一种多面体主基板及其加工方法技术

本发明专利技术涉及半导体制造技术领域，且公开了一种多面体主基板，包括基板主体，所述基板主体外侧的三个拐角处均固定安装有减震器支撑板，所述基板主体的上表面开设有螺丝孔，所述基板主体的两侧固定安装有翼肋板。通过基板主体外侧的三个的减震器支撑板与减震器可拆卸连接，基板主体表面的物镜装置安装板与物镜装置也是采用可拆卸连接，减少了基板主体的重量，另外基板主体采用模具铸造工艺，同时也对经过宏观结构及微观结构设计的基板主体进行一体化成型制造，通过基板主体表面上开设有阶梯槽、肋骨槽、八字槽和条形槽，降低了基板主体的重量，提高了基板主体的模态，也是现实了基板主体的快速成型，降低了生产成本。

A Polyhedral Main Substrate and Its Processing Method

【技术实现步骤摘要】
一种多面体主基板及其加工方法
本专利技术涉及半导体制造
，具体为一种多面体主基板及其加工方法。
技术介绍
主基板和测量支架是光刻机整机框架设计的核心，它既需要具备高模态的特征指标，以满足短期稳定性动态性能的需求，同时又必须在材料和传热领域寻找到一个很好的平衡点以满足长期热稳定性的需求。此外，随着物镜和测量装置质量的增加，又迫使主基板和测量支架设计要满足低质量、轻量化的发展趋势。因此主基板和测量支架的设计方向需要具备高模态和轻量化的双重特征。就空间约束而言，由于投影物镜的发展使得共轭距不断增大，这使得整机内部世界(具体包括主基板和测量支架)，需要为掩模台激光干涉仪和工件台激光干涉仪提供有效的安装平面。同时，光刻机为提高整机工作效率，主基板的发展趋势由一个工作位增加至两个工作位，以适应双工件台和双曝光设计的X向和Y向平面空间需求。因此，主基板和测量支架需要为光刻机物镜和测量装置提供为空间跨度更大的安装和支持面。美国专利US5691806提供了一种铸型主基板框架，所述铸型框架安装在工件台上方。铸型框架的顶部是箱体结构，内部设有许多加强筋，将框架分割成若干个小箱体，以增强铸型框架的刚度，同时在框架内填满减振泡沫，提高系统稳定性。铸型框架是封闭式结构，不会有颗粒污染工件台。美国专利US5691806所公开的主基板为一种单工位、小面积主基板，虽然其结构强度好、模态值高，但是因为是铸型主基板而导致质量过大。针对现有技术中存在的问题，为了提高主基板的模态和降低其重量，实现主基板具有高模态和轻量化的双重特征，本领域技术人员提供一种多面体主基板及其加工方法来解决上述中的问题。
技术实现思路
针对上述问题，本专利技术的目的在于提供一种多面体主基板及其加工方法，具有制造成本低、可加工性简单、交货期短、质量轻的优点。本专利技术为实现技术目的采用如下技术方案：一种多面体主基板，包括基板主体，所述基板主体外侧的三个拐角处均固定安装有减震器支撑板，所述基板主体的上表面开设有螺丝孔，所述基板主体的两侧固定安装有翼肋板，且两个翼肋板之间相通，所述基板主体的正面固定安装有三个物镜装置安装板，所述基板主体的正面开设有阶梯槽，所述基板主体的正面且位于阶梯槽的上方和下方开设有肋骨槽，所述基板主体的正面且位于阶梯槽的左侧开设有八字槽，所述基板主体的背面开设有条形槽。进一步，所述基板主体采用模具铸造法一体成型，所述阶梯槽由上至下逐渐递减。进一步，所述基板主体以阶梯槽的水平中线为轴上下对此分布。进一步，所述减震器通过螺栓安装在减震器支撑板上，所述物镜装置通过螺栓安装在物镜装置安装板上。一种多面体主基板的加工方法，具体如下：S0、基板设计，通过制图软件设计出主基板宏观外形及微观结构参数、根据主基板宏观外形及微观结构参数设计出与主基板相反的模具；S1、材料混合，将主基板的材料及配料进行混合，在混合的过程中添加增塑剂、有机粘接剂、溶剂等再次的进行混合；S2、材料预热，将S1中混合后的主料进行预热，预热温度在450-480摄氏度，可以根据材料的熔点进行宏观的调控温度；S3、材料加热，将S2预热后的主料加热成液态，其加热温度1300-1500摄氏度，且要根据主料的熔点进行微观的控制温度；S4、倒入模具，将S3中加热好的主料，先降温100摄氏度，然后再用机械夹具夹住坩埚，将液态的主料倒入预先安装好的模具中，并且成型；S5、模具冷却，将S4中的模具，先采取进行外部降温，然后再将模具冷却12小时以上；S6、拆开模具，先用工具将S5中的模具打开，然后在通过龙门吊将S5中冷却后的上模具运走，然后再将主基板放在下模具中1小时；S7、取出主基板，再用龙门吊将S6中的主基板模型吊起，并取出下模具，之后再将主基板模型吊运至车床的加工平台上并固定住；S8、精加工，通车床将S7中的多面体主基板的各个拐角上多余的毛刺、残留物进行加工处理掉，亦可将形成不合理的一面或者一角，再次加工并处理与主基板的宏观外形一致；S9、铣削平面，通过车床将S8中的多面体主基板的每个平面进行铣削一遍，使多面体每个平面铣削光滑；S10、钻孔，通过钻孔机将S9中的多面体主基板进行钻孔，其钻孔的布局及尺寸，要根据S0中的微观结构参数进行钻孔；S11、打磨抛光，通过抛光机将S10中的多面体主基板进行抛光，其加工压力为2kPa～6kPa、且浆料中的磨粒浓度超过0(零)且在5重量％以下、且供给到每单位面积平板的浆料流量为0.25ml/分钟/cm2～5ml/分钟/cm2，并且使用胶体二氧化硅作为抛光磨粒，进行抛光处理和所述清洗处理，使清洗处理后的多面体主基板的外表面粗糙度按Ra计为0.2nm以下；S12、数据分析，最后再将S11中的对面体主基板进行拓扑优化分析、灵敏度分析、模态分析、确保无误后，多面体主基板则加工成功。本专利技术具备以下有益效果：该多面体主基板及其加工方法，通过基板主体外侧的三个的减震器支撑板与减震器可拆卸连接，基板主体表面的物镜装置安装板与物镜装置也是采用可拆卸连接，减少了基板主体的重量，另外基板主体采用模具铸造工艺，降低了制造成本，同时也对经过宏观结构及微观结构设计的基板主体进行一体化成型制造，通过基板主体表面上开设有阶梯槽、肋骨槽、八字槽和条形槽，降低了基板主体的重量，提高了基板主体的模态，也是现实了基板主体的快速成型，同时模具亦可以重复的使用，流水线的制造，降低了生产成本。附图说明图1为本专利技术结构示意图。图中：10-基板主体、101-减震器支撑板、102-螺丝孔、103-翼肋板、104-物镜装置安装板、105-阶梯槽、106-肋骨槽、107-八字槽、108-条形槽。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1，一种多面体主基板，包括基板主体10，基板主体10采用模具铸造法一体成型，其外形与三角形相似，基板主体10外侧的三个拐角处均固定安装有减震器支撑板101，减震器通过螺栓安装在减震器支撑板101上，基板主体10的上表面开设有螺丝孔102，基板主体10的两侧固定安装有翼肋板103，且两个翼肋板103之间相通，基板主体10的正面固定安装有三个物镜装置安装板104，物镜装置通过螺栓安装在物镜装置安装板104上，基板主体10的正面开设有阶梯槽105，阶梯槽105由上至下逐渐递减，基板主体10以阶梯槽105的水平中线为轴上下对此分布，基板主体10的正面且位于阶梯槽105的上方和下方开设有肋骨槽106，基板主体10的正面且位于阶梯槽105的左侧开设有八字槽107，基板主体10的背面开设有条形槽108。实施列一：一种多面体主基板的加工方法，具体如下：S0、基板设计，通过制图软件设计出主基板宏观外形及微观结构参数、根据主基板宏观外形及微观结构参数设计出与主基板相反的模具；S1、材料混合，将主基板的材料及配料进行混合，在混合的过程中添加增塑剂、有机粘接剂、溶剂等再次的进行混合；S2、材料预热，将S1中混合后的主料进行预热，预热温度在450摄氏度，可以根据材料的熔点进行宏观的调控温本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多面体主基板，包括基板主体(10)，其特征在于：所述基板主体(10)外侧的三个拐角处均固定安装有减震器支撑板(101)，所述基板主体(10)的上表面开设有螺丝孔(102)，所述基板主体(10)的两侧固定安装有翼肋板(103)，且两个翼肋板(103)之间相通，所述基板主体(10)的正面固定安装有三个物镜装置安装板(104)，所述基板主体(10)的正面开设有阶梯槽(105)，所述基板主体(10)的正面且位于阶梯槽(105)的上方和下方开设有肋骨槽(106)，所述基板主体(10)的正面且位于阶梯槽(105)的左侧开设有八字槽(107)，所述基板主体(10)的背面开设有条形槽(108)。

