本发明提供一种能够将冷冻循环的负荷保持一定且与控制对象的空调负荷相匹配地控制排热量的精密空调机。将被设置在无尘室(10)的腔室(12)内的空气导入，使其成为设定温度，并使其向腔室12循环的精密空调机中，具备：冷冻循环(25)，从压缩机(...

提供一种洁净室，即使循环风量较少，也能够确保所需要的下降流的风速，并且能够简单地进行过滤器泄漏试验。洁净室(10)的洁净区(11)的被调温的清洁空气的排出口由多个平板喷嘴(20)形成。