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本实用新型公开一种纳米探针存放装置，通过探针容器的结构设计，提高了探针的存放的稳固性及取放的便捷性；通过将探针容器放置于真空袋中，保证了探针容器的洁净度，避免外界空气与探针接触对其造成的污染。从而改善了现有技术在使用完探针进行存放时，由于受...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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