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本实用新型涉及一种液体高纯金属有机化合物三甲基镓的封装容器，其应用于金属有机化学气相沉积（MOCVD）制程，其包含瓶体、进气管、出气管及加料口。瓶体具有预定容积的容置空间，进气管密闭的穿设于瓶体的顶部，进气管的一端显露于瓶体外，进气管的另一...
该专利属于江苏南大光电材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏南大光电材料股份有限公司授权不得商用。

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