一种磁控溅射阴极磁棒磁场强度测量设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种磁控溅射阴极磁棒磁场强度测量设备，包括支撑基座、磁棒旋转支撑机构和磁感应强度测量仪，磁棒旋转支撑机构安装在支撑基座上，用于安装磁棒并且能够驱动磁棒绕其轴向旋转，支撑基座上安装有移动机构，移动机构上安装有位置调节组件，磁感应强度测量仪安装在位置调节组件上，位置调节组件用于调节磁感应强度测量仪在Y轴和Z轴方向上的位置，移动机构用于驱动磁感应强度测量仪沿X轴方向移动，以测量磁棒不同空间位置的磁场强度。该测量设备能够按要求高精度测量磁棒不同空间位置磁场强度，提高了阴极磁场强度测量精度和测量效率。精度和测量效率。精度和测量效率。

【技术实现步骤摘要】
一种磁控溅射阴极磁棒磁场强度测量设备


[0001]本技术涉及磁控溅射设备测量
，尤其涉及一种磁控溅射阴极磁棒磁场强度测量设备。

技术介绍

[0002]目前磁控溅射阴极被广泛用于各种镀膜行业，例如建筑玻璃镀膜、太阳能电池镀膜、电子行业镀膜、工具镀膜、装饰镀膜、各类镜片镀膜等等。
[0003]磁控溅射镀膜是指利用磁场与电场交互作用，使电子在靶表面附近成螺旋状运行，从而增大电子撞击氩气产生离子的概率，所产生的离子在电场的作用下撞向靶材表面从而溅射出靶材，沉积在基片上形成薄膜。
[0004]磁棒作为磁控溅射工艺中的核心组件之一，阴极磁棒磁场强度是镀膜均匀性的关键因素之一，对阴极磁棒磁场强度偏差要求较高。现有技术中，磁棒磁场强度均匀性的检测方式多数采用纯人工测量，或者半自动测量的方式进行，测量稳定性不高，测量误差大，并且磁棒长度较长，而各个测量点位之间的间距较小，现有技术测量效率低。

技术实现思路

[0005]为解决
技术介绍
中存在的技术问题，本技术提出一种磁控溅射阴极磁棒磁场强度测量设备。
[0006]本技术提出的一种磁控溅射阴极磁棒磁场强度测量设备，包括支撑基座、磁棒旋转支撑机构和磁感应强度测量仪，磁棒旋转支撑机构安装在支撑基座上，用于安装磁棒并且能够驱动磁棒绕其轴向旋转，支撑基座上安装有移动机构，移动机构上安装有位置调节组件，磁感应强度测量仪安装在位置调节组件上，以磁棒轴向为X轴方向，以在水平面上垂直于磁棒轴线的方向为Y轴方向，以在竖直面上垂直于磁棒轴线的方向为Z轴方向，位置调节组件用于调节磁感应强度测量仪在Y轴和Z轴方向上的位置，移动机构用于驱动磁感应强度测量仪沿X轴方向移动，以测量磁棒不同空间位置的磁场强度。
[0007]优选地，移动机构为直线模组，直线模组包括导轨和可滑动地安装在导轨上的滑动台，导轨沿X轴方向固定在支撑基座上。
[0008]优选地，位置调节组件包括连接座、Y轴位移滑台和Z轴位移滑台，连接座固定连接在直线模组的滑动台上，Z轴位移滑台固定连接在连接座上，Y轴位移滑台固定连接在Z轴位移滑台的滑台上，Y轴位移滑台的滑台上固定连接有安装连接板，Y轴位移滑台和Z轴位移滑台能够通过螺纹旋柄手动调节控制滑台移动。
[0009]优选地，磁感应强度测量仪为高斯计，高斯计呈竖直布置并且通过固定压板和螺纹件锁紧在安装连接板上。
[0010]优选地，磁棒旋转支撑机构包括主动旋转驱动组件和从动旋转组件，主动旋转驱动组件固定安装在支撑基座上，用于夹持磁棒的一端，支撑基座上沿X轴方向固定有直线滑轨，从动旋转机构与主动旋转驱动组件的位置相对，并且通过滑块可滑动地安装在直线滑
轨上，用于夹持磁棒的另一端。
[0011]优选地，主动旋转驱动组件包括竖直地固定连接在支撑基座上的第一安装座，第一安装座上通过轴承转动安装有第一连接盘，第一连接盘一端同轴安装有主动三爪卡盘，第一连接盘另一端依次连接有联轴器、减速器和第一伺服电机。
[0012]优选地，从动旋转组件包括竖直地固定连接在直线滑轨的滑块上的第二安装座，第二安装座上通过轴承转动安装有第二连接盘，第二连接盘一端同轴安装有从动三爪卡盘，从动三爪卡盘与主动三爪卡盘同轴。
[0013]优选地，磁棒旋转支撑机构还包括布置在主动旋转驱动组件与从动旋转组件之间的若干个旋转支撑组件，每个旋转支撑组件均包括移动支撑座和移动支撑板，移动支撑座通过滑块可滑动地安装在直线滑轨上，移动支撑座上端设有插槽，移动支撑板可拆卸地插装在插槽上，移动支撑板上端设有用于支撑磁棒的V形槽。
[0014]优选地，支撑基座由碳钢矩形管和碳钢板焊接成型。
[0015]优选地，支撑基座的底部安装有高度调节地脚。
[0016]本技术的磁控溅射阴极磁棒磁场强度测量设备在测量磁棒磁场时，磁感应强度测量仪连接数据采集系统，通过程序自动控制磁棒旋转支撑机构带动磁棒旋转一定角度，并且自动控制磁感应强度测量仪测量速度和移动至测量点位，可按要求自定义磁棒磁场强度测量，自动记录每个测量点测量结果，分析测量结果并判断是否合格。因此，该测量设备能够按要求高精度测量磁棒不同空间位置磁场强度，提高了阴极磁场强度测量精度和测量效率。
附图说明
[0017]图1为实施例中的磁控溅射阴极磁棒磁场强度测量设备的整体结构图；
[0018]图2为实施例中的支撑基座的局部结构图；
[0019]图3为实施例中的支撑基座上表面的局部结构图；
[0020]图4为实施例中的主动旋转驱动组件的剖视图；
[0021]图5为实施例中的从动旋转组件的剖视图；
[0022]图6为实施例中的磁棒旋转支撑机构的整体结构图；
[0023]图7为实施例中的高斯计、位置调节组件和直线模组装配后的主视图；
[0024]图8为实施例中的高斯计、位置调节组件和直线模组装配后的侧视图；
[0025]图9为实施例中的一种磁测强度测量路径；
[0026]图10为实施例中的另一种磁测强度测量路径。
具体实施方式
[0027]请参照图1
‑
10所示，本技术实施例提供了一种磁控溅射阴极磁棒磁场强度测量设备，该测量设备能够驱动磁棒旋转，并且带动高斯计8直线位移进行测量，可按要求高精度测量磁棒不同空间位置磁场强度。
[0028]该磁控溅射阴极磁棒磁场强度测量设备包括支撑基座1、磁棒旋转支撑机构和磁感应强度测量仪。其中，磁棒旋转支撑机构安装在支撑基座1上，用于安装磁棒并且能够驱动磁棒绕其轴向旋转。磁感应强度测量仪通过移动机构和位置调节组件7安装在支撑基座1
上，参照图1，以磁棒9轴向为X轴方向，以在水平面上垂直于磁棒9轴线的方向为Y轴方向，以在竖直面上垂直于磁棒9轴线的方向为Z轴方向，位置调节组件7能够调节磁感应强度测量仪在Y轴和Z轴方向上的位置，移动机构能够驱动磁感应强度测量仪沿X轴方向移动，从而测量磁棒9不同空间位置的磁场强度。
[0029]在具体地实施例中，支撑基座1由碳钢矩形管11和碳钢板12焊接成型，焊接后热处理去除焊接应力，再在支撑基座1上表面加工出滑轨安装槽121、直线模组安装槽122和第一安装座安装槽123。支撑基座1的底部安装有高度调节地脚13，用于调节支撑基座1各个位置的高度，使支撑基座1上表面处于水平位置。
[0030]参照图4、图5和图6，磁棒旋转支撑机构包括主动旋转驱动组件2和从动旋转组件3。其中，主动旋转驱动组件2具有第一安装座21，第一安装座21竖直地固定连接在支撑基座1的第一安装座安装槽123上，第一安装座21上通过深沟球轴承转动安装有第一连接盘22，轴承两端还安装有卡簧和轴承盖，第一连接盘22一端同轴安装有主动三爪卡盘23，主动三爪卡盘23用于夹持磁棒9的一端，第一连接盘22另一端依次连接有联轴器24、减速器25和第一伺服电机26。支撑基座1的滑轨安装槽121上沿X轴方向通过不锈钢螺栓固定连接有两条直线滑轨4，从动旋转本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射阴极磁棒磁场强度测量设备，其特征在于，包括支撑基座(1)、磁棒旋转支撑机构和磁感应强度测量仪，磁棒旋转支撑机构安装在支撑基座(1)上，用于安装磁棒并且能够驱动磁棒绕其轴向旋转，支撑基座(1)上安装有移动机构，移动机构上安装有位置调节组件(7)，磁感应强度测量仪安装在位置调节组件(7)上，位置调节组件(7)用于调节磁感应强度测量仪在Y轴和Z轴方向上的位置，移动机构用于驱动磁感应强度测量仪沿X轴方向移动，以测量磁棒不同空间位置的磁场强度。2.根据权利要求1所述的磁控溅射阴极磁棒磁场强度测量设备，其特征在于，移动机构为直线模组(6)，直线模组(6)包括导轨(61)和可滑动地安装在导轨(61)上的滑动台(62)，导轨(61)沿X轴方向固定在支撑基座(1)上。3.根据权利要求2所述的磁控溅射阴极磁棒磁场强度测量设备，其特征在于，位置调节组件(7)包括连接座(71)、Y轴位移滑台(72)和Z轴位移滑台(73)，连接座(71)固定连接在直线模组(6)的滑动台(62)上，Z轴位移滑台(73)固定连接在连接座(71)上，Y轴位移滑台(72)固定连接在Z轴位移滑台(73)的滑台上，Y轴位移滑台(72)的滑台上固定连接有安装连接板(74)，Y轴位移滑台(72)和Z轴位移滑台(73)能够通过螺纹旋柄手动调节控制滑台移动。4.根据权利要求3所述的磁控溅射阴极磁棒磁场强度测量设备，其特征在于，磁感应强度测量仪为高斯计(8)，高斯计(8)呈竖直布置并且通过固定压板(75)和螺纹件锁紧在安装连接板(74)上。5.根据权利要求1所述的磁控溅射阴极磁棒磁场强度测量设备，其特征在于，磁棒旋转支撑机构包括主动旋转驱动组件(2)和从动旋转组件(3)，主动旋转驱动组件(2)固定安装在支撑基座(1)上，用于夹持磁棒的一端，支撑基座(1)上沿X轴方向固定有...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭江涛，朱开健，任小体，
申请(专利权)人：中科纳微真空科技合肥有限公司，
类型：新型
国别省市：