下载双载台曝光机的技术资料

文档序号:21970640

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本发明涉及曝光器械领域,具体提供一种双载台曝光机,包括输送装置、光源产生装置以及送料装置。所述输送装置具有机座、第一传送机构以及第二传送机构,机座具有第一带动单元及第二带动单元,第一传送机构具有第一座体、第一升降单元及第一承载单元,第二传送...
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