喷墨涂敷装置及喷墨头的清洁方法制造方法及图纸

本发明专利技术的喷墨涂敷装置（１０）包括具有将溶液以喷墨方式向基板（Ｗ）进行喷涂的多个喷嘴的喷头（９），还包括：具有吸水性的带状的抹布（１２）；将抹布（１２）放出至喷头（９）的喷嘴面（２０）的前面的放出机构（１６）；将抹布（１２）推压到喷嘴面（２０）上的辊（４３）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种具有对喷墨头的喷嘴面进行清扫的喷墨头的喷嘴面清洁装置的。(2)
技术介绍
现有技术中，在利用喷墨头方式向基板的表面涂敷用于形成抗蚀膜或定向膜等功能性薄膜的溶液的喷墨头中，作为对该喷墨头的喷嘴面进行清洁的技术，有一边将硅酮橡胶构成的弹性体刮板推压到喷墨头的喷嘴面上一边刮下剩余涂敷液的技术等。另外，在日本专利特开平6-115083号公报(专利文献1)中揭示了一种在弹性刮板本身上设置空气吸引用通孔，将粘附在弹性刮板上的剩余油墨利用吸引泵进行吸引的技术。现有技术存在以下的问题。利用上述弹性体刮板的技术中，因为喷墨头的喷嘴面与弹性体刮板的摩擦而使弹性体刮板被切削，有可能产生弹性体粉。一旦所产生的弹性体粉进入喷嘴或粘附在喷嘴面上，则会导致弹性体粉混入溶液中，有损在基板上形成的功能性薄膜的质量。而且，有时会因弹性体刮板的劣化等而使刮除操作不充分。另外，弹性体刮板本身所粘附的剩余涂敷液难以除去，有时刮下的剩余溶液会再次粘附到喷墨头的喷嘴面上。在后者的技术中，有时不能得到充分的剩余涂敷液的吸引效果。(3)
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提高对喷墨头的喷嘴面的剩余排出液的擦拭性能、提高溶液的涂敷质量。本专利技术的喷墨涂敷装置，包括具有将溶液以喷墨方式向基板进行喷涂的多个喷嘴的喷头，还包括吸水性的清扫体；将该清扫体推压到喷头的喷嘴面上的推压机构。本专利技术的喷墨头的清洁方法，对具有将溶液以喷墨方式向基板进行喷涂的多个喷嘴的喷头进行清扫，通过将吸水性的清扫体推压到喷头的喷嘴面上来对喷头的喷嘴面进行清扫。采用本专利技术的话，与现有技术的利用弹性体刮板进行刮液的技术不同，因为是将具有吸水性的清扫体推压到喷头的喷嘴面上而将剩余的涂敷溶液吸去，因而可尽可能地防止与喷头的喷嘴面之间的摩擦，提高喷嘴面的擦拭性能，提高溶液的涂敷质量。(4)附图说明图1是表示省略了清洁装置的喷墨头涂敷装置的主视图。图2是表示省略了清洁装置的喷墨头涂敷装置的侧视图。图3是喷墨头的横向剖视图。图4是喷墨头的仰视图。图5是表示喷墨头的喷嘴面清洁装置的模式图，图5(A)表示滑架的待机位置，图5(B)表示滑架的擦拭行程端位置。图6是示意性地表示喷墨头的喷嘴面清洁装置的左侧面的图。(5)具体实施方式图1至图6所示的喷墨涂敷装置10具有大致长方体状的基座1。在该基座1的下表面的规定位置分别设有脚2，将上述基座1水平地予以支承。在上述基座1的上表面上设有安装板3。在安装板3上沿长度方向分别设有导轨4。大致矩形板状的搬运台5通过分别平行地设置在其下表面两侧的滑动构件6可滑动地支承在这些导轨4的上表面侧。上述搬运台5上连接有未图示的驱动装置，通过使该驱动装置工作，可使上述搬运台5沿上述导轨4移动。通过静电卡盘或吸附卡盘等保持构件将玻璃基板或半导体晶片等基板W可装卸地保持在上述搬运台5的上表面上。即，基板W通过保持在上述搬运台5的上表面上，就可沿上述基座1的长度方向进行搬运。在上述基座1的长度方向中途部立设有横跨上述一对导轨4的门型支承体7。在该支承体7的上侧水平地架设有由方柱构成的安装构件8，多个(本实施例中为6个)喷墨方式的喷头9沿与上述基板W的搬运方向正交的宽度方向并列设置在该安装构件8的前表面上。这多个喷头9构成的长度尺寸与基板W的宽度尺寸大致相同或设定得稍长，所搬运的基板W整体从上述喷头9的下方通过。在此，如图3和图4所示，上述各喷头9具有喷头本体51。喷头本体51具有从上面侧与下面侧连通的开口部52，其下面开口由可挠板53封闭。该可挠板53被喷嘴板54覆盖，由此，在该喷头本体51的下面侧，可挠板53与喷嘴板54之间形成多个液室55。