印网掩模制造技术

本发明专利技术提供一种能够提高丝网印刷精度的技术。本发明专利技术的印网掩模包括具有张紧力范围为１９６～３９２Ｎ／ｍｍ的丝网（２）；张紧力范围为４９～９８Ｎ／ｍｍ的张力网（３）；以包围丝网（２）的外周的方式进行配置，张紧力范围为３９２～９８０Ｎ／ｍｍ，固定张力网（３）的一部分的树脂板（固定部）（４）；和版框（５）。其中，当进行丝网印刷时，与刮墨刀在丝网（２）上擦动的方向交叉的第一方向（５５）上的丝网（２）长度（Ｌｓ）为第一方向（５５）上的张力网（３）长度（Ｌｔ）的０．６～０．９倍。当取系数（ａ）时，第一方向（５５）的树脂板（４）长度（Ｌｋ）、长度（Ｌｓ）与长度（Ｌｔ）的关系为Ｌｋ＝ａ（Ｌｔ＋Ｌｓ）／２，系数（ａ）在０．５～１．２范围内。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及丝网印刷技术，特别是涉及在平板显示器面板上形成 图形时适用的有效技术。
技术介绍
在日本特开2003-291555号公报(专利文献l)中，说明了通过张 力网(tension mesh)在张紧状态下将丝网(Screen mesh)支承在丝网 支承框上的印刷用模版中，在上述丝网的印刷有效区域的周围，设置 比上述印刷有效区域还高弹性率的边缘区域，在上述高弹性率的边缘 区域的外周上，将上述丝网固定在张力网上的结构。日本特开2003-291555号公报丝网印刷为通过滚压(用刮墨刀(squeegee)将印刷剂压出)油墨 等印刷剂，使其通过丝网模版(stencil screen),将所希望的图形复印 在被印刷物上的孔部版印刷方式的一种，可在IC基板的电路配线的形 成、PDP (等离子体显示面板)等平板显示面板的电极形成或荧光体层的形成等各种用途中利用。特别是，在PDP的制造工序中，在电极形成工序或荧光体层形成 工序等中适用丝网印刷技术，但近年来为了使显示器的显示面尺寸大 型化，或使显示图象高精细化，要求使用大型的印网掩模(screen mask) 进行高精度印刷的技术。本专利技术者对利用印网掩模，进行高精度的印刷的技术进行研究， 发现以下问题。图9为表示现有技术中一般的印网掩模的结构的平面图，图IO为 表示利用树脂板固定图9所示的印网掩模的张力网的状态的平面图。如图9所示，丝网印刷用的印网掩模具有作为印刷有效区域的丝 网(也称为内纱)2，在丝网2的周围形成的张力网(也称为外纱)3， 和以规定范围内的张力通过上述张力网3张紧、保持上述丝网2的版框5。丝网2具有在刮墨刀滚压时使印刷剂通过用的多个孔部，在制版 工序中，对在丝网2上，以规定图形作出开口部的印刷掩模进行制版。因此，为了利用印网掩模进行高精度的印刷，必需提高上述制版 工序的初期制版精度(按所希望的图形，对印刷掩模进行制版的精度)， 同时提高进行刮墨刀滚压时的复印精度(通过印网掩模的孔部，将印 刷剂涂布在被印刷物上的位置精度)。当制造印刷掩模的版时，由张力网3的位置偏移引起的丝网2的位置偏移使初期制版精度降低。因此，为了提高制版精度，如图10所示，通过利用树脂板4等固 定形成在丝网2的周围的张力网3，抑制制造印刷掩模版的丝网2的位 置偏移的方法是有效的。但是，从本专利技术者的研究中发现，当利用固定有张力网3的印网 掩模300进行丝网印刷时，由于作为印刷有效区域的丝网2因为刮墨 刀的动作容易变形，复印精度比利用不固定张力网3的印网掩模100 进行丝网印刷的情况低。因此，不考虑张力网3的张紧力或与刮墨刀滚压时的方向交叉的 方向上的丝网2、张力网3和树脂板4的长度关系，在简单地固定形成 在丝网2周围的张力网3的情况下，初期制版精度能够提高，但由于 复印精度降低，结果不能提高丝网印刷的精度。特别是，由于印网掩模的平面尺寸越大，刮墨刀滚压时的丝网3 的偏移越容易增大，在PDP制造等使用大型的印网掩模进行印刷的情 况下，复印精度的降低成为大的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的是要提供能够提高丝网印刷精度的技术。 本专利技术的上述以及其他目的与新颖性的特征，从本说明书的说明和附图中可以了解。下面，简单地说明本申请所述的专利技术中有代表性的专利技术的概要。 艮P，本专利技术具有如下结构，包括具有平面方向的张紧力范围为196 392N/mm的丝网；平面方向的张紧力范围为49 98N/mm的张力网；以包围上述丝网的外周的方式进行配置，平面方向的张紧力范围为392 980N/mm，固定上述张力网的一部分的固定部；和版框，当进 行丝网印刷时，与刮墨刀在上述丝网上擦动的方向交叉的第一方向上 的上述丝网长度Ls为上述第一方向上的张力网长度Lt的0.6 0.9倍。 