本发明公开了一种静电式夹盘，其特征在于，包括：基材；利用静电力吸附晶片的吸附部；将所述吸附部黏合在所述基材上的黏合层；及为了覆盖所述黏合层的露出面而形成的黏合层防侵蚀涂层。所述黏合层防侵蚀涂层是将陶瓷粉采用持续定量供入移送空气并控制于一...

本发明涉及向配置于真空状态的涂敷腔体内部的基材喷射及涂敷固相粉末的装置及方法，更详细地，涉及可将吸入处于大气压状态的气体的吸入气体和由气体供给装置供给的供给气体一同用作上述固相粉末的输送气体的固相粉末涂敷装置及方法。本发明提供固相粉末涂...

本发明涉及形成于基材表面的金属氧化物膜结构物，涉及由于组成金属氧化物膜的金属元素的原子个数和氧元素的原子个数呈现出非化学计量的特性，从而使金属氧化物膜的密度致密地形成为涂敷前的金属氧化物密度的90％～100％，且无裂痕及气孔的金属氧化物...