本发明公开了一种射频接电板，通过将分支电路设置在接电板上，接电板易于加工，并且便于射频平面阴极的射频连接，同时，分支电路由多级支路依次连接形成，保证射频功率在阴极组件上均匀分布

本实用新型公开了一种磁控溅射阴极磁棒磁场强度测量设备，包括支撑基座、磁棒旋转支撑机构和磁感应强度测量仪，磁棒旋转支撑机构安装在支撑基座上，用于安装磁棒并且能够驱动磁棒绕其轴向旋转，支撑基座上安装有移动机构，移动机构上安装有位置调节组件，...

本发明公开了一种射频平面阴极，阴极组件上设有多个射频接口，射频接电端头分别与多个射频接口连接，且射频接电端头至任一射频接口之间阻抗相等。通过上述优化设计的射频平面阴极，通过射频接电端头至接电点阻抗相等，使得射频功率在阴极组件上均匀分布，...

本实用新型公开了一种辅助阳极的布气结构，阳极板安装在基座上，基座靠近隔气板一侧设有第一气槽，阳极板靠近基座一侧设有第二气槽，阳极板远离基座一侧设有与第二气槽连通的气体喷嘴，隔气板位于基座和阳极板之间，隔气板与所述第一气槽共同形成进气通道...

本发明公开了一种可调节磁场的旋转阴极磁棒和磁控溅射设备，磁场组件位于偏心支撑梁靠近轴线一侧且沿偏心支撑梁延伸，偏心支撑梁上设有多个向远离磁场组件反向延伸的安装孔，磁棒连接件一端与磁场组件连接且另一端伸入一个所述安装孔内，调节垫片位于所述...

本发明公开了一种可调节磁场的主动阳极和磁控溅射设备，阳极板和磁轭分别位于安装基座的两侧且安装在安装基板上，磁轭朝向安装基座一侧设有磁铁容纳槽，所述磁铁容纳槽在磁轭与安装基座之间形成磁铁活动空间，磁铁组件上设有调节件且通过调节件安装在所述...

本发明公开了一种磁控溅射平面阴极及其磁路，通过在磁极颠倒布置的两个磁体之间放置调节磁体，调节磁体和两侧的磁体之间形成相互吸引的磁力线分布，把两侧磁体之间的磁力线具有向磁轭方向拉凹的趋势，从而使得靶材表面的抛物线形状的磁力线趋势比较平缓，...

本实用新型公开了一种锥面传输功率的旋转阴极端头，包括用于连接靶材的驱动轴，驱动轴为导电材料制成，还包括电触头，电触头、驱动轴两者通过锥面电接触配合，且电触头不随驱动轴转动，外部电源依次通过电触头、驱动轴与靶材电连接。本实用新型的优点为传...

本发明公开了一种锥面传输功率的旋转阴极端头，包括用于连接靶材的驱动轴，驱动轴为导电材料制成，还包括电触头，电触头、驱动轴两者通过锥面电接触配合，且电触头不随驱动轴转动，外部电源依次通过电触头、驱动轴与靶材电连接。本发明的优点为传输的功率...