双载台曝光机制造技术

本发明专利技术涉及曝光器械领域，具体提供一种双载台曝光机，包括输送装置、光源产生装置以及送料装置。所述输送装置具有机座、第一传送机构以及第二传送机构，机座具有第一带动单元及第二带动单元，第一传送机构具有第一座体、第一升降单元及第一承载单元，第二传送机构具有第二座体、第二升降单元及第二承载单元；光源产生装置设于输送装置一侧的上方；送料装置设于输送装置的另一侧。由此，可于第一传送机构输送感光基板进行曝光时，由第二传送机构输送另一个感光基板等候进行曝光，并于第二传送机构输送另一个感光基板进行曝光时，再由第一传送机构输送其他感光基板等候进行曝光，如此循环输送感光基板，提升了感光基板的传输效率及曝光机的产速。

Dual-stage exposure machine

【技术实现步骤摘要】
双载台曝光机
本专利技术涉及曝光器械领域，尤其涉及一种双载台曝光机，更特别地涉及一种可作为提升曝光机产速的双载台曝光机。
技术介绍
一般的印刷电路板已被广泛地应用于电子设备或电子装置，且为制成印刷电路板上的电路，曝光机因此被开发而加入制程的行列。由于一般的曝光机仅能单次对一感光基板进行曝光；此外，当一感光基板于曝光机内进行曝光时，另一个感光基板往往需于前一感光基板完成曝光且从一般的曝光机内取出后，另一个感光基板才可置入曝光机内进行曝光，造成感光基板的传输效率较慢，使得曝光机的生产速率低落。
技术实现思路
基于本专利技术的至少一个实施例，可于第一传送机构输送感光基板进行曝光时，由第二传送机构输送另一个感光基板等候进行曝光，并于第二传送机构输送另一个感光基板进行曝光时，再由第一传送机构输送其他感光基板等候进行曝光，如此循环输送感光基板，而达到提升感光基板的传输效率，以提升曝光机的产速。本专利技术提供一种双载台曝光机，包括：输送装置、光源产生装置以及送料装置。所述输送装置包括机座、第一传送机构以及第二传送机构，所述机座内部的两侧分别设有相对向的第一带动单元及第二带动单元，所述第一传送机构具有第一座体、第一升降单元及第一承载单元，所述第一座体设于所述第一带动单元，所述第一升降单元设于所述第一座体的一面，所述第一承载单元设于所述第一升降单元，所述第二传送机构具有第二座体、第二升降单元及第二承载单元，所述第二座体设于所述第二带动单元，所述第二升降单元设于所述第二座体的一面，所述第二承载单元设于所述第二升降单元；光源产生装置设于所述输送装置一侧的上方；送料装置设于所述输送装置的另一侧。通过上述实施例，本专利技术提供一种双载台曝光机。可于第一传送机构输送感光基板进行曝光时，由第二传送机构输送另一个感光基板等候进行曝光，并于第二传送机构输送另一个感光基板进行曝光时，再由第一传送机构输送其他感光基板等候进行曝光，如此循环输送感光基板，而达到提升感光基板的传输效率，以提升曝光机的产速。可选地，所述机座外侧具有盖板。可选地，所述第一带动单元与所述第二带动单元为线性马达。可选地，所述第一座体的另一面具有第一滑槽，所述第一滑槽活动结合所述第一带动单元。可选地，所述第二座体的另一面具有第二滑槽，所述第二滑槽活动结合所述第二带动单元。可选地，所述光源产生装置包括机箱、曝光机构以及对位机构，所述机箱与所述输送装置结合，所述曝光机构设于所述机箱中，且所述第一传送机构以及所述第二传送机构可移动至对应所述曝光机构的位置。可选地，所述对位机构具有多数个影像截取单元及调整单元。可选地，所述送料装置包括机箱、进料机构以及出料机构，所述机箱与所述输送装置结合，所述进料机构与所述出料机构设于所述机箱中，且所述机座位于所述进料机构与所述出料机构之间。为使能更进一步了解本专利技术的特征及
技术实现思路
，请参阅以下有关本专利技术的详细说明与附图，但是此等说明与附图仅用来说明本专利技术，而非对本专利技术的权利范围作任何的限制。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术双载台曝光机的外观示意图；图2是本专利技术双载台曝光机的内部示意图；图3是本专利技术双载台曝光机的内部分解示意图；以及图4是本专利技术双载台曝光机的另一内部分解示意图。附图标记1输送装置11机座111第一带动单元112第二带动单元113盖板12第一传送机构121第一座体1211第一滑槽122第一升降单元123第一承载单元13第二传送机构131第二座体1311第二滑槽132第二升降单元133第二承载单元2光源产生装置21机箱22曝光机构23对位机构231影像截取单元232调整单元3送料装置31机箱32进料机构33出料机构具体实施方式以下将配合附图，更进一步地说明本专利技术实施例的双载台曝光机。请参阅图1至图4，如图所示：本专利技术一种双载台曝光机，其包括输送装置1、光源产生装置2以及送料装置3。