液体喷射头、液体喷射头的制造方法及液体喷射装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供能够防止外部基板的布线与致动器基板的电极的电短路的低成本的液体喷射头、液体喷射头的制造方法及具备该液体喷射头的液体喷射装置。其特征在于：在致动器基板（2）的第一主面（F1）中的＋X侧的端部（21），设有多个与个别电极（12b）连接的个别电极用焊盘（15），在致动器基板（2）的第一主面（F1）中比个别电极用焊盘（15）靠近－X侧，设有多个与公共电极（12a）连接的公共电极用焊盘（16），在致动器基板（2）的第一主面（F1）中个别电极用焊盘（15）与公共电极用焊盘（16）之间，沿着Y方向形成有槽部（20）。

【技术实现步骤摘要】
液体喷射头、液体喷射头的制造方法及液体喷射装置
本专利技术涉及液体喷射头、液体喷射头的制造方法及液体喷射装置。
技术介绍
一直以来，作为向记录纸等的被记录介质喷射墨等的液体、记录字符、图形等的装置，已知从多个喷嘴孔向被记录介质喷射液体的、具备所谓喷墨方式的液体喷射头的液体喷射记录装置。作为液体喷射头，已知具备：吐出通道，从基板表面的前方端起向后方端的方向细长，互相通过隔壁来分隔，在与所述方向交叉的宽度方向排列；驱动电极，包含形成于隔壁的侧面的公共电极及个别电极；致动器基板，与驱动电极电连接，具有形成于基板表面的后方端附近的引出电极；以及柔性基板，粘接于基板表面的后方端附近，具有与引出电极电连接的布线电极，通过对驱动电极施加驱动电压，使吐出通道的侧面变形从而提高吐出通道内的压力，使吐出通道内的墨从喷嘴孔喷射。形成在柔性基板上的布线电极，由与形成于吐出通道的侧面的公共电极连接的公共布线电极、和与形成于非吐出通道的侧面的个别电极连接的个别布线电极构成。为了将在宽度方向上并列地排列的多个吐出通道的公共电极互相电连接而设为GND电位，柔性基板的公共布线电极沿着宽度方向被形成为长条。然而，在上述构成的液体喷射头中，将柔性基板粘接于致动器基板表面的后方端附近时，柔性基板的公共布线电极和形成于致动器基板的非吐出通道的侧面的个别电极会交叉。而且，在交叉的公共布线电极和个别电极接触而短路的情况下，不能向驱动电极施加驱动电压，无法从喷嘴孔喷射液体。为了解决上述问题，例如在专利文献1中，记载了在公共布线电极和驱动电极（个别电极）交叉的公共布线交叉区域中，沿深度方向切削致动器基板表面和构成非吐出通道的槽的侧面之间的角部而形成倒角部，个别电极的上端部形成在比基板表面更深的位置的液体喷射头。依据该构成，使个别电极的上端部从抵接在致动器基板表面的柔性基板上的公共布线电极分离，能够电隔离公共布线电极和个别电极，因此使公共布线电极和个别电极不会电短路。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2012－101437号公报。
技术实现思路
专利技术要解决的课题但是，现有技术的液体喷射头，切削构成非吐出通道的两个隔壁的侧面和上表面之间的角部而形成倒角部，这需要对多个非吐出通道分别进行切削加工，因此有增大制造工时的倾向。因而，在削减制造工时而进行的低成本化方面有进一步改善的余地。因此，本专利技术的课题是提供能够防止外部基板的布线与致动器基板的电极的电短路的低成本的液体喷射头、液体喷射头的制造方法及具备该液体喷射头的液体喷射装置。