【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种蓝宝石晶体在生长炉底板保护装置,包括坩埚壳体(1),坩埚壳体(1)内设有存放蓝宝石晶体的坩埚(2),其特征在于,所述的坩埚壳体(1)底部设有炉体底板(3),炉体底板(3)下面设有下部水冷通道(4),坩埚(2)下面连接有埚托(5),埚托(5)底部连接有埚托支撑盘(6),埚托支撑盘(6)与炉体底板(3)之间设有隔热保护板(7),坩埚壳体(1)内与埚托(5)对应的部分形成坩埚(2)的加热区域,该加热区域内设有下保温屏(8),坩埚(2)、埚托(5)、埚托支撑盘(6)和下保温屏(8)均由钨合金或钼合金制造而成,炉体底板(3)由304不锈钢材制成,隔热保护板(7)由氧化铝或氧化锆制成,坩埚壳体(1)内设有台阶状的定位凸台(9),定位凸台(9)的台阶面搭接在隔热保护板(7)上面。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:吴明森,郑建生,廖金燕,刘卫兵,阮佳杰,
申请(专利权)人:浙江露通机电有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江;33
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