所述输送装置1包括机座11、第一传送机构12以及第二传送机构13，所述机座11内部的两侧分别设有相对向的第一带动单元111及第二带动单元112，所述第一传送机构12具有第一座体121、第一升降单元122及第一承载单元123，所述第一座体121设于所述第一带动单元111，所述第一升降单元122设于所述第一座体121的一面，所述第一承载单元123设于所述第一升降单元122，所述第二传送机构13具有第二座体131、第二升降单元132及第二承载单元133，所述第二座体131设于所述第二带动单元112，所述第二升降单元132设于所述第二座体131的一面，所述第二承载单元133设于所述第二升降单元132。所述光源产生装置2设于所述输送装置1一侧的上方。所述送料装置3设于所述输送装置1的另一侧。当本专利技术于进行曝光作业时，由所述送料机构3的一侧将感光基板(图未示)传输至所述第一传送机构12的第一承载单元123，并由所述第一带动单元111带动所述第一座体121至所述光源产生装置2的位置，且由所述第一升降单元122带动所述第一座体121上升，而当所述第一座体121上升时，则同时带动所述第一承载单元123上升，使所述第一承载单元123上的感光基板被移动至所述光源产生装置2的位置进行曝光。当所述第一传送机构12输送所述感光基板进行曝光时，所述第二传送机构13便由所述第二带动单元112带动至所述送料机构3，由所述送料机构3将另一个感光基板传输至所述第二传送机构13的第二承载单元133，进而可于所述第一传送机构12输送所述感光基板进行曝光时，由所述第二传送机构13输送另一个感光基板等候进行曝光。并于所述第一传送机构12上的感光基板曝光完成后，由所述第一升降单元122带动所述第一座体121下降，而当所述第一座体121下降时，则同时带动所述第一承载单元123下降，使所述第一承载单元123上的感光基板移开所述光源产生装置2的位置，并由所述第一带动单元111带动所述第一传送机构12至所述送料机构3的位置，而由所述送料机构3的另一侧将所述感光基板输送至后续制程。当所述第一带动单元111带动所述第一传送机构12至所述送料机构3时，便同时由所述第二带动单元112带动所述第二传送机构13至所述光源产生装置2的位置，且由所述第二升降单元132带动所述第二座体131上升，而当所述第二座体131上升时，则同时带动所述第二承载单元133上升，使所述第二承载单元133上的另一个感光基板被移动至所述光源产生装置2的位置进行曝光。当所述第二传送机构13输送另一个感光基板进行曝光时，所述送料机构3的一侧将其他感光基板(图未示)传输至所述第一传送机构12的第一承载单元123，进而可再由所述第一传送机构12输送其他感光基板等候进行曝光，如此循环输送可达到提升感光基板的传输效率，以提升曝光机的产速。于本专利技术的一个实施例中，所述机座11外侧具有盖板113。由此，可将所述机座11加以封闭、而使所述第一带动单元111、所述第二带动单元112、所述第一座体121、所述第一升降单元122、所述第一承载单元12本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种双载台曝光机，其特征在于，所述双载台曝光机包括：输送装置，其包括机座、第一传送机构以及第二传送机构，所述机座内部的两侧分别设有相对向的第一带动单元及第二带动单元，所述第一传送机构具有第一座体、第一升降单元及第一承载单元，所述第一座体设于所述第一带动单元，所述第一升降单元设于所述第一座体的一面，所述第一承载单元设于所述第一升降单元，所述第二传送机构具有第二座体、第二升降单元及第二承载单元，所述第二座体设于所述第二带动单元，所述第二升降单元设于所述第二座体的一面，所述第二承载单元设于所述第二升降单元；光源产生装置，其设于所述输送装置一侧的上方；以及送料装置，其设于所述输送装置的另一侧。

【技术特征摘要】
1.一种双载台曝光机，其特征在于，所述双载台曝光机包括：输送装置，其包括机座、第一传送机构以及第二传送机构，所述机座内部的两侧分别设有相对向的第一带动单元及第二带动单元，所述第一传送机构具有第一座体、第一升降单元及第一承载单元，所述第一座体设于所述第一带动单元，所述第一升降单元设于所述第一座体的一面，所述第一承载单元设于所述第一升降单元，所述第二传送机构具有第二座体、第二升降单元及第二承载单元，所述第二座体设于所述第二带动单元，所述第二升降单元设于所述第二座体的一面，所述第二承载单元设于所述第二升降单元；光源产生装置，其设于所述输送装置一侧的上方；以及送料装置，其设于所述输送装置的另一侧。2.根据权利要求1所述的双载台曝光机，其特征在于，所述机座外侧具有盖板。3.根据权利要求1所述的双载台曝光机，其特征在于，所述第一带动单元与所述第二带动单元为线性马达。4.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：张鸿明，
申请(专利权)人：川宝科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71