液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器，其应用于金属有机化学气相沉积（MOCVD）制程，其包含瓶体、进气管、出气管及加料口。瓶体具有预定容积的容置空间，进气管密闭的穿设于瓶体的顶部，进气管的一端显露于瓶体外，进气管的另一端位于容置空间内，且位于容置空间的底部。出气管密闭的穿设于瓶体的顶部，出气管的一端显露于瓶体外，进气管的另一端固定于瓶体的壁面上。加料口设置于瓶体的顶部，且位于进气管及出气管之间。本实用新型专利技术可有效延长三甲基镓的使用时间，减少更换次数，从而提高MOCVD机台的量产能力，提高三甲基镓的利用率，降低使用成本。同时，还可降低液体高纯金属有机化合物三甲基镓的制造和包装成本。

【技术实现步骤摘要】
液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器
本技术是有关于一种应用于有机金属化学气相沉积技术(MOCVD)的容器，特别是指一种因有机金属化学气相沉积技术的制程设备大型化而改进的液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器。
技术介绍
高纯三甲基镓是金属有机化学气相沉积技术(MOCVD)过程中生长光电子材料的重要原料，三甲基镓广泛地应用于生长氮化镓(GaN)、砷化镓(GaAs)、磷化铝镓铟(AlGaInP)等化合物半导体薄膜材料，其优异的电学、光学和磁学等性能，可将半导体和集成电路推向更高的频率、更快的速度、更低的噪音和更大的功率。因此，MO源已被大量用于LED、太阳能电池、航空航天技术等多个领域，是一项高新材料生产技术。纯净的三甲基镓在室温下为液体，具有很高的化学活性，遇空气自燃，遇水则发生爆炸，用于金属有机化学气相沉积技术时需要将其封装在特制的钢瓶内，然后通过控制钢瓶温度，再通过持续流动的载气将所述温度下的三甲基镓饱和蒸气压带入光电子材料生长系统。然而，随着金属有机化学气相沉积技术的的日益成熟与发展，应用于金属有机化学气相沉积技术的生产设备也逐渐大型化。现行的三甲基镓封装容器大多为4kg以下的规格，此类规格封装容器在使用时存在一些问题，主要有:1、此类封装容器容积相对较小，单位容积的加工成本较高，从而造成MO源制造商的三甲基镓包装成本居高不下；2、此类封装容器可装入高纯三甲基镓的量较少，应用于大型设备时(如Veeco的Max Bright),单瓶使用周期只有20天左右，因此需要较频繁的更换MO源封装容器，更换MO源封装容器会造成数小时的停机时间，降低MOCVD设备的量产能力，增加更换MO源时由于人员误操作导致的事故发生的几率；3、由于每只封装容器都会有少量昂贵的MO源残留而不能被完全使用，对于大型设备MO源消耗量大，此情况尤为突出。因此，所属领域中一直期待着可针对设备大型化而量身定制的液体高纯金属有机化合物封装容器的出现。综观前所述，本技术的创作人思索并设计一种液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器，经多年苦心潜心研究，以针对现有技术的缺失加以改善，进而增进产业上的实施利用。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器，以解决使用MO源时需经常更换造成成本较高和制造MO源时包装成本较高的问题。本技术的技术方案是:一种液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器，其应用于金属有机化学气相沉积制程的大型设备，其包含了一瓶体、一进气管、一出气管及一加料口。瓶体具有一容置空间，且容置空间的容积为13?15升。进气管密闭的穿设于瓶体的顶部，进气管的一端显露于瓶体外，进气管的另一端位于容置空间内，且位于邻近容置空间的底部。出气管密闭的穿设于瓶体的顶部，出气管的一端显露于瓶体外，进气管的另一端固定于瓶体的壁面上。加料口设置于瓶体的顶部，且位于进气管及出气管的间。较佳地，容置空间的总容积可为15升，三甲基镓的填装量为12升，为容置空间的总容积的百分之八十。较佳地，瓶体的外径可为250~270_。较佳地，瓶体的外径可为260mm。较佳地,瓶体的高度可为345~365mm。较佳地,瓶体的高度可为355mm。较佳地，还包含一底座，其设置于瓶体的底部。较佳地，还可包含一提把模块，其设置于瓶体的顶部。较佳地，提把模块可包含复数个连接杆及一弧状提把，连接杆的一端固设于瓶体的顶部，连接杆的另一端固设于弧状提把。较佳地，各连接杆的中心与瓶体的中心可连成一假想线，且各假想线的夹角可为120 度。 较佳地，弧状提把可为C字型结构。较佳地，进气管的管路上更设有一进气阀，出气管的管路上更设有一出气阀。较佳地，液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器供容置纯度大于或等于99.9999%的三甲基镓。较佳地，进气管的一端、出气管的一端及加料口可分别设置有一 VCR接头。本技术的有益效果是:本技术的液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器藉由针对金属有机化学气相沉积技术(MOCVD)的制程设备逐渐的大型化，以设定配置对应的预定容积的瓶体结构，故有效的降低了制造MO源的单位包装成本，延长了金属有机化学气相沉积技术(MOCVD)的大型化制程设备的三甲基镓的使用时间，藉此，可有效减少生产线上更换三甲基镓封装容器所消耗的时间，提高三甲基镓的使用效率，从而有效地减少资源的浪费。【【附图说明】】图1为本技术的液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器的剖视图。图2为本技术的液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器的俯视图。