晶盒盛放台制造技术

本实用新型专利技术提出了一种晶盒盛放台，包括设有顶盘和底盘的外部框架、位于外部框架内的圆柱销、固定在圆柱销侧壁的圆柱销挡片、位于外部框架内的活动部件、固定在活动部件侧壁的感应器、与外部框架的顶盘和底盘相固的顶杆以及至少位于活动部件内部的卡槽手柄，顶杆设有两个具有预定间距的卡槽，卡槽手柄的一端位于卡槽内，另一端伸出底盘。在晶盒盛放台存在故障时，手动下拉卡槽手柄使其从较高的卡槽内下移至较低的卡槽内，卡槽手柄能够带动活动部件和传感器下移，能使传感器避开圆柱销挡片，忽略报错问题，使存在故障的晶盒盛放台无法工作，避免人为操作失误将晶盒放置在存在故障的晶盒盛放台致使晶圆被刮伤、相撞甚至报废。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术提出了一种晶盒盛放台，包括设有顶盘和底盘的外部框架、位于外部框架内的圆柱销、固定在圆柱销侧壁的圆柱销挡片、位于外部框架内的活动部件、固定在活动部件侧壁的感应器、与外部框架的顶盘和底盘相固的顶杆以及至少位于活动部件内部的卡槽手柄，顶杆设有两个具有预定间距的卡槽，卡槽手柄的一端位于卡槽内，另一端伸出底盘。在晶盒盛放台存在故障时，手动下拉卡槽手柄使其从较高的卡槽内下移至较低的卡槽内，卡槽手柄能够带动活动部件和传感器下移，能使传感器避开圆柱销挡片，忽略报错问题，使存在故障的晶盒盛放台无法工作，避免人为操作失误将晶盒放置在存在故障的晶盒盛放台致使晶圆被刮伤、相撞甚至报废。【专利说明】晶盒盛放台
本技术涉及半导体制造领域，尤其涉及晶盒盛放台。
技术介绍
晶盒盛放台(SMIF)是位于晶圆制造厂(FAB)设备机台前端的一个装置。在FAB中，晶圆均在至晶盒(Pod)内存放，在对晶圆进行生产制造时，需要打开晶盒，取出晶圆并放入相应的设备机台中才能进行生产。通常情况下，晶盒是放置和固定在晶盒盛放台上，在晶盒放置完成后，晶盒盛放台获得信号，便会打开晶盒，由设备机台内部的机械手臂对晶圆进行传输。然而，在生产时，晶盒盛放台经常遭遇到一些问题，造成整个设备机台的中断运行。一般情况下，设备机台会包括多个晶盒盛放台，若其中一个晶盒盛放台存在故障时便无法使用，但其他正常的晶盒盛放台依然能够继续使用。若人为操作失误将晶盒放置至存在故障的晶盒盛放台时，会导致整个设备机台无法使用，这就对生产线造成较大的影响。此时，便需要工程师对整个设备机台进行恢复运行，并排除故障，这增加了工作负荷，并且耗费时间，不利于提闻生广效率。目前，工程师通常采用软件对存在故障晶盒盛放台的错误进行忽略(Bypass)，SP使存在故障的晶盒盛放台不再工作。然而，很多设备机台无法使用软件对存在故障的晶盒盛放台进行错误忽略，也就无法避免人为出错，将晶盒继续放置在存在故障的晶盒盛放台上，致使整个设备机台停产的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种晶盒盛放台，能够手动随时忽略报错的晶盒盛放台，使其能够正常工作。为了实现上述目的，本技术提出了一种晶盒盛放台，用于盛放晶盒，所述盛放台包括:外部框架、圆柱销、至少一个圆柱销挡片、活动部件、至少一个感应器、至少一个顶杆以及至少一个卡槽手柄，其中，所述外部框架包括顶盘和底盘，所述圆柱销位于所述外部框架内，一端伸出所述外部框架的顶盘预定高度，另一端与所述底盘相连接，所述圆柱销挡片固定在所述圆柱销侧壁，所述感应器固定在所述活动部件侧壁，并在所述圆柱销被下压后与所述圆柱销挡片面相对，所述顶杆两端分别与所述外部框架的顶盘和底盘相固定，所述顶杆设有两个具有预定间距的卡槽，所述卡槽手柄位于所述活动部件内部，一端位于所述卡槽内，另一端伸出所述底盘。进一步的，所述卡槽手柄为2个，2个所述卡槽手柄之间通过一弹簧连接在一起。进一步的，所述顶杆为2个，分别位于所述活动部件相对的两侧。进一步的，所述顶杆的两端连有基座，所述顶杆30分别通过基座与所述顶盘和底盘进行连线。进一步的，位于所述卡槽上方的顶杆设有第一弹簧，所述第一弹簧与位于所述顶盘的基座相连。进一步的，位于所述卡槽下方的顶杆设有第二弹簧，所述第二弹簧与位于所述底盘的基座相连。进一步的，所述感应器为2个，分别位于所述圆柱销的两侧。进一步的，所述圆柱销挡片为2个，分别固定于所述圆柱销的两侧壁。进一步的，所述预定间距与所述预定高度数值相同。进一步的，所述预定高度范围是4mm?6mm。