超声波清洗机包括：清洗槽，其具有储存液体的储液部；以及超声波振子，其具有压电元件和前质量块，其中，在清洗槽的侧面部设置有在清洗槽的外壁面及储液部的内壁面具有开口部的贯通孔，前质量块插入于贯通孔，以覆盖前质量块的前端面的上方的方式设置有罩...

公开了一种根据用1个或多个激发波长而产生的样品的光谱数据来对样品的特性进行定量/识别的光谱分析装置。光谱分析装置包括运算装置和保存运算装置所执行的程序的存储器。运算装置接收从样品得到的光谱数据作为输入，获取按光谱数据的每个波段表示对于定...

本发明的目的在于提供一种探测仅通过顶视的几何学尺寸数据无法得到的形状不良情况并导出在蚀刻形状的深度方向上最优的处理条件的系统。因此，本发明的半导体器件制造系统的特征在于，基于蚀刻参数与特征量的变化量的相关数据、以及所取得的特征量的变化量...

本发明提供自动分析装置以及探针位置检测方法，能够不依赖于探针的表面状态、或者不依赖于电磁噪声、清洗水的导电性等物性地检测探针与清洗水的相对位置关系的异常。具备：分注机构，其利用探针进行液体的抽吸和排出；注射器，其使所述分注机构进行所述液...

本发明的目的在于提供一种能够高速且详细地判断电池的状态的技术。本发明的电池诊断装置基于从电池结束了充电或放电的结束时间点起4毫秒以内的电池电压的第一差值，判断所述电池是否为第一状态，并且基于之后的电池电压的第二差值，判断所述电池是否为第...

本发明的目的在于提供一种异物除去装置，对附着性强的粉体也有效。因此，本发明的异物除去装置具备：基板，其配置有粉体；分级部，其对想要回收的粉体和想要去除的异物粒子进行分级。所述分级部具有：分级网；激振部，其使所述基板和/或所述分级网振动；...

本发明的目的在于，提供一种减少由预处理工序引起的错误检体，减少操作员的作业负担的自动分析装置。为此，本发明是对检体进行分析的自动分析装置，具备：预处理登记信息取得部，其按所述检体读取或接收预处理登记信息，所述预处理登记信息确定执行了针对...

质量分析装置具有：试剂冷藏库（21），其保管试剂容器；质量分析部（40），其对与收容于试剂容器的试剂反应而进行了预处理的检体进行质量分析；以及气体配管（71），其与气体源（50）连接，供给来自气体源的非活性气体，气体配管分支为向质量分析...

本发明提供一种温度控制装置，通过将测温部以及布线设为与调温模块相等的温度而准确地指示调温模块的温度，能够实现高精度的温度控制。具备能够容纳样品和/或试剂的调温模块(2)以及控制调温模块(2)的温度的温度控制部(3)的温度控制装置(1)具...

本发明提供一种能够减轻与液体的搬入以及搬出相关的作业者的负担的容器保管装置。一种容器保管装置，具备：保管部，其保管容纳液体的容器；以及控制部，其控制所述保管部，其特征在于，在搬入新的容器时，所述控制部从保管于所述保管部的容器中选出作为搬...

本发明提供等离子处理方法。即使是在半导体晶片表面的微细形状中发生偏差的情况，也能精度良好地检测被处理膜的厚度。在具备检测在真空处理室的内部中被处理的被处理件的被处理膜的状态的处理状态检测组件的等离子处理装置中，具备如下要素而构成处理状态...

放大电路(101)具备：第一电流源电路(113)，其向第一配线(L1)输出预定的电流量的电流；电压放大电路(110)，其对输入信号的电压进行放大；第一电平移位电路(111)，其连接在第一配线(L1)与电压放大电路(110)的输出之间，使...

为了提供提高了处理的精度和成品率的晶片处理装置，构成晶片处理装置具备：处理室（5），其配置在真空容器（1）内部；试样台（4），其配置在所述处理室内的下部的中央部，处理对象的晶片（W）载置在该试样台上而被支承；气体导入部（6），其配置在所...

在送入自动分析装置的阶段无论容纳在检体容器中的检体的量有多少，都能实现准确且稳定的分注。本发明的自动分析装置包括对容纳在检体容器(11a)中的检体的液面高度进行检测的液面高度检测装置(13)；通过分注探针(42)分注检体的分注装置(21...

本公开的目的在于，不进行系统修正地实现任意的部位的尺寸测量。本公开的尺寸测量装置之一根据具有重复图案的半导体器件的截面图像来测量半导体器件的尺寸，所述尺寸测量装置的特征在于，具备处理器和存储器，存储器保存尺寸测量程序，该尺寸测量程序使所...

本发明的目的在于提供一种能够对搭载于各种形状的试管架的试管的姿势进行校正以及能够容易地插拔试管的试管架用夹具。试管架用夹具(1)是使用于底面开口的试管架(102)的夹具，保持试管(101)的试管保持突起部(201)的突起部具备与试管(1...

本公开的目的在于，在使用液体来分析试样的液相色谱仪中，缓和与将液体容器设置于较高位置相伴随的不良情况。本公开的液相色谱仪包括收容液体的第一容器、从前述第一容器向第二容器输送前述液体的第一泵以及对前述分析部供给前述第二容器所收容的前述液体...

本公开为了在生物体试样分析用微器件中实现使用了液体性光固化树脂的鲁棒性高的样品溶液分离技术，提出了一种样品溶液分离方法，其为生物体试样分析用微器件中的样品溶液分离方法，包括：向生物体试样分析用微器件所具有的多个微区导入样品溶液的工序、将...

在液相色谱仪中，更容易避免分离柱更换处理与已预约分析动作的冲突。一种液相色谱仪的控制方法，所述液相色谱仪具备共用送液装置的多个流路，在所述多个流路的各个流路中设置有分离柱，其中，在所述分离柱的更换处理中，控制所述液相色谱仪，以便在将分离...

本公开的目的在于，在具有两个以上处理部的自动分析装置(1)中，容易管理向各处理部提供的液体。本公开所涉及的自动分析装置包括收纳第一液体的第一容器(131)，所述第一容器构成为通过分别与第一处理部(11)和第二处理部(12)连接，能够将所...