曝光机光罩结构的水平角度调整机构及方法技术

技术编号:10075035 阅读:252 留言:0更新日期:2014-05-24 03:13
一种曝光机光罩结构的水平角度调整机构及方法,其可调整光罩结构的水平角度,本发明专利技术利用至少三个水平向驱动部、至少三个水平向驱动源、至少三个垂直向被动部及至少三个万向接头,其中,水平向驱动部水平活动设置于曝光机且具有第一斜面连接单元,垂直向被动部垂直活动设置于曝光机且具有第二斜面连接单元以与第一斜面连接单元面对面活动连接,万向接头以一侧连接垂直向被动部,以另一侧连接光罩结构,水平向驱动源驱动水平向驱动部。因此,本发明专利技术可调整光罩结构的水平角度以使光罩与对应物平行。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种曝光机光罩结构的水平角度调整机构及方法,尤指具有面对面活动连接的第一斜面连接单元及第二斜面连接单元。
技术介绍
曝光机的光罩结构为制作电路板电路的主要结构,一般的光罩结构通常具有承载台及设置于承载台上的光罩,当曝光机欲制作不同电路板的电路时,首先需从曝光机移出承载台以取下先前的光罩,接着再将不同的光罩设置于承载台并将承载台移回曝光机内,以制作不同的电路板电路。然而,前述更换光罩的过程却容易使得光罩与对应物的平行程度产生误差,因此,如何专利技术出一种曝光机光罩结构的水平角度调整机构及方法,以使其可调整光罩结构的水平角度以使光罩与对应物平行,将是本专利技术所欲积极公开的特征。
技术实现思路
有鉴于上述公知技术的缺憾,专利技术人有感其未臻于完善,遂竭其心智悉心研究克服,凭其从事该项产业多年的累积经验,进而研发出一种曝光机光罩结构的水平角度调整机构及方法,以期达到可调整光罩结构的水平角度以使光罩与对应物平行的目的。为达上述目的,本专利技术的第一态样提供一种曝光机光罩结构的水平角度调整机构,其包含:至少三个水平向驱动部,其水平活动设置于该曝光机,该等水平向驱动部分别具有第一斜面连接单元;至少三个水平向驱动源,其设置于该曝光机以分别驱动该等水平向驱动部;至少三个垂直向被动部,其垂直活动设置于该曝光机,该等垂直向被动部分别具有第二斜面连接单元以分别与该等第一斜面连接单元面对面活动连接;以及至少三个万向接头,其分别以一侧连接该等垂直向被动部,及分别以另一侧连接该光罩结构。上述机构更包含至少三个水平向座体、至少三个垂直向座体或以上两者,其设置于该曝光机,该等水平向驱动部分别水平活动设置于该等水平向座体,该等垂直向驱动部分别垂直活动设置于该等垂直向座体。上述机构的该等水平向驱动部分别具有一水平向导轨,该曝光机具有至少三个水平向导槽,该等水平向导轨分别活动设置于该等水平向导槽;或,该等水平向驱动部分别具有水平向导槽,该曝光机具有至少三水平向导轨,该等水平向导轨分别活动设置于该等水平向导槽。上述机构的该等水平向驱动部分别具有水平向导轨,该等水平向座体分别具有水平向导槽,该等水平向导轨分别活动设置于该等水平向导槽;或,该等水平向驱动部分别具有水平向导槽,该等水平向座体分别具有水平向导轨,该等水平向导轨分别活动设置于该等水平向导槽。上述机构的该等水平向驱动源设置于该曝光机,该等水平向驱动源分别具有驱动单元,该等水平向驱动部分别具有被动单元,该等驱动单元分别与该等被动单元连接。上述机构的该等水平向驱动源设置于该曝光机或分别设置于该等水平向座体,该等水平向驱动源分别具有驱动单元,该等水平向驱动部分别具有被动单元,该等驱动单元分别与该等被动单元连接。上述机构的该等垂直向被动部分别具有垂直向导轨,该曝光机具有至少三个垂直向导槽,该等垂直向导轨分别活动设置于该等垂直向导槽;或,该等垂直向被动部分别具有垂直向导槽,该曝光机具有至少三个垂直向导轨,该等垂直向导轨分别活动设置于该等垂直向导槽。上述机构的该等垂直向被动部分别具有垂直向导轨,该等垂直向座体分别具有垂直向导槽,该等垂直向导轨分别活动设置于该等垂直向导槽;或,该等垂直向被动部分别具有垂直向导槽,该等垂直向座体分别具有垂直向导轨,该等垂直向导轨分别活动设置于该等垂直向导槽。上述机构的该等第一斜面连接单元分别具有一斜向导轨,该等第二斜面连接单元分别具有斜向导槽,该等斜向导轨分别活动设置于该等斜向导槽;或,该等第一斜面连接单元分别具有斜向导槽,该等第二斜面连接单元分别具有斜向导轨,该等斜向导轨分别活动设置于该等斜向导槽。本专利技术的第二态样提供一种曝光机光罩结构的水平角度调整方法,其包含下列步骤:提供如第一态样所述的曝光机光罩结构的水平角度调整机构;以及激活至少一水平向驱动源以调整该光罩结构的水平角度。