一种纳米探针存放装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种纳米探针存放装置，通过探针容器的结构设计，提高了探针的存放的稳固性及取放的便捷性；通过将探针容器放置于真空袋中，保证了探针容器的洁净度，避免外界空气与探针接触对其造成的污染。从而改善了现有技术在使用完探针进行存放时，由于受外界环境及固定效果不佳等因素的影响，致使探针被污染或变形而无法进行重复使用的情况，节约了资源，减少了产业额外的开销。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
一种纳米探针存放装置
本技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种纳米探针存放装置。
技术介绍
目前，探针根据电子测试用途可分为:光电路板测试探针、在线测试探针及微电子测试探针。其中，光电路板测试探针:未安装元器件前的电路板测试和只开路、短路检测探针，国内大部分的探针产品均可替代进口产品；在线测试探针:PCB线路板安装元器件后的检测探针；高端产品的核心技术还是掌握在国外公司手中，国内部分探针产品已研发成功，可替代进口探针产品；微电子测试探针:即晶圆测试或芯片IC检测探针，核心技术还是掌握在国外公司手中，国内生产厂商积极参与研发，但只有一小部分成功生产。因此，国内在进行纳米探测时大多是购买国外公司生产的探针，例如，供应商Zyvex提供的探针是将20个探针固定于一个装有海绵的盒子里；供应商DCG提供的探针是将10个探针固定于填充有胶体的盒子中；供应商MSCT提供的探针是将8个探针固定于一个装有塑料薄板的盒子中。但是以上供应商提供放置探针的盒子都不利于探针的存放。由于国内的技术还不是成熟，购买国外的产品，使得探针的成本比较高；探针在使用完放置于供应商提供的盒子中，以便下次利用，但本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种纳米探针存放装置，其特征在于，包括：真空袋及设置于所述真空袋中的探针容器；其中，所述探针容器包括：腔体、与所述腔体的一端连接的底座、与所述腔体的另一端连接的塞子、以及设置于所述腔体中的探针存放部件；其中，所述探针存放部件能够在所述底座的推动下，在所述腔体中作升降运动。

【技术特征摘要】
1.一种纳米探针存放装置，其特征在于，包括:真空袋及设置于所述真空袋中的探针容器；其中， 所述探针容器包括:腔体、与所述腔体的一端连接的底座、与所述腔体的另一端连接的塞子、以及设置于所述腔体中的探针存放部件；其中，所述探针存放部件能够在所述底座的推动下，在所述腔体中作升降运动。2.如权利要求1所述的纳米探针存放装置，其特征在于，还包括设置于所述底座与所述探针存放部件之间的支撑部件。3.如权利要求2所述的纳米探针存放装置，其特征在于，所述支撑部件包括:支撑杆及衔接于所述支撑杆上的伸缩部件；其中，所述支撑杆固定于所述底座上；所述伸缩...

【专利技术属性】
技术研发人员：张琦，赖李龙，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11