一种防干燥液供给系统及涂布设备技术方案

本发明专利技术提供了一种防干燥液供给系统和一种涂布设备。所述防干燥液供给系统，包括第一通路、第二通路、与所述第一通路连接的第一防干燥槽、与所述第二通路连接的第二防干燥槽、连通所述第一通路和第二通路的第三通路、以及与所述第一通路和第二通路连接的流量控制单元。其中，所述第一防干燥槽和第二防干燥槽用于盛放防干燥液，所述流量控制单元用于控制所述第一通路和所述第二通路交替导通。所述涂布设备还包括与所述第一防干燥槽对应设置的第一喷吐头、与所述第二防干燥槽对应设置的第二喷吐头。本发明专利技术的防干燥液供给系统和涂布设备，能在保证提高产能的同时，实现对两个防干燥槽进行加液，从而对暂不工作的喷吐头进行保养。

【技术实现步骤摘要】
一种防干燥液供给系统及涂布设备
本专利技术涉及面板制造领域，尤其涉及一种防干燥液供给系统及涂布设备。
技术介绍
当前，在液晶面板的生产过程中，需要经过各种工艺流程完成相关器件的制造，其中，常用的制造薄膜晶体管液晶显示器(thin film transistor liquid crystaldisplay, TFT-1XD)面板的工艺包括曝光工艺。针对曝光工艺，通常需要在曝光之前先涂布光刻胶以形成特定图案后，再进行曝光。现有技术采用HCT (head coater，涂布机)或者狭缝式涂布机(slit coater)来涂布光刻胶,如图1所示。涂布机包括左右两个工作头(head,也称喷吐头)，在正常生产过程中，左headl和右head2同时处于待机状态。涂布机会在被调用相关指令时，根据特定的指令程序(recipe)中设定的各种参数值，来启用左headl或右head2进行涂布。然而，在实际使用中，右head2的使用频次极低，例如平均只有2天/月。在右head2在待机过程中，需要每隔600s对它进行一次清洁、空喷、排气泡、补充防干燥液等动作，以对右head2进行保养，同时使正常工作的左本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种防干燥液供给系统，所述系统包括第一通路、第二通路、与所述第一通路连接的第一防干燥槽、与所述第二通路连接的第二防干燥槽、连通所述第一通路和第二通路的第三通路、以及与所述第一通路和第二通路连接的流量控制单元，其中，所述第一防干燥槽和第二防干燥槽用于盛放防干燥液，所述流量控制单元用于控制所述第一通路和所述第二通路交替导通。

【技术特征摘要】
1.一种防干燥液供给系统，所述系统包括第一通路、第二通路、与所述第一通路连接的第一防干燥槽、与所述第二通路连接的第二防干燥槽、连通所述第一通路和第二通路的第三通路、以及与所述第一通路和第二通路连接的流量控制单元，其中，所述第一防干燥槽和第二防干燥槽用于盛放防干燥液，所述流量控制单元用于控制所述第一通路和所述第二通路交替导通。2.如权利要求1所述的防干燥液供给系统，其特征在于，所述第一通路导通时，流经所述第一通路的防干燥液一部分流至所述第一防干燥槽，另一部分通过所述第三通路流至所述第二防干燥槽；所述第二通路导通时，流经所述第二通路的防干燥液一部分流至所述第二防干燥槽，另一部分通过所述第三通路流至所述第一防干燥槽。3.如权利要求1所述的防干燥液供给系统，其特征在于，所述流量控制单元包括第一控制阀和第二控制阀，所述第一控制阀与所述第一通路连接，所述第二控制阀与所述第二通路连接，所述第一控制阀用于控制所述第一通路导通或关闭，所述第二控制阀用于控制所述第二通路导通或者关闭。4.如权利要求3所述的防干燥液供给系统，其特征在于，所述第一控制阀用于控制流经所述第一通路中的防干燥液的流量；所述第二控制阀用于控制流经所述第二通路中的防干燥液的流量。5.如权利要求3所述的防干燥液供给系统，其特征在于，还包括与所述第三通路连接的第三控制阀，所述第三控制阀用于控制流经所述第三...

【专利技术属性】
技术研发人员：段乐乐，陈崔军，
申请(专利权)人：成都天马微电子有限公司，天马微电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：四川;51