用于解决课题的方案为了解决上述的课题，本专利技术的液体喷射头，具备：致动器基板，形成有多个与吐出液体的喷嘴孔连通的吐出通道和不能吐出所述液体的非吐出通道；公共电极，分别形成于多个所述吐出通道的侧面；以及个别电极，分别形成于多个所述非吐出通道的侧面，所述液体喷射头的特征在于，所述吐出通道及所述非吐出通道至少在所述致动器基板的第一主面侧开口，并且在所述第一主面上沿与所述吐出通道及所述非吐出通道的长边方向交叉的宽度方向并列而排列，在所述致动器基板的所述第一主面中的所述长边方向的一侧的端部，设有多个与所述个别电极连接的个别电极用焊盘，在所述致动器基板的所述第一主面中的比所述个别电极用焊盘靠近所述长边方向的另一侧，设有多个与所述公共电极连接的公共电极用焊盘，在所述致动器基板的所述第一主面中的所述个别电极用焊盘与所述公共电极用焊盘之间，沿着所述宽度方向形成有槽部。依据本专利技术，由于在致动器基板的第一主面中的个别电极用焊盘与公共电极用焊盘之间，沿着宽度方向形成有槽部，所以在将外部基板连接于致动器基板时，通过在与致动器基板的槽部对应的位置配置外部基板的布线，能够防止外部基板的布线与致动器基板的个别电极用焊盘接触。因而，能够防止外部基板的布线与致动器基板的个别电极用焊盘及连接到个别电极用焊盘的个别电极的电短路。此外，仅仅形成槽部，能够防止外部基板的布线与致动器基板的个别电极用焊盘及个别电极的电短路，因此能够得到低成本的液体喷射头。此外，本专利技术的特征在于，具备与所述致动器基板连接的外部基板，所述外部基板具备多个形成在与所述致动器基板的所述个别电极用焊盘对应的位置的、与所述个别电极用焊盘连接的个别电极用端子、和多个形成在与所述致动器基板的所述公共电极用焊盘对应的位置的、与所述公共电极用焊盘连接的公共电极用端子，在所述个别电极用端子与所述公共电极用端子之间，与所述致动器基板的所述槽部对应的位置，形成有将多个所述公共电极用端子互相连接的连接布线。依据本专利技术，由于在与致动器基板连接的外部基板，与致动器基板的槽部对应的位置，形成有将多个公共电极用端子互相连接的连接布线，所以在将外部基板连接到致动器基板时，能够可靠地在与致动器基板的槽部对应的位置配置外部基板的连接布线。因而，能够防止外部基板的连接布线与致动器基板的个别电极用焊盘及个别电极的电短路。此外，仅仅形成槽部，能够防止外部基板的连接布线与致动器基板的个别电极用焊盘及个别电极的电短路，因此能够得到低成本的液体喷射头。此外，本专利技术的特征在于，在所述致动器基板的所述第一主面中比所述吐出通道靠近所述一侧，从所述吐出通道的所述一侧的端部向所述致动器基板的所述一侧的端面，形成比所述吐出通道的深度浅的浅槽部，所述槽部形成为与所述浅槽部交叉。依据本专利技术，由于浅槽部从吐出通道的一侧的端部向致动器基板的一侧的端面而形成，所以例如在用切削加工来形成吐出通道时，能够仅改变切削深度而形成浅槽部。因而，能以与吐出通道的形成工序相同的工序简单地形成浅槽部。此外，槽部形成为与浅槽部交叉，因此在浅槽部内成膜电极材料后，例如用切削加工来将槽部形成为与浅槽部交叉，从而利用槽部来截断成膜在浅槽部内的电极材料，能够简单地形成公共电极用焊盘和个别电极用焊盘。如此，无需使用掩模而能够形成公共电极用焊盘和个别电极用焊盘，因此能以低成本形成能够防止外部基板的连接布线与致动器基板的个别电极用焊盘及个别电极的电短路的液体喷射头。此外，本专利技术的特征在于，在所述致动器基板的所述第一主面中的所述一侧的边缘部，形成有下降一级的台阶部。依据本专利技术，由于在致动器基板的第一主面中的一侧的边缘部形成有下降一级的台阶部，所以在致动器基板的第一主面连接外部基板时，能够抑制致动器基板的第一主面中的一侧的边缘部与外部基板接触。因而，能够抑制外部基板的损伤。此外，本专利技术的特征在于，由所述致动器基板的所述第一主面和所述致动器基板的所述一侧的端面形成的角部被施以倒角。依据本专利技术，由于由致动器基板的第一主面和致动器基板的一侧的端面形成的角部被施以倒角，所以在致动器基板的第一主面连接外部基板时，即便致动器基板的被施以倒角的部分和外部基板接触的情况下，也能抑制外部基板的损伤。此外，本专利技术的特征在于，所述吐出通道和所述非吐出通道在所述宽度方向交互并列地排列。