【技术特征摘要】
1.一种多面体主基板，包括基板主体(10)，其特征在于：所述基板主体(10)外侧的三个拐角处均固定安装有减震器支撑板(101)，所述基板主体(10)的上表面开设有螺丝孔(102)，所述基板主体(10)的两侧固定安装有翼肋板(103)，且两个翼肋板(103)之间相通，所述基板主体(10)的正面固定安装有三个物镜装置安装板(104)，所述基板主体(10)的正面开设有阶梯槽(105)，所述基板主体(10)的正面且位于阶梯槽(105)的上方和下方开设有肋骨槽(106)，所述基板主体(10)的正面且位于阶梯槽(105)的左侧开设有八字槽(107)，所述基板主体(10)的背面开设有条形槽(108)。2.根据权利要求1所述的一种多面体主基板，其特征在于：所述基板主体(10)采用模具铸造法一体成型，所述阶梯槽(105)由上至下逐渐递减。3.根据权利要求1所述的一种多面体主基板，其特征在于：所述基板主体(10)以阶梯槽(105)的水平中线为轴上下对此分布。4.根据权利要求1所述的一种多面体主基板，其特征在于：所述减震器通过螺栓安装在减震器支撑板(101)上，所述物镜装置通过螺栓安装在物镜装置安装板(104)上。5.根据权利要求1所述的一种多面体主基板的加工方法，具体如下：S0、基板设计，通过制图软件设计出主基板宏观外形及微观结构参数、根据主基板宏观外形及微观结构参数设计出与主基板相反的模具；S1、材料混合，将主基板的材料及配料进行混合，在混合的过程中添加增塑剂、有机粘接剂、溶剂等再次的进行混合；S2、材料预热，将S1中混合后的主料进行预热，预热温度在450-480摄氏度，可以根据材料的熔点进行宏观的调控温度；...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜珂，于大明，赵立军，
申请(专利权)人：深圳市华芯技研科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44