因此,本专利技术的曝光机光罩结构的水平角度调整机构及方法可调整光罩结构的水平角度以使光罩与对应物平行。附图说明图1为本专利技术较佳具体实施例的分解示意图。图2为本专利技术较佳具体实施例的组合示意图。图3为本专利技术较佳具体实施例动作的示意图一。图4为本专利技术较佳具体实施例动作的示意图二。图5为本专利技术较佳具体实施例动作的示意图三。【主要组件符号说明】1      曝光机11     光罩结构111    光罩12     平移机构2      水平向驱动部21     第一斜面连接单元211    斜向导轨22     水平向导槽23     被动单元3      水平向驱动源31     驱动单元4      垂直向被动部41     第二斜面连接单元411    斜向导槽42     垂直向导槽5      万向接头51     连接杆511    球体512    连接杆座52     底座521    球状槽6      水平向座体61     水平向导轨7      垂直向座体71     垂直向导轨具体实施方式为充分了解本专利技术的目的、特征及功效,现借由下述具体的实施例,并配合所附的图式,对本专利技术做一详细说明,说明如后:图1及图2分别为本专利技术较佳具体实施例的分解示意图及组合示意图,如图所示,本专利技术的第一态样为一种曝光机光罩结构的水平角度调整机构,其包含至少三个水平向驱动部2、至少三个水平向驱动源3、至少三个垂直向被动部4及至少三个万向接头5,图式中各组件的数量以三个做为例示,各组件的数量也可依实际需求而为三个以上。该等水平向驱动部2水平活动设置于该曝光机1的同一平面的不同位置,如该曝光机1的平移机构12的同一平面的不同位置,该等水平向驱动部2也可视实际需求设置于该曝光机1的其他机构,当该曝光机1具有水平向结构时,该等水平向驱动部2便可直接设置于该曝光机1的水平向结构的不同位置,当该曝光机1未具有水平向结构时,该等水平向驱动部2便分别可先水平活动设置于至少三水平向座体6,该等水平向座体6再设置于该曝光机1,且该等水平向座体6可视实际的设置位置变换不同的形状,以使该等水平向驱动部2可水平活动设置于该曝光机1的同一平面的不同位置,该等水平向驱动部2分别具有第一斜面连接单元21。该等水平向驱动源3分别可为电动马达、电控气压缸或电控油压缸…等<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种曝光机光罩结构的水平角度调整机构,其特征在于,其包含:
至少三个水平向驱动部,其水平活动设置于该曝光机,该等水平向驱动
部分别具有第一斜面连接单元;
至少三个水平向驱动源,其设置于该曝光机以分别驱动该等水平向驱动
部;
至少三个垂直向被动部,其垂直活动设置于该曝光机,该等垂直向被动
部分别具有第二斜面连接单元以分别与该等第一斜面连接单元面对面
活动连接;以及
至少三个万向接头,其分别以一侧连接该等垂直向被动部,及分别以另
一侧连接该光罩结构。
2.如权利要求1所述的曝光机光罩结构的水平角度调整机构,其特征
在于,还包含至少三个水平向座体、至少三个垂直向座体或以上两者,其设
置于该曝光机,该等水平向驱动部分别水平活动设置于该等水平向座体,该
等垂直向驱动部分别垂直活动设置于该等垂直向座体。
3.如权利要求1所述的曝光机光罩结构的水平角度调整机构,其特征
在于,该等水平向驱动部分别具有水平向导轨,该曝光机具有至少三个水平
向导槽,该等水平向导轨分别活动设置于该等水平向导槽;或,该等水平向
驱动部分别具有水平向导槽,该曝光机具有至少三个水平向导轨,该等水平
向导轨分别活动设置于该等水平向导槽。
4.如权利要求2所述的曝光机光罩结构的水平角度调整机构,其特征
在于,该等水平向驱动部分别具有水平向导轨,该等水平向座体分别具有水
平向导槽,该等水平向导轨分别活动设置于该等水平向导槽;或,该等水平
向驱动部分别具有水平向导槽,该等水平向座体分别具有一水平向导轨,该
等水平向导轨分别活动设置于该等水平向导槽。
5.如权利要求1所述的曝光机光罩结构的水平角度调整机构,其特征
在于,该等水平向驱动源设置于该曝光机,该等水平向驱动源分别具有一驱
动单元...

【专利技术属性】
技术研发人员:张鸿明
申请(专利权)人:川宝科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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