精密空调机制造技术

本发明专利技术提供一种能够将冷冻循环的负荷保持一定且与控制对象的空调负荷相匹配地控制排热量的精密空调机。将被设置在无尘室(10)的腔室(12)内的空气导入，使其成为设定温度，并使其向腔室12循环的精密空调机中，具备：冷冻循环(25)，从压缩机(29)的吐出侧到吸入侧依次连接有冷凝器(31)、膨胀阀(35)、蒸发器(26)，并具有使上述压缩机(29)的吐出侧的热气流向上述蒸发器(26)的热气旁通回路(40)；热回收部(28)，收容有上述冷冻循环(25)的蒸发器(26)，将来自上述腔室(12)的空气导入，并通过上述蒸发器(26)空调成设定温度而向上述腔室(12)循环；以及散热部(33)，被设置在上述无尘室(10)内且收容有上述冷冻循环(25)的冷凝器(31)，并具备通过无尘室内(10)内的空气空冷该冷凝器(31)的能力可变风扇(32)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及精密空调机，其对收容有设置在无尘室内的曝光装置等的作为空调对象的腔室供给精密温度调节后的空气并使其循环。
技术介绍
液晶玻璃基板的曝光装置的周边环境因温度变化玻璃基板热膨胀，因此有必要将空调温度精密(精度±0. 01 ±0. 1°C )地进行控制。这样的曝光装置等被设置在无尘室内由隔壁等形成的腔室内，将与无尘室用空调机不同的精密空调机设置在无尘室的地板下，由该精密空调机对作为空调对象的腔室供给被精密温度控制后的空调空气并使其循环。 该精密空调机由冷冻循环构成，通过蒸发器将来自腔室的空气冷却至比设定温度低的温度(例如17°C )，并通过再热电热器将其加热成设定温度(例如23°C )，作为空调空气供给至腔室并使其循环。在此，冷冻循环的作为蒸发器的吸热部为了空气调节腔室内而被设置在无尘室内，但是成为加热部的冷凝器与压缩机一起作为室外机设置在无尘室外，将加热部与室外机用制冷剂配管连接而成为空冷型空调机。或者将成为加热部的冷凝器作为水冷式而设置在无尘室的地板下时提出了各种类型的水冷式空调机，如将冷却水供给装置设置在无尘室夕卜，将散热部与冷却水供给装置通过水冷配管连接的水冷式空调机等(专利文献I)。但是，将通过蒸发器冷却至比设定温度低的温度的空调空气通过再热电热器加热至设定温度的精密温度控制存在电热器的运行成本增多的问题。因此，如专利文献2所提案的那样，提出有如下技术方案，利用冷冻循环的热气，使其流到蒸发器并加到控制蒸发温度的热气旁通(hot gasbypass)中，在蒸发器的空气吹出侧设置另外的再热用冷凝器来使热气向该再热用冷凝器流动，并用该再热用冷凝器加热由蒸发器冷却后的空气，之后由再热电热器精密温度控制。在该专利文献2中，使热气向蒸发器流动来控制蒸发温度，通过再热用冷凝器温度控制空调空气，能够在一定程度上降低再热电热器的运行成本，但是通过热气旁通将冷冻循环的冷凝温度或蒸发温度响应性良好且精密地控制是不可能的，再热电热器的设置是不可或缺的。另外，在专利文献3中提出了以下方案，在蒸发器的吹出侧设置再热用冷凝器，通过利用空气压做动的三通比例阀对热气的旁通量进行控制，由此，能够通过再热用冷凝器实现响应性优异的温度控制，由此，不需要设置再热电热器。该专利文献3中将来自腔室的空气由蒸发器冷却至比设定温度低5°C的温度后通过再热用冷凝器加热到设定温度，由于不需要再热电热器，因此能够抑制运行成本。以往技术文献专利文献专利文献I :日本特开2000-283500号公报专利文献2 :日本特开2009-216332号公报专利文献3 :日本专利第3283245号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题但是，在专利文献I 3中，需要在排热回收用冷凝器中使用冷却水，并需要将冷却水供给装置另外设置在无尘室外的同时通过冷水配管将冷却水供给装置与冷凝器侧的散热部连接的作业。特别是，最近的无尘室向大型化发展，设置有曝光装置等处理机器的清洁区的高度近10m，并且地板下的回流室的高度也有5 6m左右，且其延伸地板的面积为数万平米，在无尘室内覆盖多个处理机器的腔室被分别设置。