进一步的，所述圆柱销的另一端与所述底盘通过一弹簧相连接。与现有技术相比，本技术的有益效果主要体现在:在活动部件内设有卡槽手柄，顶杆上设有两个具有预定间距的卡槽，在晶盒盛放台存在故障时，手动下拉卡槽手柄使其从较高的卡槽内下移至较低的卡槽内，卡槽手柄能够带动活动部件和感应器下移，能使感应器避开圆柱销挡片，忽略报错问题，使存在故障的晶盒盛放台无法工作，避免人为操作失误将晶盒放置在存在故障的晶盒盛放台致使晶圆被刮伤、相撞甚至报废。【专利附图】【附图说明】图1为本技术一实施中晶盒盛放台的结构示意图。【具体实施方式】下面将结合示意图对本技术的晶盒盛放台进行更详细的描述，其中表示了本技术的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本技术，而仍然实现本技术的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本技术的限制。为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本技术由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本技术。根据下面说明和权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。请参考图1，在本实施例中，提出了一种晶盒盛放台，用于盛放晶盒，所述盛放台包括:外部框架10、圆柱销20、至少一个圆柱销挡片21、活动部件40、至少一个感应器50、至少一个顶杆30以及至少一个卡槽手柄60，其中，所述外部框架10包括顶盘11和底盘12，所述圆柱销20位于所述外部框架10内，一端伸出所述外部框架10的顶盘11预定高度H，另一端与所述底盘12相连接，所述圆柱销挡片21固定在所述圆柱销20的侧壁，所述感应器50固定在所述活动部件40侧壁，并在所述圆柱销20被下压后与所述圆柱销挡片21面相对，所述顶杆30两端分别与所述外部框架10的顶盘11和底盘12相固定，所述顶杆30设有两个具有预定间距S的卡槽，所述卡槽手柄60位于所述活动部件40内部，一端位于所述卡槽内，另一端伸出所述底盘12。在本实施例中，所述卡槽手柄60为2个，2个所述卡槽手柄60之间通过一弹簧61连接在一起，所述顶杆30为2个，分别位于所述活动部件40相对的两侧，由于所述卡槽手柄60的一端与卡槽相对,另一端伸出了底盘12并且两个卡槽手柄60通过弹簧61相连接，可以通过捏压位于底盘12外部的卡槽手柄60来实现卡槽手柄60位于较高位置的卡槽内到位置较低的卡槽内的切换，从而能够带动所述活动部件40上下移动，进而改变所述感应器50的垂直位置，可以避免感应器50与所述圆柱销挡片21正对，进而忽略报错信号。在本实施例中，所述顶杆30的两端连有基座31，所述顶杆30分别通过基座31与所述顶盘11和底盘12进行连线，位于所述卡槽上方的顶杆30设有第一弹簧32，所述第一弹簧32与位于所述顶盘1110的基座31相连，位于所述卡槽下方的顶杆30设有第二弹簧33，所述第二弹簧33与位于所述底盘12的基座31相连，优选的，所述第二弹簧33的弹性略强于所述第一弹簧32的弹性，在捏压所述卡槽手柄60恢复所述感应器50的位置时，可以自动将所述卡槽手柄60弹起。在本实施例中，所述感应器50为2个，分别位本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶盒盛放台，用于盛放晶盒，其特征在于，所述盛放台包括：外部框架、圆柱销、至少一个圆柱销挡片、活动部件、至少一个感应器、至少一个顶杆以及至少一个卡槽手柄，其中，所述外部框架包括顶盘和底盘，所述圆柱销位于所述外部框架内，一端伸出所述外部框架的顶盘预定高度，另一端与所述底盘相连接，所述圆柱销挡片固定在所述圆柱销侧壁，所述感应器固定在所述活动部件侧壁，并在所述圆柱销被下压后与所述圆柱销挡片面相对，所述顶杆两端分别与所述外部框架的顶盘和底盘相固定，所述顶杆设有两个具有预定间距的卡槽，所述卡槽手柄位于所述活动部件内部，一端位于所述卡槽内，另一端伸出所述底盘。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨艳全，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11