【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术实施例提供一种振动板、液体喷射装置及打印设备。本专利技术中提供的振动板，包括二氧化硅层和氮化硅层，所述氮化硅层设置于所述二氧化硅层上；其中，所述二氧化硅层的应力与所述氮化硅层的应力相互抵消，以使所述振动板的合应力为零，从而所述振动板不易翘曲变形，同时也可以防止在反复驱动压电元件过程中压电元件的位移变化量降低。【专利说明】振动板、液体喷射装置及打印设备
本专利技术实施例涉及液体喷头制造技术，尤其涉及一种振动板、液体喷射装置及打印设备。
技术介绍
现有技术中，通过在液体喷头的振动板上设置压电元件，并给压电元件施加电压而使振动板变形或发生振动，从而使打印设备中的液体喷头喷出墨滴。其中，压电元件一般采用含铅的压电材料，而压电元件中的铅容易扩散到作为振动板的二氧化硅层，使二氧化硅层的熔点降低，因此，在二氧化硅层上烧制压电材料时，二氧化硅层容易受热熔化。现有技术中，通过先在振动板的二氧化硅层上设置二氧化锆层，然后再在二氧化锆层上设置压电材料，可防止压电材料中的铅成分扩散到振动板的二氧化硅层中。其中，通过将形成有锆层的衬底以大于或等于200mm/m...
【技术保护点】
一种振动板，其特征在于，包括：二氧化硅层和氮化硅层，所述氮化硅层设置于所述二氧化硅层上；其中，所述二氧化硅层的应力与所述氮化硅层的应力相互抵消，以使所述振动板的合应力为零。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈晓坤，佟鑫，
申请(专利权)人：珠海纳思达企业管理有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44
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