散热该各腔室的热的散热部被分别设置 在回流室，另一方面，无尘室外设置有冷却水供给装置，因此，将该冷水供给装置与各散热部连接的冷水配管必然变长，且在连接上需要高处作业，在冷水配管的保温以及漏水对策等上需要花费大量的劳力。并且，在专利文献I 3中，冷冻循环的负荷被设定成与最大空调负荷相对应的能力，为了使压缩机的制冷剂吐出压稳定地被运行，由蒸发器吸热后的制冷剂热的排热控制流向冷凝器的冷却水的循环量，并实现吸热量和排热量的匹配。但是，由冷却水冷却冷凝器的水冷式在空调负荷大时，虽然能够适当地控制冷凝器的散热量，但是在空调负荷较少时，供给至冷凝器侧的冷却水流量极端地变少，成为冷却水流量的控制范围以下而有可能使稳定运行变得困难。SM乍为控制对象的腔室的温度控制，若吸入空气与吹出温度的温度差为±2°C以下，则空调负载变小的例子很多。另一方面，向冷凝器供给的冷却水温度使用18°C左右的冷却水，相对于制冷剂的冷凝温度(70°C左右)冷却水温度低，所以空调负荷变得越小，冷却水量的控制越困难，稳定地运行冷却循环且与空调负载相匹配地调节冷凝器侧的排热量变得困难。因此，本专利技术的目的在于解决上述问题并提供一种能够将冷冻循环的负荷保持为一定且能够与控制对象的腔室的空调负荷相对应地控制排热量的精密空调机。用于解决课题的手段为了达成上述目的的本专利技术的精密空调机，将设置在无尘室的作为空调对象的腔室内的空气导入，并使其成为设定温度而在上述腔室循环，其特征在于，具备冷冻循环，从压缩机的吐出侧到吸入侧依次连接有冷凝器、膨胀阀、蒸发器，并具有使上述压缩机的吐出侧的热气流向上述蒸发器的热气旁通回路；热回收部，收容有上述冷冻循环的蒸发器，并将来自上述腔室的空气导入，且通过上述蒸发器空调成设定温度而在上述腔室循环；以及散热部，被设置在上述无尘室内且收容有上述冷冻循环的冷凝器，且具备通过无尘室内的空气空冷该冷凝器的能力可变风扇。在本专利技术中，上述冷冻循环、上述热回收部和上述散热部被收容在同一壳体内。在本专利技术中，上述热气旁通回路具有比例控制阀，在上述热回收部设置有检测由上述蒸发器冷却后的空调空气的温度的温度传感器，通过该温度传感器的检测值，控制上述比例控制阀，由此，精密温度控制由蒸发器冷却的空调空气。在本专利技术中，在连结上述蒸发器的制冷剂出口和压缩机的吸入侧的制冷剂配管上连接有将压缩机的制冷剂吸入压力保持为一定的吸入压力调节阀，上述膨胀阀由温度式膨胀阀构成，在上述吸入压力调节阀的上游侧 的配管上设置有上述温度式膨胀阀的感温筒，由此将在上述蒸发器的制冷剂蒸发压力保持为一定。在本专利技术中，在从上述冷凝器到上述温度式膨胀阀的高压侧制冷剂配管上设置有高压传感器，另一方面，上述散热部的能力可变风扇由变换器装置驱动，并由变换器装置控制上述能力可变风扇的旋转，以使由上述高压传感器检测的制冷剂的冷凝压力为一定，由此，将在冷凝器的制冷剂冷凝压力保持为一定。在上述冷凝器和上述高压传感器之间的高压侧制冷剂配管上优选连接有盛液罐。收容上述热回收部和上述散热部的壳体优选被设置于上述无尘室的回流室。专利技术的效果根据本专利技术，在精密温度控制作为空调对象的腔室内的空气时，向空调(空气调节)腔室空气的蒸发器流出热气，由此精密温度控制空调空气，将由蒸发器热回收后的热的相当量用设置在无尘室内的加热部的冷凝器通过空冷排热，由此实现稳定的精密温度控制，并且能够发挥不需在无尘室外设置室外机以及冷水源的优良效果。附图说明图I是表不本专利技术的一实施方式的整体图。图2是图I所示的精密空调机的冷冻循环的详细图。图3是将图2的冷冻循环在莫里尔图上表示的说明图。具体实施例方式下面，基于附图对本专利技术的优选实施方式进行说明。首先，通过图I对无尘室10和对覆盖设置在无尘室10内的曝光装置等处理机器11的、作为空调对象的腔室12进行空调的精密空调机13进行说明。无尘室10具有设置有腔室12的清洁区16，该腔室12设置有曝光装置等处理机器11且将其覆盖；送风室18，形成在无尘室16的天花板17的上方，将清洁空气供给至清洁区16 ;以及回流室20，形成于清洁区16的地板19下、对来自清洁本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：藤井克昌，
申请(专利权)人：株式会社朝日工业社，
类型：发明
国别省市：