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本实用新型公开了一种磁控溅射阴极磁棒磁场强度测量设备，包括支撑基座、磁棒旋转支撑机构和磁感应强度测量仪，磁棒旋转支撑机构安装在支撑基座上，用于安装磁棒并且能够驱动磁棒绕其轴向旋转，支撑基座上安装有移动机构，移动机构上安装有位置调节组件，磁感...
该专利属于中科纳微真空科技（合肥）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中科纳微真空科技（合肥）有限公司授权不得商用。

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