涉及摆式控制阀，设置在工艺腔室与真空泵之间的气体排出通路，用于开闭所述气体排出通路，其特征在于，包括：阀本体（110），在上部设置有与所述气体排出通路相连通的气体流入口（111），在下部设置有与所述真空泵相连通的气体排出口（113）；罩...