当取系数a时，上述第一方向固定部的长度Lk、上述第一方向的上述 丝网长度Ls与上述第一方向的张力网长度Lt的关系为Lk=a (Lt+Ls) /2，上述系数a在0.5 1.2范围内。下面，简单地说明由本申请所说明的专利技术中有代表性的专利技术得到 的效果。艮P、根据本专利技术，能够提高丝网印刷的印刷精度。 附图说明图1为本专利技术的实施方式1的印网掩模的平面图； 图2为表示沿着图1所示的A-A线切断状态的截面图； 图3为放大图2所示的印网掩模的丝网和张力网的接合部分周边 的放大截面图4为在使用本专利技术的实施方式1的印网掩模的丝网印刷中，表 示印刷开始前的状态的截面图5为在使用本专利技术的实施方式1的印网掩模的丝网印刷中，表 示刮墨刀将丝网压紧在被印刷物上的状态的截面图6为本专利技术的实施方式2的印网掩模的平面图7为表示沿着图6所示的A-A线切断的状态的截面图8为在使用本专利技术的实施方式2的印网掩模的丝网印刷中，表 示刮墨刀将丝网压紧在被印刷物上的状态的截面图9为表示作为本专利技术的比较例的、不具有固定张力网的树脂板 的印网掩模的平面图10为表示利用树脂板固定图9所示的印网掩模张力网的印网掩模的平面图。符号说明 2:丝网2a:面(第一面)2b:面(第二面) 3:张力网4:树脂板(固定部) 5:版框 6:开口部7-印刷掩模11:版框框架 12:区域(第二区域) 13:区域(第三区域) 14:区域(第一区域)51:版框支架(holder)52:印刷台53:刮墨刀54:箭头55:第一方向60:基板LS:丝网的长度Lt:张力网的长度Lk:树脂板的长度Lc:间隙(clearance)距离100、 200、 300、 400:印网掩模(screenmask)具体实施例方式在以下的实施方式中，为了方便，当必要时，分割成多个部分或 实施方式进行说明，除了特别表明的情况外，它们互相不但不是没有 关系，而且存在一个是另一个的一部分或全部的变形例、详细情况或 补充说明等关系。另外，在以下的实施方式中，在谈及元件的数目等(包含个数、 数值、量、范围等)的情况下，除了特别声明的情况和原理上可明显 看出地限于特定数目的情况等之外，不限于该特定的数，在特定的数 以上或以下都可以。在说明本实施方式的全部图中，具有相同功能的零件用相同的符 号表示，原则上省略其重复说明。以下，根据附图，详细地说明本发 明的实施方式。(实施方式1)在本实施方式l中，在本专利技术的丝网印刷技术中，以形成在PDP 的面板基板表面上的隔壁(将每个放电空间分隔成单元的隔壁)分隔出的单元内涂布荧光体膏(paste)的PDP上形成荧光体层的工序为例 说明。图1为本实施方式1的印网掩模的平面图，图2为沿着图1所示 的A-A线的截面图，图3为放大图2所示的截面图的丝网和张力网的 接合部分周边的放大截面图。在图l和图2中，本实施方式l的印网掩模100包括丝网2，该丝 网具有互相位于相反侧上的第一面2a和第二面2b，并且具有作为印刷 剂的荧光体膏从面2a向面2b方向通过用的多个孔部。丝网2为将铝等金属作成网眼状，其网眼数(每1英寸见方的孔 部数量)为230 260左右。另外，形成为网眼状的金属的线径为16 25,左右。这样形成的丝网2的平面方向的张紧力(在平面方向只拉长单位 距离所必要的力的量)为196 392N/mm (20 40kgf/mm)。另外，在丝网2的外周以包围周围的方式配置张力网3，张力网3 利用树脂板(固定部)4固定。该树脂板本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种印网掩模，其特征在于，包括：丝网，具有位于互相相反侧的第一面和第二面，并具备印刷剂从所述第一面向所述第二面的方向所通过的多个孔部，并具有１９６～３９２Ｎ／ｍｍ范围的平面方向的张紧力；张力网，以包围所述丝网的外周的方式进行配置，并具有４９～９８Ｎ／ｍｍ范围的平面方向的张紧力；固定部，以包围所述丝网的外周的方式进行配置，并具有３９２～９８０Ｎ／ｍｍ范围的平面方向的张紧力，固定所述张力网的一部分；和版框，以包围所述张力网的外周的方式进行配置，并固定、保持所述张力网的外周，其中，在进行丝网印刷时，与刮墨刀在所述丝网上擦动的方向交叉的第一方向上的所述丝网长度Ｌｓ，为所述第一方向上的张力网长度Ｌｔ的０．６～０．９倍，当取系数ａ时，所述第一方向上的固定部长度Ｌｋ、所述第一方向上的所述丝网长度Ｌｓ和所述第一方向上的张力网长度Ｌｔ满足Ｌｋ＝ａ（Ｌｔ＋Ｌｓ）／２的关系，所述系数ａ在０．５～１．２范围内。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：柳原直人，瀬户政行，中岛干雄，牛房信之，
申请(专利权)人：富士通日立等离子显示器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]