液室55分别通过未图示的支管与形成于喷嘴板54内的主管54A连通，从主管54A通过支管供给溶液。主管54A的一端与后述的供给孔57连接，另一端与后述的回收孔59连接。在上述喷头本体51的长度方向一端部形成有与该液室55连通的供给孔57。从该供给孔57向上述液室55供给例如用于形成定向膜或抗蚀膜等功能性薄膜的溶液。由此，该液室55内充满溶液。如图4所示，多个喷嘴56在与喷头本体51的长度方向正交的宽度方向的大致中心部、即沿与基板W的搬运方向正交的方向以交错状地穿设在上述喷嘴板54上，喷嘴板54的下表面呈平板的形状，形成开设有多个喷嘴56的喷嘴面20。如图3所示，在上述可挠板53的上表面的与上述各喷嘴56相向的位置分别固接有压电元件58。液室55也与各喷嘴56一对一地对应设置。驱动电压通过设于上述开口部52内的驱动部60供给各压电元件58。由此，溶液从与被驱动的压电元件58对应的喷嘴56排出，可将溶液向所搬运的基板W的上表面进行喷涂。如图3所示，在上述喷头本体51的长度方向另一端部形成有与上述液室55连通的回收孔59。供给上述液室55的溶液通过该回收孔59回收。即，上述各喷头9不仅使供给至上述液室55的溶液从各喷嘴56进行喷射，而且使该溶液在上述液室55内循环，可由上述回收孔59进行回收。如图5、图6所示，喷墨涂敷装置10具有喷墨头的喷嘴面清洁装置19。喷嘴面清洁装置19如下所述包括搬运机构13，搬运对粘附在上述多个喷头9的喷嘴面20上的溶液进行擦拭的带状抹布(清扫体)12；将抹布12推压到喷头9的喷嘴面20上的推压机构41。(搬运机构13)带状的抹布(清扫体)12的搬运机构13包括送出抹布12的供给卷筒14；卷起抹布12的卷起卷筒15；将张设在供给卷筒14与卷起卷筒15之间的抹布放出至上述多个喷头9的喷嘴面20的相向位置的放出机构16。如图1所示，上述多个(本实施例中为6个)喷头9在与基板W的搬运方向正交的宽度方向上并列设置在支承体7的安装构件8的前表面上，多个喷头9的喷嘴面20的高度相同，多个喷头9的喷嘴面20位于同一水平面上。如图5、图6所示，一对卷筒14、15在上下方向分开地设置在多个喷头9的宽度方向的一侧(图中左侧)。如图6所示，一对卷筒14、15设置在支承板11上，该支承板11安装在上述门型支承体7的一侧的立柱7A的前表面上，一对卷筒14、15的旋转中心轴配置成与基板W的搬运方向平行。卷筒状的抹布12的起始端固定在下方的卷筒(供给卷筒14)上，上述卷筒状的抹布12的终端部固定在上方的卷筒(卷起卷筒15)上。抹布12由产生尘粒少且具有吸水性的带状构件、例如聚酯纤维构成。如图6所示，下方的供给卷筒14和上方的卷起卷筒15分别具有驱动电动机17、18，在供给卷筒14与驱动电动机17之间夹设有磁滞式离合器22，在卷起卷筒15与驱动电动机8之间夹设有磁滞式离合器23，驱动电动机17、18的转矩通过磁滞式离合器22、23传递。从上述喷头9的前方侧(图5的纸面上方侧)看，供给卷筒14和卷起卷筒15分别朝逆时针方向旋转，通过该旋转，供给卷筒14送出抹布12，卷起卷筒15卷起抹布12。也可将2个供给卷筒14安装在支承体11上，当一个供给卷筒14的抹布12用完后自动地切换到未使用的另一个供给卷筒14。同样，也可将2个卷起卷筒15安装在支承体11上，当一个卷起卷筒15卷满了抹布12时自动地切换到空的另一个卷起卷筒15。如此构成的话，则从更换后的新的供给卷筒14开始供给抹布12后，可将用完了抹布12的供给卷筒14及卷满了抹布12的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种喷墨涂敷装置，包括具有将溶液以喷墨方式向基板进行喷涂的多个喷嘴的喷头，其特征在于，包括：吸水性的清扫体；将该清扫体推压到所述喷头的喷嘴面上的推压机构。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：小川路夫，
申请(专利权)人：芝浦机械电子装置股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]