本实用新型涉及电子能谱仪领域，具体涉及一种电子能谱仪用真空泵减震装置，包括底板，底板从下至上依次包括下底板、橡胶波纹板、上底板，竖直减震簧均匀固定于上底板上且左右两侧各设置2个，左右两侧的2对竖直减震簧的上表面上固定有2个弧形支撑座，且...