下载振动板、液体喷射装置及打印设备的技术资料

文档序号:10303847

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本发明实施例提供一种振动板、液体喷射装置及打印设备。本发明中提供的振动板,包括二氧化硅层和氮化硅层,所述氮化硅层设置于所述二氧化硅层上;其中,所述二氧化硅层的应力与所述氮化硅层的应力相互抵消,以使所述振动板的合应力为零,从而所述振动板不易翘...
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