其中:1:液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器；10:瓶体；11:容置空间；12:瓶体的顶部；13:瓶体的底部；20:进气管；21:进气管的一端；22:进气管的另一端；23:进气阀；30:出气管；31:出气管的一端；32:出气管的另一端；33:出气阀；40:加料口；50:底座；60:提把模块；61:连接杆；62:弧状提把。【【具体实施方式】】为利贵审查员了解本技术的技术特征、内容与优点及其所能达成的功效，兹将本技术配合附图，并以实施例的表达形式详细说明如下，而其中所使用的图式，其主旨仅为示意及辅助说明之用，未必为本技术实施后的真实比例与精准配置，故不应就所附的图式的比例与配置关系解读、局限本技术于实际实施上的权利范围，合先叙明。以下将参照相关图式，说明依本技术液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器的实施例，为使便于理解，下述实施例中的相同元件以相同的符号标示来说明。请一并参阅图1及图2，其为本技术的液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器的剖视图及俯视图。如图所示，本实 用新型揭示一种液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器，其为针对金属有机化学气相沉积制程的设备的逐渐大型化而量身定制。液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器I包含了一瓶体10、一进气管20、一出气管30及一加料口 40。其中瓶体IO具有一容置空间11，且容置空间11具有一总容积，其为13~15公升(L )，而瓶体10的罐装量为其总容积的百分之八十。较佳地，瓶体10的罐装量(即容置空间11的总容积)可为15公升，而此时，瓶体10的罐装量即为12公升。进气管20密闭的穿设于瓶体10的顶部12，进气管20的一端21显露于瓶体10外，而进气管20的另一端22则位于容置空间11内，且较佳地，进气管20的另一端22位于邻近容置空间11的底部。出气管30同样地密闭的穿设于瓶体10的顶部12，出气管30的一端31同样地显露于瓶体10外，而进气管30的另一端则固定于瓶体10的顶部12的壁面上。加料口 40设置于瓶体10的顶部12，且位于进气管20及出气管30之间，而当俯视观之本技术的液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器I时，进气管20、出气管30及加料口 40三者可连成一假想三角形形状，如图2所示。其中特别需要说明的是，进气管20的一端21、出气管30的一端31及加料口 40上可设置有一接头，即如图所绘示，且其较佳为VCR接头。藉此，可使进气管20的一端21、出气管30的一端31利于与金属有机化学气相沉积制程所使用的载气气路进行连接，而加料口 40亦利于与添加液体高纯金属有机本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器，其应用于金属有机化学气相沉积制程的大型设备，其特征在于，所述的封装容器包含：瓶体，其具有容置空间，且所述容置空间的总容积为13～15升；进气管，密闭的穿设于所述瓶体的顶部，所述进气管的一端显露于所述瓶体外，所述进气管的另一端位于所述容置空间内，且位于邻近所述容置空间的底部；出气管，密闭的穿设于所述瓶体的顶部，所述出气管的一端显露于所述瓶体外，所述进气管的另一端固定于所述瓶体的壁面上；以及加料口，设置于所述瓶体的顶部，且位于所述进气管及所述出气管之间。

【技术特征摘要】
1.一种液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器，其应用于金属有机化学气相沉积制程的大型设备，其特征在于，所述的封装容器包含: 瓶体，其具有容置空间，且所述容置空间的总容积为13?15升； 进气管，密闭的穿设于所述瓶体的顶部，所述进气管的一端显露于所述瓶体外，所述进气管的另一端位于所述容置空间内，且位于邻近所述容置空间的底部； 出气管，密闭的穿设于所述瓶体的顶部，所述出气管的一端显露于所述瓶体外，所述进气管的另一端固定于所述瓶体的壁面上；以及 加料口，设置于所述瓶体的顶部，且位于所述进气管及所述出气管之间。2.根据权利要求1所述的液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器，其特征在于，所述容置空间的总容积为15升，三甲基镓的填装量为12升，为所述容置空间的总容积的百分之八十。3.根据权利要求1所述的液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器，其特征在于，所述瓶体的外径为250?270mm。4.根据权利要求2所述的液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器，其特征在于，所述瓶体的外径为260mm。5.根据权利要求3所述的液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器，其特征在于，所述瓶体的高度为345?365mm。6.根据权利要求4所述的液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器，其特征在于，所述瓶体的高度为355mm。7.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕宝源，沈斌，韦锦昊，单一菁，陆平，王萍，高磊，
申请(专利权)人：江苏南大光电材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32