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一种用于光阻喷嘴的清洗槽体结构及其应用，包括清洗槽壳体、防清洗液飞溅腔、喷嘴清洗腔、清洗液排出口、清洗液管路、新增清洗液管路、氮气吹扫管路和负压抽气管路；清洗液沿清洗液管路和新增清洗液管路向喷嘴清洗腔内部偏下的方向冲洗喷嘴头部，使喷嘴头部得...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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