【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用于光阻喷嘴的清洗槽体结构,包括清洗槽壳体(5)、防清洗液飞溅腔(4)、喷嘴清洗腔(9)、清洗液排出口(8)、喷嘴根部(1)、喷嘴腰部(2)、喷嘴头部(3)、清洗液管路(7)、最终清洗喷嘴(6),所述清洗液管路(7)穿过清洗槽壳体(5),将清洗液导入到喷嘴清洗腔(9)内冲洗喷嘴头部(3);清洗液冲洗喷嘴头部(3)后,从清洗液排出口(8)排出,所述最终清洗喷嘴(6)用于冲洗对喷嘴头部(3)清洗完毕之后的清洗液管路(7)出口处的残液;其特征在于,至少还包括一路新增清洗液管路(10),清洗液管路(7)和新增清洗液管路(10)的出口在喷嘴清洗腔(9)的内壁沿水平圆周方向上均布;所述清洗液管路(7)和新增清洗液管路(10)与水平方向呈倾斜角度布置,清洗液沿清洗液管路(7)和新增清洗液管路(10)向喷嘴清洗腔(9)内部偏下的方向冲洗喷嘴头部(3)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:汪武平,毛智彪,杨正凯,
申请(专利权)人:上海华力微电子有限公司,
类型:发明
国别省市:上海;31
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