技术(MOCVD)过程中生长光电子材料的重要原料，三甲基镓广泛地应用于生长氮化镓(GaN)、砷化镓(GaAs)、磷化铝镓铟(AlGaInP)等化合物半导体薄膜材料，其优异的电学、光学和磁学等性能，可将半导体和集成电路推向更高的频率、更快的速度、更低的噪音和更大的功率。因此，MO源已被大量用于LED、太阳能电池、航空航天技术等多个领域，是一项高新材料生产技术。纯净的三甲基镓在室温下为液体，具有很高的化学活性，遇空气自燃，遇水则发生爆炸，用于金属有机化学气相沉积技术时需要将其封装在特制的钢瓶内，然后通过控制钢瓶温度，再通过持续流动的载气将所述温度下的三甲基镓饱和蒸气压带入光电子材料生长系统。然而，随着金属有机化学气相沉积技术的的日益成熟与发展，应用于金属有机化学气相沉积技术的生产设备也逐渐大型化。现行的三甲基镓封装容器大多本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器，其应用于金属有机化学气相沉积制程的大型设备，其特征在于，所述的封装容器包含：瓶体，其具有容置空间，且所述容置空间的总容积为13～15升；进气管，密闭的穿设于所述瓶体的顶部，所述进气管的一端显露于所述瓶体外，所述进气管的另一端位于所述容置空间内，且位于邻近所述容置空间的底部；出气管，密闭的穿设于所述瓶体的顶部，所述出气管的一端显露于所述瓶体外，所述进气管的另一端固定于所述瓶体的壁面上；以及加料口，设置于所述瓶体的顶部，且位于所述进气管及所述出气管之间。

【技术特征摘要】
1.一种液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器，其应用于金属有机化学气相沉积制程的大型设备，其特征在于，所述的封装容器包含: 瓶体，其具有容置空间，且所述容置空间的总容积为13?15升； 进气管，密闭的穿设于所述瓶体的顶部，所述进气管的一端显露于所述瓶体外，所述进气管的另一端位于所述容置空间内，且位于邻近所述容置空间的底部； 出气管，密闭的穿设于所述瓶体的顶部，所述出气管的一端显露于所述瓶体外，所述进气管的另一端固定于所述瓶体的壁面上；以及 加料口，设置于所述瓶体的顶部，且位于所述进气管及所述出气管之间。2.根据权利要求1所述的液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器，其特征在于，所述容置空间的总容积为15升，三甲基镓的填装量为12升，为所述容置空间的总容积的百分之八十。3.根据权利要求1所述的液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器，其特征在于，所述瓶体的外径为250?270mm。4.根据权利要求2所述的液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器，其特征在于，所述瓶体的外径为260mm。5.根据权利要求3所述的液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器，其特征在于，所述瓶体的高度为345?365mm。6.根据权利要求4所述的液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器，其特征在于，所述瓶体的高度为355mm。7.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕宝源，沈斌，韦锦昊，单一菁，陆平，王萍，高磊，
申请(专利权)人：江苏南大光电材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32