依据本专利技术，能够适宜地向吐出通道和非吐出通道在宽度方向交互地并列而排列的液体喷射头适用能够防止外部基板的布线与致动器基板的电极的电短路的低成本的液体喷射头的构成。此外，本专利技术的特征在于，所述喷嘴孔位于所述吐出通道的所述另一侧的端部。依据本专利技术，能够适宜地向所谓边缘发射型的液体喷射头适用能够防止外部基板的布线与致动器基板的电极的电短路的低成本本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液体喷射头，具备：致动器基板，形成有多个与吐出液体的喷嘴孔连通的吐出通道和不能吐出所述液体的非吐出通道；公共电极，分别形成于多个所述吐出通道的侧面；以及个别电极，分别形成于多个所述非吐出通道的侧面，所述液体喷射头的特征在于，所述吐出通道及所述非吐出通道至少在所述致动器基板的第一主面侧开口，并且在所述第一主面上沿与所述吐出通道及所述非吐出通道的长边方向交叉的宽度方向并列而排列，在所述致动器基板的所述第一主面中的所述长边方向的一侧的端部，设有多个与所述个别电极连接的个别电极用焊盘，在所述致动器基板的所述第一主面中的比所述个别电极用焊盘靠近所述长边方向的另一侧，设有多个与所述公共电极连接的公共电极用焊盘，在所述致动器基板的所述第一主面中的所述个别电极用焊盘与所述公共电极用焊盘之间，沿着所述宽度方向形成有槽部。

【技术特征摘要】
2013.02.06 JP 2013-0216281.一种液体喷射头，具备：致动器基板，形成有多个与吐出液体的喷嘴孔连通的吐出通道和不能吐出所述液体的非吐出通道；公共电极，分别形成于多个所述吐出通道的侧面；以及个别电极，分别形成于多个所述非吐出通道的侧面，所述吐出通道及所述非吐出通道至少在所述致动器基板的第一主面侧开口，并且在所述第一主面上沿与所述吐出通道及所述非吐出通道的长边方向交叉的宽度方向并列而排列，在所述致动器基板的所述第一主面中的所述长边方向的一侧的端部，设有多个与所述个别电极连接的个别电极用焊盘，在所述致动器基板的所述第一主面中的比所述个别电极用焊盘靠近所述长边方向的另一侧，设有多个与所述公共电极连接的公共电极用焊盘，所述液体喷射头的特征在于，在所述致动器基板的所述第一主面中的所述个别电极用焊盘与所述公共电极用焊盘之间，沿着所述宽度方向形成有槽部，所述液体喷射头具备与所述致动器基板连接的外部基板，所述外部基板具备：多个形成在与所述致动器基板的所述个别电极用焊盘对应的位置的、与所述个别电极用焊盘连接的个别电极用端子；以及多个形成在与所述致动器基板的所述公共电极用焊盘对应的位置的、与所述公共电极用焊盘连接的公共电极用端子，在所述个别电极用端子与所述公共电极用端子之间、与所述致动器基板的所述槽部对应的位置，形成有将多个所述公共电极用端子互相连接的连接布线。2.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，在所述致动器基板的所述第一主面中的比所述吐出通道靠近所述一侧，从所述吐出通道的所述长边方向的所述一侧的端部向所述致动器基板的所述一侧的端面，形成比所述吐出通道的深度浅的浅槽部，所述槽部形成为与所述浅槽部交叉。3.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于，在所述致动器基板的所述第一主面中的所述一侧的边缘部，形成有下降一级的台阶部。4.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：原尻俊彦，久保田禅，堀口悟史，
申请(专利权)人：精工电子打印科技有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP