一种真空镀膜机制造技术

本实用新型专利技术提供了一种真空镀膜机，属于机械技术领域。它解决了现有的真空镀膜机产能不高的问题。本真空镀膜机，包括真空罩和用于使真空罩内部保持真空状态的真空系统，真空罩内设置有伞架和蒸发源，伞架包括能够周向转动的转盘和若干个工件架，工件架分别与转盘通过各自转轴一相连，工件架沿转盘周向呈伞状分布，本真空镀膜机还包括能使工件架随着转盘周向转动的同时绕转轴一的中心线转动的驱动机构。本真空镀膜机伞架采用工件架沿转盘周向呈伞状分布的结构，减少了伞架占用的空间，增大了工件架对蒸发材料的接受面积，工件架上的正反两面均能装载待镀膜工件，增加了工件架的装载数量。本真空镀膜机的产量更高，经济效益更好。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种真空镀膜机，包括真空罩（1）和用于使真空罩（1）内部保持真空状态的真空系统，所述真空罩（1）内设置有伞架（2）和蒸发源（3），其特征在于，所述伞架（2）包括能够周向转动的转盘（21）和若干个工件架（22），所述工件架（22）分别与转盘（21）通过各自转轴一（4）相连，所述工件架（22）沿转盘（21）周向呈伞状分布，本真空镀膜机还包括能使工件架（22）随着转盘（21）周向转动的同时绕转轴一（4）的中心线转动的驱动机构。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王先玉，夏永光，
申请(专利权)人：浙江星星瑞金科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：